TW201337216A - 整合矽光機陀螺儀（ｏｍｇｓ） - Google Patents

整合矽光機陀螺儀（ｏｍｇｓ） Download PDF

Info

Publication number
TW201337216A
TW201337216A TW101145632A TW101145632A TW201337216A TW 201337216 A TW201337216 A TW 201337216A TW 101145632 A TW101145632 A TW 101145632A TW 101145632 A TW101145632 A TW 101145632A TW 201337216 A TW201337216 A TW 201337216A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
optical
sensing
signal
drive
driving
Prior art date
Application number
TW101145632A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI461655B (zh
Inventor
John Heck
Haisheng Rong
Richard Jones
Original Assignee
Intel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Intel Corp filed Critical Intel Corp
Publication of TW201337216A publication Critical patent/TW201337216A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI461655B publication Critical patent/TWI461655B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
    • G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
    • G01C19/66—Ring laser gyrometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
    • G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
    • G01C19/66—Ring laser gyrometers
    • G01C19/661—Ring laser gyrometers details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
    • G01C19/5677—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially two-dimensional vibrators, e.g. ring-shaped vibrators
    • G01C19/5684—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially two-dimensional vibrators, e.g. ring-shaped vibrators the devices involving a micromechanical structure
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
    • G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
    • G01C19/72—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams with counter-rotating light beams in a passive ring, e.g. fibre laser gyrometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

一種具有光機陀螺儀裝置之系統。光機碟作為光環諧振器及機械碟諧振器。驅動雷射產生光學驅動信號。驅動通道作為該光學驅動信號之波導，並包括相對於該光機碟之第一近區中之驅動電極。該驅動電極藉由消散耦接以激發該環。驅動光檢測器經組配以從該驅動通道接收輸出光學信號。感測雷射產生光學感測信號。感測通道作為該光學感測信號之波導，並包括相對於該光機碟之第二近區中之感測電極。感測光檢測器經組配以從該感測通道接收輸出光學信號。

