201143968 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關硏磨對象物的硏磨方法。 【先前技術】 從以往’例如爲了製造積體電路等的電子零件，使用 玻璃基板、矽基板、碳化矽基板、氮化矽基板、藍寶石基 板或鈦酸鋁碳化鈣基板等。該等的基板（硏磨對象物）的 表面有使用硏磨裝置硏磨成高平滑度的必要。 專利文獻1揭示有硏磨裝置，具備：圓環形砂輪22、 在下面周圍緣部保持著圓環形砂輪的圓環形砂輪保持板（ 磨輪20 )、下側保持著砂輪保持板的旋轉圓盤（裝配盤） 1 9，且連接在旋轉圓盤中央部的轉軸。一邊使得該轉軸旋 轉，一邊將圓環形砂輪接觸於硏磨對象物，進行硏磨對象 物表面的硏磨。 專利文獻2揭示有在旋轉圓盤（裝配盤）43的下側透 過連結部（隔絕振動的彈性連結構造）5 1 1支撐著圓環形 的砂輪保持板（砂輪裝設部）5 1 2 ’並在圓環形的砂輪保 持板的上面呈圓環形排列配置有複數個超音波振子6等構 成的硏磨裝置。 專利文獻3揭示有在旋轉圓盤（較砂輪保持構件28的 溝槽30a、30b的上側位置）的下方透過圓環形連接件（砂 輪保持構件28的溝槽30a與溝槽30b之間的位置）支撐著圓 環形的砂輪保持板（較砂輪保持構件28的溝槽30a、3013的 201143968 下側位置）’並在圓環形的砂輪保持板的上面呈圓環形排 列配置有複數個超音波振子2 7 c等構成的硏磨裝置。 〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕 專利文獻1:日本特開2003-181767號公報（第4圖） 專利文獻2:日本特開2009-136991號公報（第2圖-第4 圖） 專利文獻3 :日本特開2009-226575號公報（第7圖） 【發明內容】 〔發明所欲解決的課題〕 本發明的課題爲提供一種硏磨方法，可使硏磨所使用 的圓環形砂輪以大的振幅穩定進行超音波振動，可藉此獲 得硏磨精度的提升與硏磨速度的提升。 〔解決課題用的手段〕 本發明人爲提升硏磨的精度或速度，針對可使硏磨所 使用的圆環形砂輪以大的超音波振動的硏磨裝置的構成進 行檢討。其結果，根據上述檢討本發明人發現採用圓盤狀 @开彡狀來取代以往爲獲得輕量化所採用之圓環形的形狀來 ί乍胃砂輪保持板的形狀，藉此使該圓盤狀的砂輪保持板得 &力的振幅進行超音波振動，因此得知保持在砂輪保持板 @ ®環形砂輪可以大的振幅進行超音波振動。又，爲了增 大上述砂輪保持板的超音波振動的振幅，可得知以在上面 -6- 201143968 中央部裝設圓盤狀的超音波振動子比在圓盤狀的砂輪保持 板上面裝設圓環形的超音波振子較爲有效。另一方面，硏 磨時由於旋轉驅動圓環形砂輪，圓盤狀的砂輪保持板透過 圓環形連接件與旋轉圓盤而連接在轉軸上。並且，也可得 知此圓盤狀的砂輪保持板和圓環形連接件之連接位置的設 定對於圓環形砂輪超音波振動的增大非常重要。具體而言 ，將圓盤狀的砂輪保持板和圓環形連接件以產生於砂輪保 持板的超音波振動所出現之複數環狀節中的保持外圍側的 節的位置連接，藉以使產生於上述砂輪保持板的大振幅的 超音波振動幾乎不會透過圓環形連接件及旋轉圓盤而傳達 至轉軸，其大部份是賦予圓環形砂輪，所以可使圓環形砂 輪以大的振幅穩定進行形超音波振動。藉此，可提升硏磨 的精度或速度。 因此，本發明爲包含下述（1)〜（3)之步驟的硏磨 對象物的硏磨方法。 (1 )準備：圓環形砂輪；將此砂輪保持在下面周緣 部並在上面中央部裝設圓盤狀的超音波振子的圓盤狀的砂 輪保持板；電連接於超音波振子的電能供應手段；將砂輪 保持板透過圓環形連接件保持在下側的旋轉圓盤；及包含 連接在旋轉圓盤中央部的轉軸的步驟。但是，上述圓環形 連接件和上述砂輪保持板是準備砂輪保持板與其上面中央 部的圓盤狀超音波振子所成的獨立構造物，以連接對超音 波振子賦予頻率設定在1 5〜100kHz範圍內的交流電壓時， 於產生砂輪保持板的平面方向或垂直方向位移的振動所出 201143968 現複數環狀的節之中，砂輪保持板最外圍側的節或鄰接最 外圍側節的節的位置。 (2) 準備將硏磨對象物固定在上面的硏磨對象物固 定台的步驟。 (3) —邊使轉軸旋轉，一邊將圓環形砂輪接觸於上 述硏磨對象物，同時將上述（1)的步驟所設定的頻率的 交流電壓賦予上述超音波振子，藉以使圓環形砂輪一邊振 動一邊進行硏磨對象物的硏磨的步驟。 本發明的硏磨方法的較佳樣態是如下述。 (l) 使用外徑爲1〇〇〜500mm範圍的砂輪保持板作爲 砂輪保持板。 (Π )圓環形連接件的厚度（W,)爲砂輪保持板外徑 (W )的0.1〜7%的範圍，並且圓環形連接件的高度（M 相對於圓環形連接件的厚度（W,)滿足下述式的關係。 W , ^ h ^1OWi (m) 上述（π)的樣態中，圆環形連接件的厚度（ W!)是在砂輪保持板外徑（W)的0.5 ~5 %的範圍。 (IV )圓環形連接件是以楊氏係數較砂輪保持板材料 小的材料所形成。 〔發明效果〕 本發明的硏磨方法中，與圓環形的超音波振子比較可 使硏磨裝置具備的圓盤狀超音波振子以大的振幅進行超音 波振動，同樣和圓環形的砂輪保持板比較可使圓盤狀的砂 201143968 輪保持板以大的振幅進行超音波 持板在產生於砂輪保持板的振動 數個環狀的節之中，砂輪保持板 地支撐於圓環形連接件。所以超 生大振幅的超音波振動，該超音 形連接件及旋轉圓盤傳達至轉軸 砂輪。因此，本發明的硏磨方法 砂輪以大的振幅穩定進行超音波 例如，以大的振幅使砂輪保 動，藉此減小砂輪與硏磨對象物 擦熱造成硏磨對象物的熱膨脹， 象物表面的高平滑度。又，例如 板在平面方向振動，可藉此使得 速度變大，所以因此也可以高速 磨（粗硏磨）。 【實施方式】 首先，使用添附圖示說明實 用的硏磨裝置。 第1圖是表示可有利使用於 硏磨裝置的構成例的剖視圖。並 的沿著截斷線Π - Π線截斷的硏磨 第1圖及第2圖表示的硏磨裝 11 ;在下面周圍緣部保持著砂輪 振動。並將上述的砂輪保 (超音波振動）所出現複 外圍側的節的位置，穩定 音波振子在砂輪保持板產 波振動幾乎不會透過圓環 ，其大部份是賦予圓環形 可使硏磨所使用的圓環形 振動。 持板在垂直方向超音波振 的摩擦阻力，可抑制因摩 而可高精度硏磨出硏磨對 ，以大的振幅使砂輪保持 砂輪與硏磨對象物的相對 進行硏磨對象物表面的硏 施本發明硏磨方法時所使 本發明硏磨方法的實施之 且，第2圖爲記入於第1圖 裝置10的剖視圖。 置1 〇，具備：圓環形砂輪 11並在上面中央部裝設圓 -9- 201143968 環形超音波振子12的圓盤狀的砂輪保持板13;電連接於超 音波振子1 2的電能供應手段1 4 ;將砂輪保持板1 3透過圓環 形連接件1 5保持在下側的旋轉圓盤1 6 ;及連接在旋轉圓盤 16中央部的轉軸17。 圓環形砂輪1 1是例如使用將鑽石磨粒爲代表的磨粒， 以金屬結合或樹脂結合來黏著成型爲圓環形的砂輪。砂輪 的粒徑是通常設定在0.1〜50 μιη的範圍內。再者，圓環形砂 輪也可以使用呈圓環形排列的配置的複數個（例如， 2〜2 00個）砂輪片的集合體。