201140898 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 [0001] 本發明涉及一種電致動結構及電致動元件，尤其涉及一 種含有奈米碳管的電致動結構及電致動元件。 [先前技術] [0002] 致動器的工作原理為將其他能量轉換為機械能’實現這 一轉換經常採用的途徑有三種：通過靜電场轉化為靜電 力，即靜電驅動；通過電磁場轉化為磁力，即磁驅動； 利用材料的熱膨脹或其他熱特性實現能量的轉換’即熱 ❹ 驅動。 [0003] 靜電驅動的致動器一般包括兩個電極及設置在兩個電極 之間的電致動元件，其工作過程為在兩個電極上分別注 入電荷，利用電荷間的相互吸引和排斥，通過控制電荷 數量和電負性來控制電極間電致動元件^相對運動。由 於靜電力反比於電容板之間距離的平方，因此一般只有 在電極間距很小時靜電力才比較顯著，該距離的要求使 Q 該致動器的結構設計敕為複雜。磁驅動的致動器一般包 括兩個磁極及設置在兩個磁極之間的電致動元件，其工 作係通過磁場的相互吸引和排斥作用使兩磁極之間的電 致動元件產生相對的運動，磁驅動的缺點和靜電驅動相 同’即由於磁場作用範圍有限，導致電致動元件的上下 兩個表面必須保持較小的距離，該結構的設計要求嚴格 且也限制了該致動器的應用範圍。 [0004] 奈米碳管紙等已被發現可用來製備電致伸縮複合材料（請 參見 Carbon Nanotube Actuators”，Ray H. 099114470 表單編號A0101 第3頁/共37頁 0992025549-0 201140898
Baughman, et a 1., Science, vol 284，pi 340 ( 1 999 ))。先前技術提供一種含有奈米碳管的奈米柔性電 熱材料。所述奈米柔性電熱材料包括柔性高分子基底材 料及分散在柔性高分子基底材料中的奈米竣管。奈米柔 性電熱材料可以導電，通電以後可發熱，發熱後，所述 的奈米柔性電熱材料體積發生膨脹。然而，電壓通過該 奈米柔性電熱材料的兩端加入該奈米柔性電熱材料，由 於該奈米柔性電熱材料在伸縮的同時，沿伸縮方向上的 兩端都必須連接有電極，使得該奈米柔性電熱材料難以 實現器件化，不利於該奈米柔性電熱材料的實際應用。 【發明内容】 [0005] 有鑒於此，提供一種有利於器件化的含奈米碳管的電致 動結構及電致動元件實為必要。 [0006] 一種電致動結構，具有一第一端，以及與該第一端相對 設置的第二端。該電致動結構包括至少兩個電致動材料 層，該至少兩個電致動材料層在所述電致動結構的第一 端和第二端之間延伸且所述延伸部分相互電絕緣，該至 少兩個電致動材料層在電致動結構的第一端處電連接， 在第二端處分開設置。 [0007] —種電致動元件包括一電致動結構以及至少兩個電極。 該電致動結構具有一第一端，以及與該第一端相對設置 的第二端。該電致動結構包括至少兩個電致動材料層， 該至少兩個電致動材料層在所述電致動結構的第一端和 第二端之間延伸且所述延伸部分相互電絕緣，該至少兩 個電致動材料層在電致動結構的第一端處電連接，在第 099114470 表單編號A0101 第4頁/共37頁 0992025549-0 201140898 二端處分開設置。所述至少兩個電極間隔設置於所述第 一端’且一個電極對應一個電致動材料層設置。 [0008] 與先前技術相比較’本發明提供的電致動結構及採用該 電致動結構的電致動元件，使用時，電極可以全部設置 在電致動結構或電致動元件的同一端，而且電流通過所 述至少兩個電致動材料層形成由第二端流經第一端再後 到第二端的電流，從而所述至少兩個電致動材料層均句 發熱而膨脹，使得該電致動結構將發生形變。由於所塊 Ο 電致動結構及採用該電致動結構的電致動元件使用時， 電極均設置於第一端，麵此’可以屬轉電致動結構或電 致動元件的同一端控制其形變，從而有利於該電致動結 構或電致動元件的實際應用。 【實施方式】 [0009]