Description

整合矽光機陀螺儀(OMGS)
本發明之實施例關於光機裝置。更特別地，本發明之實施例關於光機陀螺儀。
陀螺儀為測量移動角速率之裝置，其在許多應用是有用的，包括動態載具控制、手勢識別、及導航等。基於陀螺儀之系統目前用於許多領域，包括太空導航、工業機器監控、汽車電子穩定性控制、手持裝置等。
陀螺儀性能之主要測量為敏感度、帶寬及穩定性(或偏置漂移)。目前最高性能可花費達$1,000,000，頻繁地依據光學，並展現低至每小時幾度的漂移或更佳。在另一極端，消費級陀螺儀目前花費約每軸$1，係依據微電機械系統(MEMS)技術，並歷經高得多的漂移，例如介於每小時50-100度的範圍。
對個人導航而言，需要具有每小時單度範圍漂移同時維持敏感度及帶寬以包括慢及快角旋轉之三軸陀螺儀。此是使用已知電子MEMS陀螺儀無法達到的。
在下列說明中，提出許多特定細節。然而，可無該些特定細節而實現本發明之實施例。在其他狀況下，未顯示周知電路、結構及技術以便不模糊本說明之理解。
文中所說明者為陀螺儀之實施例，其利用矽光子以致能具高(例如導航等級)性能及相對低成本之光機陀螺儀(OMG)。OMG利用光機械以提供相對低成本矽光子平台中光機轉導慣性感測器(包括陀螺儀及加速計)。
在各式實施例中，矽光子OMG包括藉由中央點懸置的環諧振器。光學共振係藉由來自鄰近波導(驅動通道)之消散耦接而於環中激發。藉由以碟之機械諧振頻率調幅光線，碟因光機力(輻射壓力或光學梯度力)而被驅動為震動。典型機械諧振頻率可介於100 kHz至10 MHz範圍。
一旦碟機械震動，其動作極似共振MEMS感測器。震動之模式受與外部加速(在加速計之狀況下)或轉動(或互補加速，在陀螺儀之狀況下)成比例擾動。
圖1A為整合矽光機陀螺儀之一實施例的俯視圖。圖1B為整合矽光機陀螺儀之一實施例的側視圖。圖1A及1B之組件可於基板100上製造。在一實施例中，電阻加熱器(圖中未描繪)可添加至晶粒以維持裝置之恆定溫度，以便協助保持機械及光學性質穩定。
驅動雷射115及感測雷射150可為混合雷射或分立(外部)雷射。雷射可文本技藝中已知任何類型雷射。在一實施例中，驅動雷射115及感測雷射150可以光機碟140之機械諧振頻率調變散發光線。在另一實施例中，可利用可選的調變器120來調變從驅動雷射115的光線至光機碟140之機械諧振頻率。
驅動雷射115與驅動通道110光學耦接，其可包括波導。光檢測器130亦與驅動通道110光學耦接以檢測來自驅動雷射115之光線。光檢測器130可為例如整合混合光二極體，或分立(外部)檢測器。
感測雷射150與感測通道155光學耦接，其可包括波導。光檢測器175亦與感測通道155光學耦接以檢測來自感測雷射150之光線。光檢測器175可為例如整合混合光二極體，或分立(外部)檢測器。
在圖1A及1B之範例中，使用個別雷射及光檢測器。在替代實施例中，單一雷射及/或光檢測器可與波導分離器結合使用，以分離及組合光學信號。在一實施例中，雷射可使用驅動光檢測器而鎖定於反饋單側以維持雷射波長一致。
在一實施例中，驅動電極125藉由消散耦接定位以促使光機碟140中光學共振。當來自驅動雷射115之光線以光機碟140之機械諧振頻率調變時，在驅動電極125，驅動通道110及光機碟140之間之轉導致使光機碟140共振。