藉此，降低硏磨時在圓環形 砂輪內部產生的應力，可抑制圓環形砂輪的破損》 圓環形砂輪11是保持在圓盤狀的砂輪保持板13的下面 周圍緣部。圆環形砂輪1 1是例如被嵌合固定在形成於砂輪 保持板1 3下面的周圍槽。圓環形砂輪例如也可透過黏著劑 固定在砂輪保持板上。 圓盤狀的砂輪保持板1 3是例如以金屬材料所形成。金 屬材料是以使用鋁、鋁合金、不銹鋼爲代表的鋼、鈦合金 或青銅爲佳。 砂輪保持板13的上面中央部裝設有圓盤狀的超音波振 子1 2。超音波振子1 2是例如透過環氧樹脂等的黏著劑固定 在砂輪保持板13上。 作爲圓盤狀的超音波振子12，例如使用在圓盤狀的壓 電體上下的各表面附設電極層構成的壓電振子。壓電體爲 習知的壓電材料，例如鉻酸鈦酸鉛係的壓電陶瓷材料所形 成。電極層是例如以銀、金或磷青銅爲代表的金屬材料所 -10- 201143968 形成。 超音波振子12透過上下的電極層賦予交流電流時產生 超音波振動。對超音波振子1 2賦予交流電，可透過配電線 18b將電能供應手段14電連接於超音波振子12，在電能供 應手段1 4透過配電線1 8a連接著電源（未圖示）。 電能供應手段1 4是使用於將產生電源的電能供給（賦 予交流電壓）硏磨對象物的硏磨時和圓環形砂輪1 1 一起旋 轉的超音波振子1 2。 電能供應手段1 4是使用例如將圓環形的供電單元1 4a 和圓環形的受電單元1 4b彼此僅隔開些微的間隔接近配置 所構成的旋轉變壓器。供電單元14a和受電單元14b分別具 備圓環形的線圈3 4。 供電單元14a是固定在具備轉軸17的馬達的主體33的 下面。並且，受電單元14b是固定在旋轉圓盤16的上面。 旋轉電晶體所代表的電能供應手段的構成與機能是例 如記載於上述專利文獻2及專利文獻3的各文獻已爲習知， 在此不進行更詳細的說明。 上述砂輪保持板13是透過圓環形連接件15保持在旋轉 圓盤1 6的下側》 砂輪保持板1 3與圓環形連接件1 5是例如使用黏著劑將 彼此連接固定。與圓環形砂輪11的場合同樣，也可將圓環 形連接件1 5嵌合（以隔著黏著劑爲佳）於形成在砂輪保持 板13上面的周圍溝槽固定。 圓環形連接件1 5是例如以金屬材料所形成。金屬材料 -11 - 201143968 是以使用鋁、鋁合金、不銹鋼爲代表的鋼、鈦合金或青銅 爲佳。 也可一體形成圓環形連接件1 5與砂輪保持板1 3。此時 ，圓環形連接件1 5和砂輪保持板1 3是以相同的材料所形成 〇 圓環形連接件1 5與旋轉圓盤16是例如使用螺栓3 1彼此 來連接固定。圓環形連接件15的上端具備形成有螺栓31嵌 合之螺孔的厚壁部15a。也可將圓環形連接件15嵌合在形 成於旋轉圓盤1 6下面的周圍溝槽（以隔著黏著劑爲佳）固 定。 旋轉圓盤16和轉軸17是例如使用螺栓32彼此加以連接 固定。旋轉圆盤1 6及轉軸1 7是例如以鋼爲代表的金屬材料 所形成。 再者，也可一體形成旋轉圓盤16和圓環形連接件15。 此時，使用和圓環形連接件1 5的材料相同的材料作爲旋轉 圓盤16的材料。 接著，針對表示於第1圖及第2圖的硏磨裝置10的圓環 形連接件15和砂輪保持板13的連接位置說明如下。 爲決定圓環形連接件1 5和砂輪保持板1 3的連接位置， 首先，準備砂輪保持板13與其上面中央部的圓盤狀超音波 振子12所成的獨立構造物。並且，如以下說明，圓環形連 接件15和砂輪保持板13的連接位置是根據在賦予超音波振 子12交流電壓時砂輪保持板13產生的振動來決定。