本發明提供一種電致動結構’該電致動結構為立體結構 ，比如平板狀體、柱狀體、橢圓球體或者錐形體，也$ 以為彎曲狀體等。該電致動结鼻具有一第一端以及與讀 第一端相對設置的一第二端。请謂第一端以及第二端的 選擇係根據實際情況定的，比如平板狀體時可以根棣需 要取任意兩個相對的兩端；如果柱狀體或者橢圓球趙等 ，那麼可以取長轴方向上的相對兩端；如果係彎曲狀趙 ，可以取自延伸方向相對的兩端。該電致動結構包括 -3Ε* 少兩個電致動材料層，該至少兩個電致動材料層在電I 動結構的第一端和第二端之間延伸，該至少兩個電敢動 材料層在第一端和第二端之間延伸部分相互電絕緣。診 至少兩個電致動材料層可以平行，也可以不平行， 099114470 表單編號A0101 第5頁/共37頁 201140898 平板狀體或柱狀Μ平行，衫少兩個電軸材料層可 以你橢圓球體、錐形體或者彎曲狀體時，該至少兩 個電致動材料層可以不平行。 [0010] [0011] 該至少兩個電致詩料層在電致減構的第_端或第二 端中的任意一端處相連接，在另一端處不相連。在該至 少兩個電致動材料層之間可以設置絕緣層，該絕緣層的 作用係該絕緣層也可以係平板狀，也可以係圓柱狀，其 形狀視所述電致動結構_狀而定。絕緣I。、要能使得 所述至少兩個電致動材料層在第—端和第二端之間延伸 邛分相互電絕緣即可。當然’所述至少兩個電致動材料 層之間也可以直接通過空氣間隔，使得所述至少兩個電 致動材料層在第-端和第二端之間延伸部分相互間隔地 電絕緣。 所述至少兩個電致動材料層為一種電致動的伸縮材料構 成，即只要給該電致動材料層通電，該電致動材料層就 會發熱膨脹，只要係能夠通電膨脹的村料，均可以實現 本發明。所述至少兩個電致黪材料層在電致動結構的第 一端或第二端任意一端處相連接係指電連接，可以通過 體开)成的方式相連，也可以借第三導電結構來實現電 相連。以下實施例中的電致動材料，至少兩個電致動材 料層在電致動結構係在第一端處電連接，當通過電致動 、-、σ構的第一端提供電流時，所述至少兩個電致動材料層 將熱膨脹，由於兩個電致動材料層的材料相同或者熱膨 脹係數相同或相近，因此電致動結構將在由發生形變， 由於本發明提供的電致動結構可以將電極均設置於電致 099114470 表單編號Α0101 第6頁/共37頁 0992025549-0 201140898 [0012] [0013] Ο [0014]Ο 動結構相同的/端’從而更加有利於該電致動結構的器 件化，以及實際應用。 為了更清楚地説明本發明的電致動結構以及電致動元件 ，下面以具據實施例予以說明。 請參考圖1及圖2，本發明第一實施例提供一種電致動結 構10，該電致動結構10為平面片狀（也可稱為薄板）結 構。該電致動結構10具有一第一端13 ’以及與該第-端 13相對的第，端17。該電致動結構10包括兩個電致動材 料層12，一電速接部15，以及一絕緣層16。所述兩個電 致動材料層12乎行間隔設置，並在端13與第二端17 之間延伸。所述絕緣層16設單於所述兩個電致動材料層 12之間，所述兩個電致動材料層12在所述電致動結構1〇 的第一端13通過電連接部15電連接。所述兩個電致動材 料層12在所述電致動結構1〇的第二端17通過所述絕緣層 16電絕緣。 . 所述電致動材料層12為複數個奈米碳管122分散於柔性高 刀子基體124中形成的奈米碳管複合材料。所述奈米碳管 122在所述柔性高分子基體124中均勻分佈，奈米碳管 互相搭接在柔性高分子基體124中形成大量導電網路 。本實施例中，所述電致動材料層12為長方形平面結構 ’厚度為1毫米。 所述柔性高分子基體124可選自矽橡膠彈性體、聚氨脂、 裒氧樹脂、聚甲基丙烯酸曱酯中的一種及其任竟組合。 