一旦光機碟140共振，便對承載其之基板的實體移動起作用。震動之模式受與外部加速(在加速計之狀況下)或轉動(或互補加速，在陀螺儀之狀況下)成比例擾動。震動模式的改變在驅動模式之節點經由光機碟140及感測電極160之間之消散耦接檢測。在感測光檢測器175之信號的檢測指出外部運動的存在。外部運動與信號之振幅成 比例。在一實施例中，感測通道155與一或多個節點(例如45°、135°、225°、315°)對齊，且驅動通道110與一或多個波腹(例如0°、90°、180°、270°)對齊。
圖2A為MEMS脫模前矽光子光機陀螺儀之一實施例的截面。圖2A之範例描繪圖1A及1B之光機陀螺儀架構的截面圖。驅動雷射215經組配以經由調變器220及SiN耦接器225提供光學信號至未脫模之光機碟240。光檢測器230經定位以接收光學信號。
圖2B為MEMS脫模後矽光子光機陀螺儀之一實施例的截面。在MEMS脫模步驟後，腔洞260存在於光機碟240下。圖2C為晶圓級封裝後矽光子光機陀螺儀之一實施例的截面。圖2C中所描繪之晶圓級封裝275可使用晶圓黏接依附以封裝及調節震動碟之周圍環境，以確保高機械品質因子。
圖3為利用光機陀螺儀之技術之一實施例的流程圖。在310，藉由雷射產生光學信號並以光機碟之機械諧振頻率調變。如以上所說明，此可藉由以調變器調變光線或可調諧雷射以產生具正確頻率之光線而予完成。
在320，調變之光線經由消散耦接而促使光機碟中震動。光機碟接著操作為光環諧振器及機械碟諧振器。光機碟之實體移動，例如藉由包含光機碟之裝置的移動，導致藉由感測通道光檢測器接收之光學信號改變。
在330，感測通道光檢測器感測到感測通道上光學信號改變。在340，裝置之移動係從感測之信號改變而予決 定。移動與藉由光檢測器感測之信號成比例。在350，產生信號或其他指示符以指出移動。回應於移動，可傳輸信號，或可儲存指示，或可修改介面，或可採用許多其他動作。
圖4為電子系統之一實施例的方塊圖。圖4中所描繪之電子系統希望代表一系列電子系統(有線或無線)，包括例如平板裝置、智慧手機、桌上型電腦系統、膝上型電腦系統、伺服器、遊戲機、遊戲控制器等。替代電子系統可包括更多、更少及/或不同組件。
電子系統400包括匯流排405或其他通訊裝置以傳遞資訊，且可處理資訊之處理器410耦接至匯流排405。電子系統400可包括多處理器及/或共處理器。電子系統400進一步可包括隨機存取記憶體(RAM)或其他動態儲存裝置420(稱為記憶體)，其耦接至匯流排405並可儲存可藉由處理器410執行之資訊及指令。記憶體420亦可於處理器410執行指令期間用以儲存暫時變數或其他中間資訊。
電子系統400亦可包括唯讀記憶體(ROM)及/或其他靜態儲存裝置430，其耦接至匯流排405並可儲存用於處理器410之靜態資訊及指令。資料儲存裝置440可耦接至匯流排405以儲存資訊及指令。諸如磁碟或光碟及相應驅動器之資料儲存裝置440可耦接至電子系統400。
電子系統400亦可經由匯流排405耦接至顯示裝置450，其可為任何類型顯示裝置，以顯示資訊與使用者， 例如觸控螢幕。輸入裝置460可為任何類型介面及/或裝置，以允許使用者提供輸入至電子系統400。輸入裝置可包括硬按鈕及/或軟按鈕、語音或揚聲器輸入，以傳遞資訊及命令選擇至處理器410。
電子系統400可進一步包括感測器470，其可用以支援藉由電子系統400提供之功能性。感測器470可包括例如陀螺儀、鄰近感測器、光感測器等。可支援任何數量感測器及感測器類型。在一實施例中，陀螺儀可為文中所說明之光機陀螺儀。