因此， 爲了精密設定圓環形連接件1 5和砂輪保持板1 3的連接位置 -12- ⑧ 201143968 ，更以準備砂輪保持板1 3、圓盤狀超音波振子1 2及圓環形 砂輪1 1所成的獨立構造物爲佳。 接著，對上述構造物的超音波振子12賦予頻率設定在 15~100kHz範圍內的交流電壓。藉此，在砂輪保持板13產 生朝著保持板13的垂直方向位移的振動。 再者，即使交流電壓的頻率不在上述範圍內，仍可在 砂輪保持板1 3產生朝著保持板Π垂直方向位移的振動。但 是，交流電壓的頻率過低時，會有因砂輪保持板1 3的振動 產生噪音，相反地頻率過高時，會使得砂輪保持板1 3的振 動變小。考慮上述實用上的問題，交流電壓的頻率是設定 在15〜100kHz的範圍內，並以設定在20〜70kHz爲佳。 在第1圖表示的圓盤狀砂輪保持板1 3的剖面以實線表 示賦予超音波振子12交流電壓時產生的振動的位移51。並 將上述振動出現的環狀的節5 2a、5 2b、52c，在第1圖以黑 點、在弟2圖以兩點虛線分別表不。如上述 > 在砂輪保持 板13產生朝垂直方向位移的振動（撓曲振動）。 並且，圓環形連接件1 5和砂輪保持板1 3是在上述振動 (超音波振動）所出現的複數環狀的節52a、52b、5 2c之 中，砂輪保持板13最外圍側的節52c的位置連接。再者， 圓環形連接件1 5和砂輪保持板1 3也可在鄰接於砂輪保持板 13最外圍側節52c的節52b的位置連接。 藉以使砂輪保持板1 3在保持板1 3最外圍側的節5 2 c ( 或連接最外圍側的節52c的節52b )的位置，即振動的位移 爲零的位置’穩定支撐於圓環形連接件1 5。因此，超音波 -13- 201143968 振子12在砂輪保持板13產生的超音波振動透過圓環形連接 件15及旋轉圓盤16幾乎不會傳達到轉軸17，其大部份是賦 予圓環形砂輪。所以，可使保持在砂輪保持板1 3的圓環形 砂輪1 1以大的振幅穏定地振動（超音波振動）。 並且 '如第1圖表不，一旦以大的振幅使砂輪保持板 13朝著垂直方向超音波振動時（撓曲振動）時，可減小圓 環形砂輪11和硏磨對象物（第3圖：21)的摩擦阻力，抑 制根據摩擦熱產生硏磨對象物的熱膨脹，因此可進行硏磨 對象物表面的高精度硏磨》 另外，如第1圖表示，針對在砂輪保持板1 3產生的振 動出現3個（或3個以上）環狀的節的場合，圓環形連接件 15與砂輪保持板13 —旦被連接在比鄰接於砂輪保持板13最 外圍側的節52c的節52b更朝內周圍側的節52a的位置時， 會使得砂輪保持板1 3和圓環形連接件1 5的連接變得不穩定 ，而容易在砂輪保持板外圍側的部位產生不必要的振動， 例如根據外部振動之低頻率（小於1 5kHz )的振動。 並且，本發明使用的硏磨裝置1 〇分別使上述的砂輪保 持板1 3與超音波振子1 2的形狀分別爲圓盤狀，藉此致力於 圓環形砂輪Π振動（超音波振動）時獲得大的振幅。 爲了以大的振幅使圓環形砂輪1 1超音波振動時，砂輪 保持板1 3外圍側的部位必須有大的位移（以大的振幅進行 超音波振動）。砂輪保持板1 3外圍側的部位進行大的位移 時，會在砂輪保持板13的中央部產生大的內部應力。換言 之，只要在砂輪保持板13的中央部（使用超音波振子12) -14- ⑧ 201143968 產生大的內部應力，即可使砂輪保持板1 3外圍側的部位產 生大的位移。但是，使用中央具備開口部的圓環形的砂輪 保持板作爲砂輪保持板時，原本在中央部即不會產生內部 應力。另一·方面，使用圓盤狀的砂輪保持板13時，可在其 中央部裝設超音波振子1 2，使用該振子1 2在砂輪保持板1 3 的中央部產生大的內部應力。