電子系統400進一步可包括網路介面480以提供存取網路，諸如局域網路。網路介面480可包括例如具有天線485之無線網路介面，其可代表一或多個天線。網路介面480亦可包括例如有線網路介面以經由網路纜線487而與遠端裝置通訊，網路纜線487可為例如乙太纜線、同軸纜線、光纖纜線、串列纜線、或並列纜線。亦可依據4G/LTE標準提供網路存取。
在一實施例中，網路介面480例如可藉由符合IEEE 802.11b及/或IEEE 802.11g及/或IEEE 802.11n標準而提供存取局域網路，及/或無線網路介面例如可藉由符合藍牙標準而提供存取個人區域網路。亦可支援其他無線網路介面及/或協定，例如4G/LTE。
IEEE 802.11b符合於1999年9月16日核准之IEEE標準802.11b-1999，標題「局域及城域網路，第11部分：無線LAN媒體存取控制(MAC)及實體層(PHY)規 格：2.4 GHz波帶中高速實體層延伸」以及相關文獻。IEEE 802.11g符合於2003年6月27日核准之IEEE標準802.11g-2003，標題「局域及城域網路，第11部分：無線LAN媒體存取控制(MAC)及實體層(PHY)規格，第4次修訂：2.4 GHz波帶中更高速率延伸」以及相關文獻。藍牙協定係於「藍牙集團」2001年2月22日發表之「藍牙系統規格：核心，1.1版」中說明。亦可支援藍牙標準之相關以及先前或後續版本。
除了或取代經由無線LAN標準之通訊，網路介面480可提供使用例如時分多路進接(TDMA)協定、全球行動通訊系統(GSM)協定、碼分多路進接(CDMA)協定、及/或任何其他類型無線通訊協定之無線通訊。
說明書中提及「一實施例」或「實施例」表示結合實施例所說明之特徵、結構、或特性係包括於本發明之至少一實施例中。說明書中各處出現之「在一實施例中」用語不一定均指相同實施例。震動模式改變可使用消散耦接至設計在驅動模式節點之感測波導(感測通道)加以檢測。在感測通道中光檢測器之信號檢測指出外部運動的存在。
雖然本發明已以許多實施例予以說明，熟悉本技藝之人士將認同本發明不侷限於所說明之實施例，而是可以申請專利範圍之精神及範疇內的修改及變更加以實現。因而，說明被視為描繪而非限制。
100‧‧‧基板
110‧‧‧驅動通道
115、215‧‧‧驅動雷射
120、220‧‧‧調變器
125‧‧‧驅動電極
130、175、230‧‧‧光檢測器
140、240‧‧‧光機碟
150‧‧‧感測雷射
155‧‧‧感測通道
160‧‧‧感測電極
225‧‧‧SiN耦接器
260‧‧‧腔洞
275‧‧‧晶圓級封裝
400‧‧‧電子系統
405‧‧‧匯流排
410‧‧‧處理器
420‧‧‧動態儲存裝置
430‧‧‧靜態儲存裝置
440‧‧‧資料儲存裝置
450‧‧‧顯示裝置
460‧‧‧輸入裝置
470‧‧‧感測器
480‧‧‧網路介面
485‧‧‧天線
487‧‧‧網路纜線
在附圖之圖中，其中類似標號係指類似元件，藉由範例而非藉由限制描繪本發明之實施例。
圖1A為整合矽光機陀螺儀之一實施例的俯視圖。
圖1B為整合矽光機陀螺儀之一實施例的側視圖。
圖2A為MEMS脫模前矽光子光機陀螺儀之一實施例的截面。
圖2B為MEMS脫模後矽光子光機陀螺儀之一實施例的截面。
圖2C為晶圓級封裝後矽光子光機陀螺儀之一實施例的截面。
圖3為利用光機陀螺儀之技術之一實施例的流程圖。
圖4為電子系統之一實施例的方塊圖。
100‧‧‧基板
110‧‧‧驅動通道
115‧‧‧驅動雷射
120‧‧‧調變器
125‧‧‧驅動電極
130、175‧‧‧光檢測器
140‧‧‧光機碟
150‧‧‧感測雷射
155‧‧‧感測通道
160‧‧‧感測電極

Claims (22)

  1. 一種設備，包含：光機碟，其作為光環諧振器及機械碟諧振器；驅動雷射，用以產生光學驅動信號；驅動通道，用以作為該光學驅動信號之波導並包含相對於該光機碟之第一近區中之驅動電極，該驅動電極用以藉由消散耦接而激發該環；驅動光檢測器，經組配以從該驅動通道接收輸出光學信號；感測雷射，用以產生光學感測信號；感測通道，用以作為該光學感測信號之波導並包含相對於該光機碟之第二近區中之感測電極；感測光檢測器，經組配以從該感測通道接收輸出光學信號。
  2. 如申請專利範圍第1項之設備，其中，該驅動雷射以該光機碟之機械諧振頻率來調變光線以藉由光機力來驅動該碟震動。
  3. 如申請專利範圍第2項之設備，其中，該光機力包含輻射壓力。
  4. 如申請專利範圍第2項之設備，其中，該光機力包含光學梯度力。
  5. 如申請專利範圍第1項之設備，進一步包含調變器，以該光機碟之該機械諧振頻率來調變該光學驅動信號以藉由光機力來驅動該碟震動。
  6. 如申請專利範圍第5項之設備，其中，該光機力包含輻射壓力。
  7. 如申請專利範圍第5項之設備，其中，該光機力包含光學梯度力。
  8. 一種平板計算裝置，包含：觸控螢幕介面；光機碟，其作為光環諧振器及機械碟諧振器；驅動雷射，用以產生光學驅動信號；驅動通道，用以作為該光學驅動信號之波導並包含相對於該光機碟之第一近區中之驅動電極，該驅動電極用以藉由消散耦接而激發該環；驅動光檢測器，經組配以從該驅動通道接收輸出光學信號；感測雷射，用以產生光學感測信號；感測通道，用以作為該光學感測信號之波導並包含相對於該光機碟之第二近區中之感測電極；感測光檢測器，經組配以從該感測通道接收輸出光學信號；處理器，其耦接以監控該感測光檢測器及該驅動光檢測器，並與該觸控螢幕介面耦接。
  9. 如申請專利範圍第8項之平板，其中，該驅動雷射以該光機碟之機械諧振頻率來調變光線以藉由光機力來驅動該碟震動。
  10. 如申請專利範圍第9項之平板，其中，該光機力 包含輻射壓力。
  11. 如申請專利範圍第9項之平板，其中，該光機力包含光學梯度力。
  12. 如申請專利範圍第8項之平板，進一步包含調變器，以該光機碟之該機械諧振頻率來調變該光學驅動信號以藉由光機力來驅動該碟震動。
  13. 如申請專利範圍第12項之平板，其中，該光機力包含輻射壓力。
  14. 如申請專利範圍第12項之平板，其中，該光機力包含光學梯度力。
  15. 一種系統，包含：全向天線；光機碟，其作為光環諧振器及機械碟諧振器；驅動雷射，用以產生光學驅動信號；驅動通道，用以作為該光學驅動信號之波導並包含相對於該光機碟之第一近區中之驅動電極，該驅動電極用以藉由消散耦接而激發該環；驅動光檢測器，經組配以從該驅動通道接收輸出光學信號；感測雷射，用以產生光學感測信號；感測通道，用以作為該光學感測信號之波導並包含相對於該光機碟之第二近區中之感測電極；感測光檢測器，經組配以從該感測通道接收輸出光學信號； 處理器，其耦接以監控該感測光檢測器及該驅動光檢測器，並與該觸控螢幕介面耦接。
  16. 如申請專利範圍第15項之系統，進一步包含觸控螢幕介面。
  17. 如申請專利範圍第15項之系統，其中，該驅動雷射以該光機碟之機械諧振頻率來調變光線以藉由光機力來驅動該碟震動。
  18. 如申請專利範圍第17項之系統，其中，該光機力包含輻射壓力。
  19. 如申請專利範圍第17項之系統，其中，該光機力包含光學梯度力。
  20. 如申請專利範圍第15項之系統，進一步包含調變器，以該光機碟之該機械諧振頻率來調變該光學驅動信號以藉由光機力來驅動該碟震動。
  21. 如申請專利範圍第20項之系統，其中，該光機力包含輻射壓力。
  22. 如申請專利範圍第20項之系統，其中，該光機力包含光學梯度力。
TW101145632A 2011-12-23 2012-12-05 整合矽光機陀螺儀（ｏｍｇｓ） TWI461655B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/US2011/067250 WO2013095660A1 (en) 2011-12-23 2011-12-23 Integrated silicon optomechanical gyroscopes (omgs)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201337216A true TW201337216A (zh) 2013-09-16
TWI461655B TWI461655B (zh) 2014-11-21

Family

ID=48669298

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101145632A TWI461655B (zh) 2011-12-23 2012-12-05 整合矽光機陀螺儀（ｏｍｇｓ）

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9482535B2 (zh)
JP (1) JP5908603B2 (zh)
KR (1) KR101682993B1 (zh)
CN (1) CN103998895B (zh)
DE (1) DE112011106020T5 (zh)
GB (1) GB2512522B (zh)
TW (1) TWI461655B (zh)
WO (1) WO2013095660A1 (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9778042B2 (en) * 2013-12-13 2017-10-03 Intel Corporation Opto-mechanical inertial sensor
US20200173779A1 (en) * 2018-12-03 2020-06-04 Honeywell International Inc. System and methods for optical excitation of acoustic resonance in resonator gyroscopes
CN110488422B (zh) * 2019-08-02 2020-12-08 中国地质大学（武汉） 一种基于硅基mems微环的低功耗全光二极管
FR3127572B1 (fr) * 2021-09-24 2023-09-08 Commissariat Energie Atomique Dispositif et procédé de détection d’espèces chimiques ou biologiques
DE102022130885B3 (de) 2022-11-22 2024-05-16 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Beschleunigungs- und Winkelgeschwindigkeitsmessung