和圓環形的砂輪保持板比較 可使圓盤狀的砂輪保持板1 3外圍側的部位產生大的位移（ 以大的振幅超音波振動）。因此，可以大的振幅進行圓環 形砂輪1 1的超音波振動。 再者，在圓盤狀的砂輪保持板1 3也可形成溝槽或透孔 以使得硏磨時的圓環形砂輪1 1振動的振幅不低於90%以下 的範圍。 根據同樣的理由，針對使圓盤狀的砂輪保持板13位移 的超音波振子，也可在中央部產生大的內部應力，所以採 用外圍側的部位可大位移的（以大的振幅振動）圓盤狀的 形狀。藉著圓盤狀的超音波振子，使圓盤狀的砂輪保持板 中央部產生大的位移，可以大振幅進行圓環形砂輪11的超 音波振動。 同樣，也可以在圓盤狀的超音波振子1 2形成溝槽或透 孔以使得硏磨時的圓環形砂輪1 1振動的振幅不低於90%以 下的範圍。 確認圓環形連接件1 5和砂輪保持板1 3的連接位置時賦 予超音波振子1 2的交流電壓的頻率是設定於上述構造物具 有的固有振動之中，在砂輪保持板1 3出現複數的節的振動 -15- 201143968 產生之固有振動的頻率（振動數）。固有振動的頻率可以 習知的方法，例如下述的方法確認。 例如’準備具有上述砂輪保持板13和圓盤狀超音波振 子12的構造物（以進一步具備圓環形砂輪11的構造物爲佳 )，在15〜100kHz的範圍內以每1kHz逐漸增加交流電壓的 頻率’一邊使用雷射多普勒振動計測量賦予各頻率的交流 電壓時砂輪保持板1 3所產生振動的位移分佈。並且，藉此 測量可將確認出上述固有振動（在砂輪保持板1 3出現複數 的節的振動產生的固有振動）的產生頻率，設爲在確認圓 環形連接件15與砂輪保持板13的連接位置時賦予超音波振 子12之交流電壓的頻率。 再者，預先使用阻抗分析器測量上述構造物的超音波 振子的頻率特性（導納特性），從其測量結果來確認所有 上述構造物之固有振動的頻率，並針對確認後的各頻率的 交流電壓，進行與上述場合同樣的操作，可決定在確認圓 環形連接件1 5和砂輪保持板1 3的連接位置時賦予超音波振 子1 2的交流電壓的頻率。藉此，降低產生於砂輪保持板1 3 的振動位移之分佈測定的次數。 並藉著使用有限元法的電腦模擬，確認所有上述構造 物的固有振動的頻率，並預先確認已確認的各頻率之固有 振動的位移的分佈時，可以簡單決定在確認圓環形連接件 1 5和砂輪保持板1 3的連接位置時賦予超音波振子1 2的交流 電壓的頻率。電腦模擬例如可使用利用有限要素法的解析 用的軟體「ANSYS」 （ANSYS公司製）。 -16- ⑧ 201143968 此外，在頻率15~100kHz的範圍內發現於砂輪保持板 13產生複數的環形的節出現振動的固有振動的頻率爲二以 上的場合，也可使用任意的頻率’但通常是使用較低的頻 率。如上述，即由於頻率一旦變高時砂輪保持板1 3的振動 的振幅，即圓環形砂輪1 1的振動振幅會變小。 接著，針對使用上述硏磨裝置1〇的本發明的硏磨方法 ，一邊參照添附的第1圖~第3圖說明如下。 本發明的硏磨方法是由下述（1)〜（3)的步驟所構 成。 (1) 第1圖〜第3圖表示的硏磨裝置10，即準備硏磨裝 置的步驟，該硏磨裝置，包含：圓環形砂輪11;將砂輪11 保持於下面周圍緣部在上面中央部裝設圓盤狀的超音波振 子1 2的圓盤狀的砂輪保持板1 3 ;電連接於超音波振子1 2的 電能供應手段1 4 ;將砂輪保持板1 3透過圓環形連接件1 5保 持在下側的旋轉圓盤1 6 ;及連接於旋轉圓盤1 6中央部的轉 軸1 7。但是，上述圓環形連接件1 5與上述砂輪保持板1 3是 準備砂輪保持板13與其上面中央埠的圓盤狀超音波振子12 所構成的獨立構造物，連接於對超音波振子12賦予頻率設 定在15~100kHz範圍內的交流電壓時產生朝著砂輪保持板 13的垂直方向位移之振動所出現複數環狀的節52a、52b、 52c之中，砂輪保持板13最外圍側的節52c的位置。 (2) 準備將硏磨對象物21固定在上面的硏磨對象物 固定台2 2的步驟。 (3 ) —邊使轉軸1 7旋轉，一邊將圓環形砂輪〗〗接觸 -17- 201143968 於硏磨對象物2 1，同時將上述（1 )的步驟所設定的頻率 的交流電壓賦予上述超音波振子12，藉以使圓環形砂輪11 一邊振動一邊進行硏磨對象物21的硏磨的步驟。 再者，上述（3 )的步驟所賦予超音波振子1 2交流電 壓的頻率是設定實質上與上述（1)的步驟所設定之交流 電壓的頻率相等的値。實質上相等是意味著在上述（1) 的步驟所設定的頻率之±5% (以1 %爲佳）的範圍內。 本發明的硏磨方法中，在硏磨裝置10使用和圓環形砂 輪1 1 一起可形成大位移（以大振幅進行超音波振動）的圓 盤狀的砂輪保持板1 3與圓盤狀的超音波振子1 2，並以在保 持板1 3產生振動之預定環狀的節（例如，節5 3 C )的位置 ，將砂輪保持板1 3穏定支撐在圓環形支撐件1 5。所以，超 音波振子12在砂輪保持板13產生大振幅的超音波振動，該 超音波振動幾乎不會透過圓環形的連接件15，及旋轉圓盤 16傳達至轉軸17，其大部份是賦予園環形砂輪11。因此， 本發明的硏磨方法可以大的振幅使圓環形砂輪11穩定地進 行超音波振動。 因此，如第1圖表示，例如使砂輪保持板1 3以大的振 幅朝垂直方向進行超音波振動（撓曲振動），使得砂輪與 硏磨對象物的摩擦阻力變小，而可以高精度進行硏磨對象 物表面的硏磨。 再者，使用第3圖表示的裝置進行硏磨對象物21的硏 磨時，以在硏磨對象物2〗的表面供應硏磨輔助液（例如， 水）爲佳。並可將固定硏磨對象物21的硏磨對象物固定台 •18- ⑧ 201143968 22和豎立設置在基台23的轉軸24—起旋轉。 本發明的硏磨方法中，以使用外徑100〜500mm的範圍 內的圓盤狀砂輪保持板作爲圓盤狀的砂輪保持板1 3爲佳。 本發明的硏磨方法有效利用賦予超音波振子的電能，可以 大的振幅進行保持在上述大尺寸砂輪保持板之圓環形砂輪 的超音波振動。因此，本發明的硏磨方法有利於硏磨對象 物的大尺寸的場合。 另一方面，上述的圓環形連接件15的厚度（第1圖： W,)是在砂輪保持板13的外徑（第1圖：W )的0.1〜7%的 範圍，並且圓環形連接件15的高度（第1圖：h)相對於圓 環形連接件15的厚度（WJ是以滿足下述式的關係爲佳。 W, ^ h ^ 1 0 W, 圓環形連接件1 5是將圓盤狀的砂輪保持板1 3支撐在上 述的環狀的節（例如，節52c )的位置，即振動的振幅爲 零的位置，可藉此抑制產生於砂輪保持板1 3的超音波振動 透過連接件1 5及旋轉圓盤1 6傳達至轉軸1 7。所以圓環形連 接件15的厚度（W!)具有支撐砂輪保持板13所需的機械強 度，並儘可能以薄的厚度爲佳。 因此，圓環形連接件1 5的厚度（W !)，如上述以砂輪 保持板13的外徑（W)的0.1〜7%的範圍爲佳，以0.1〜5 %的 範圍更佳，並以0.2〜5%的範圍最佳，尤其以0.5~5%的範圍 最爲理想。 又，圓環形連接件15和砂輪保持板13，連接件15具有 限的厚度，所以在接近砂輪保持板1 3的環狀的節位置的位 -19- 201143968 置也會連接。因此’圓環形連接件15在其厚度方向容易撓 曲（容易彈性變形）以不妨礙砂輪保持板1 3的振動爲佳。 爲此’圓環形連接件的高度（第1圖：h)相對於圓環 形連接件15的厚度（W!) ’以滿足上述式的關係（WlSh