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4661964A (en) 1985-10-02 1987-04-28 Northrop Corporation Resonant waveguide laser gyro with a switched source
DE3662821D1 (en) * 1986-07-29 1989-05-18 Litef Gmbh Method of measuring rate of turn using a passive optical resonator
US4991922A (en) * 1988-08-29 1991-02-12 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Optical fiber coupler and method
EP0448612B1 (de) * 1988-12-14 1994-09-14 Honeywell Ag Ringlaser-auslesevorrichtung
US5420684A (en) * 1989-12-22 1995-05-30 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Resonant interferometer fiber optic gyroscope
JPH04272481A (ja) 1990-12-25 1992-09-29 Satoshi Kawada マイクロマシーンの操作方法及び光駆動マイクロマシーン
JP3737595B2 (ja) 1997-02-03 2006-01-18 独立行政法人科学技術振興機構 微小光回路装置
TW401509B (en) 1998-06-05 2000-08-11 Defence Dept Chung Shan Inst Flipping device control circuit for laser gyroscope
US6473218B1 (en) 1999-06-11 2002-10-29 California Institute Of Technology Light modulation in whispering-gallery-mode resonators
US6831938B1 (en) * 1999-08-30 2004-12-14 California Institute Of Technology Optical system using active cladding layer
US6473541B1 (en) * 1999-09-15 2002-10-29 Seng-Tiong Ho Photon transistors
US6587205B2 (en) * 2000-07-28 2003-07-01 Litton Systems, Inc Integrated optic gyroscope and method of fabrication
US6901101B2 (en) * 2000-11-28 2005-05-31 Rosemount Inc. Optical sensor for measuring physical and material properties
US6603558B2 (en) * 2001-07-25 2003-08-05 University Of Delaware Micro-ring cavity gyroscope with magnetic field lock-in minimization
AU2003224911A1 (en) 2002-04-09 2003-10-27 California Institute Of Technology Atomic clock based on an opto-electronic oscillator
US7043115B2 (en) * 2002-12-18 2006-05-09 Rosemount, Inc. Tunable optical filter
US7123800B2 (en) 2004-03-02 2006-10-17 Celight, Inc. Integrated loop resonator with adjustable couplings and methods of using the same
US7480425B2 (en) * 2004-06-09 2009-01-20 Oewaves, Inc. Integrated opto-electronic oscillators
US7535576B2 (en) 2006-05-15 2009-05-19 Honeywell International, Inc. Integrated optical rotation sensor and method for sensing rotation rate
US7634201B2 (en) 2006-09-05 2009-12-15 Oewaves, Inc. Wideband receiver based on photonics technology
US7903255B2 (en) * 2007-08-16 2011-03-08 Celight, Inc. Sagnac sensor with nested waveguides
KR101453104B1 (ko) 2007-10-09 2014-10-23 삼성전자주식회사 마이크로 자이로 장치
US7746475B2 (en) 2007-10-09 2010-06-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Microgyroscope
WO2009059182A1 (en) * 2007-10-31 2009-05-07 Massachusetts Institute Of Technology Controlling optical resonances via optically induced potentials
WO2009064934A2 (en) 2007-11-13 2009-05-22 Oewaves, Inc. Cross modulation-based opto-electronic oscillator with tunable electro-optic optical whispering gallery mode resonator
WO2009137202A2 (en) * 2008-04-03 2009-11-12 California Institute Of Technology Optical sensing based on overlapping optical modes in optical resonator sensors and interferometric sensors
US7616850B1 (en) * 2008-04-09 2009-11-10 Sandia Corporation Wavelength-tunable optical ring resonators
CN100555361C (zh) 2008-07-18 2009-10-28 北京航空航天大学 光纤陀螺教学实验寻北仪的光纤陀螺结构
US8892127B2 (en) 2008-11-21 2014-11-18 Qualcomm Incorporated Wireless-based positioning adjustments using a motion sensor
US8269976B2 (en) 2009-05-01 2012-09-18 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Gyroscope utilizing MEMS and optical sensing
WO2011023246A1 (en) * 2009-08-25 2011-03-03 Tele Atlas B.V. A vehicle navigation system and method
US8432551B2 (en) * 2010-08-06 2013-04-30 Honeywell International Inc. Neon or iodine absorption enhanced hene ring laser gyroscope
US8831056B2 (en) * 2011-06-30 2014-09-09 Oewaves, Inc. Compact optical atomic clocks and applications based on parametric nonlinear optical mixing in whispering gallery mode optical resonators
US9528829B2 (en) 2011-07-14 2016-12-27 Cornell University Gyroscopes based on optomechanical sensing
US9158069B2 (en) * 2013-04-15 2015-10-13 Technion Research & Development Foundation Ltd. Charge-discharge electro-optical microring modulator