SlOWi)的關係爲佳，圓環形連接件15的厚度（Wi)的2 倍以上的高度更佳。 根據同樣的理由’圓環形連接件1 5是以楊氏係數比砂 輪保持板的材料還小的材料形成爲佳。爲了滿足以上的條 件，例如以不銹鋼形成砂輪保持板1 3，並以鋁形成圓環形 支撐件15即可。 第4圖是表示有利於使用在本發明硏磨方法的實施之 硏磨裝置的其他構成例的剖視圖。 第4圖的硏磨裝置40的構成爲圓環形連接件45與砂輪 保持板〗3是準備砂輪保持板13與其上面中央部之圓盤狀超 音波振子12所成的獨立構造物，對超音波振子12賦予頻率 設定於15〜100kHz範圍內的交流電壓時在砂輪保持板13平 面方向產生位移的振動所出現複數環狀的節62a、62b之中 ，連接砂輪保持板1 3最外圍側的節62b的位置（即產生於 砂輪板13的振動方向不同）以外是和第1圖的硏磨裝置10 相同。 第4圖表示的圆盤狀砂輪保持板13的剖面，以箭頭61a 、61b表示對超音波振子12賦予交流電壓所產生振動的方 向，並以黑點表示上述振動所出現的環狀的節62a、62b。 如此一來，在砂輪保持板13產生平面方向位移的振動。 -20- ⑧ 201143968 使用第4圖的硏磨裝置40的本發明的硏磨方法可以和 使用上述第1圖的硏磨裝置的場合同樣地實施》 並如第4圖表示，以大的振幅使砂輪保持板1 3在平面 方向超音波振動時，砂輪與硏磨對象物的相對速度會變大 ，因此可以高速進行硏磨對象物表面的硏磨（粗硏磨）。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示可有利使用於本發明硏磨方法的實施之 硏磨裝置的構成例的剖視圖。但是，砂輪保持板1 3的剖面 記入有產生於砂輪保持板1 3的振動的位移5 1，因此未記入 顯示剖面的斜線（陰影線）。 第2圖爲記入於第1圖的沿著截斷線Π - Π線截斷的硏磨 裝置1 0的剖視圖。但是，圓環形連接件1 5的剖面記入有產 生於砂輪保持板1 3振動所出現的環狀的節52c，因此未記 入顯示剖面的斜線（陰影線）。 第3圖是針對使用第1圖的硏磨裝置10的硏磨方法加以 說明的圖。 第4圖是表示可有利使用於本發明硏磨裝置的實施之 硏磨裝置的其他構成例的剖視圖。但是，砂輪保持板1 3的 剖面記入有表示產生於砂輪保持板1 3的振動方向的箭頭 6 1 a、、6 1 b，因此未記入顯示剖面的斜線（陰影線）。 【主要元件符號說明】 1 0、40 :硏磨裝置 -21 - 201143968 1 1 :圓環形砂輪 1 2 :圓盤狀超音波振子 1 3 :圓盤狀砂輪保持板 1 4 :電能供應手段 14a :供電單元 14b :受電單元 1 5、4 5 :圓環形連接件 1 5 a ·厚壁部 16 :旋轉圓盤 1 7 :轉軸 1 8 a、1 8 b :配電線 21 :硏磨對象物 22:硏磨對象物固定台 23 :基台 24 :轉軸 3 1 ' 32 :螺栓 3 3 :馬達的主體 3 4 :線圈 5 1 :振動的位移 52a、 52b、 52c:環狀的節 61a、61b:表示振動方向的箭頭 62a、62b:環狀的節 72 :點狀的節 W :砂輪保持板的外徑 -22- ⑧ 201143968 W i :圓環形連接件的厚度 h :圓環形連接件的高度 -23