Also Published As

Publication number Publication date
US9482535B2 (en) 2016-11-01
KR101682993B1 (ko) 2016-12-20
GB2512522B (en) 2018-05-16
CN103998895B (zh) 2017-05-24
JP2015511305A (ja) 2015-04-16
WO2013095660A1 (en) 2013-06-27
US20130293898A1 (en) 2013-11-07
DE112011106020T5 (de) 2014-08-28
CN103998895A (zh) 2014-08-20
GB2512522A (en) 2014-10-01
TWI461655B (zh) 2014-11-21
JP5908603B2 (ja) 2016-04-26
GB201411009D0 (en) 2014-08-06
KR20140096146A (ko) 2014-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10571483B2 (en) Integrated resonant accelerometer using optical strain sensor
TWI461655B (zh) 整合矽光機陀螺儀（ｏｍｇｓ）
US9618531B2 (en) Optomechanical accelerometer
Serrano et al. Substrate-decoupled, bulk-acoustic wave gyroscopes: Design and evaluation of next-generation environmentally robust devices
CN105849569B (zh) 用于加速度测量和陀螺测量的光电机械传感器
US9389079B2 (en) Optomechanical disk vibratory gyroscopes
WO2013052953A1 (en) Optomechanical sensors based on coupling between two optical cavities
WO2000071981A1 (en) Micromachined displacement sensors and actuators
Hou et al. Novel high sensitivity accelerometer based on a microfiber loop resonator
CN110967001A (zh) 一种腔光机械振动陀螺
WO2013010182A1 (en) Gyroscopes based on optomechanical sensing
US20200173780A1 (en) Gyroscope, methods of forming and operating the same
US11579166B1 (en) Resonant accelerometer
Dell’Olio et al. Miniaturization of interferometric optical gyroscopes: A review
Loret et al. Navigation grade accelerometer with quartz vibrating beam
Mahmoud et al. Acousto-optic gyroscope
US10907965B2 (en) Multi coriolis structured gyroscope
Guillén-Torres et al. Silicon photonics characterization platform for gyroscopic devices
Venediktov et al. Quantum noise limit of phase microoptical gyro sensitivity
Bhat et al. Optomechanical sensing of wine-glass modes of a BAW resonator
US20180031599A1 (en) Optically enabled micro-disk inertia sensor
Ma et al. Sensitivity improvement of waveguide-type optical passive ring resonator gyroscope by carrier suppression
Li et al. Commercializing optomechanical sensors: from the classical to quantum regime
US11566900B2 (en) MEMS rotation rate sensor
US20230366679A1 (en) Optomechanical gyroscope on planar platform