本實施例中，所述柔性高分子基體124為矽橡膠彈性體構 099114470 表單鴂號A0101 第7頁/共37頁 0992025549-0 [0015] 201140898 成的矽橡膠薄膜，該矽橡膠薄膜為厚度為1毫米厚的一長 方形薄片，長度為20毫米，寬度為10毫米。 [0016] 所述奈米碳管122在所述電致動材料層12的質量百分含量 為0. 1%〜10%。所述奈米碳管122可為單壁奈米碳管、雙 壁奈米碳管及多壁奈米碳管中的一種或其任意組合。其 中，所述單壁奈米碳管的直徑為0.5奈米〜50奈米，雙壁 奈米碳管的直徑為1.0奈米〜50奈米，多壁奈米碳管的直 徑為1.5奈米~50奈米。所述奈米碳管122的長度不限。 優選地，所述奈米碳管122的長度為50〜900微米。所述 複數個奈米碳管122互相搭接在柔性高分子基體124中形 成大量導電網路。由於奈米碳管122具有良好的電熱轉換 效率，且於柔性高分子基體124中多次彎折而不易斷裂。 所以當施加一電壓後，該導電網路可以迅速發熱，對柔 性高分子基體124進行加熱，從而使所述電致動材料層12 可以迅速膨脹，可以較快的伸縮，使得該電致動結構10 具有較快的響應速度。 [0017] 所述絕緣層16為具有柔性的高分子材料構成，可以起到 電絕緣的作用。所述絕緣層16的厚度小於所述電致動材 料層12的厚度，由於絕緣層16的厚度小於所述第一電致 動材料層的厚度，該電致動結構10在伸縮時絕緣層16具 有較小的阻力，使該電致動結構10具有較好的響應速度 。構成所述絕緣層16的材料可選自矽橡膠彈性體、聚氨 脂、環氧樹脂、聚曱基丙烯酸曱酯中的一種及其任意組 合。本實施例中，所述絕緣層16矽橡膠彈性體構成的矽 橡膠薄膜，厚度為0.5毫米，長度為18毫米，寬度為10毫 099114470 表單編號A0101 第8頁/共37頁 0992025549-0 201140898 [0018] 來。 所述絕緣層16還可以為空氣’當該絕緣廣16為工乳時’ 所述兩個電致動材料層12之間通過所述絕緣層16形成一 個絕緣的空間。由於該電致動結構10的絕緣曰為個 $間，使得該電致動結構10在伸縮時絕緣廣’、有較] 的降力，使該電致動結構10具有較好的響應速度以及 [0019]
[0020] 099114470 #大的形變量° 所述電連接部15為片狀結構，其設置於所述電致動結構 10的第一端13，並與所述兩個電致動材料層12電連接。 該電連接部15的材料與所述電致動材料層i2相同，均由 均勻分佈在柔性高分子基體124中的複數個奈米碳管122 組成，該複數個奈米碳管122相互搭接並形成導電網路。 該電連接部15與兩個電致動材料層12形歲一個整體結構 ，並且所述複數個奈米碳管122在所述電連接部15與兩個 電致動材料層12連接形成的整體結構中相互搭接形成一 個完整的導電網路。 本實施例中，該電致動結構1〇長度為2〇毫米，寬度為1〇 毫米，厚為2. 5毫米。絕緣層丨6的厚度為〇. 5毫米，所述 電致動材料層12的厚度為1毫米。對該電致動結構10進行 伸縮特性測量’請參見圖3，對該電致動結構施加幾十 伏特的電壓’即可以獲得較大的形變，當電壓為伏特 時’形變量可達到Q. 5毫米，應變可大於3%。圖4給出了 連續測量10次循環，楳〇權π 展樣獲仵的最大形變值。從圖4可以 看出’樣品的形變吾其士去 置土本為一水準直線，從而說明該電 致動結構10具有較好的可重複性。 表單編號Α0101 « „ ^ . 0992025549-0 201140898 [0021] [0022] [0023] 099114470 本發明第-實施職供的電致動結構1()在使料，在該 電致動結構1G的第二端17的兩個電致騎料層12分別接 入電源的兩個電極’電流將在兩個電致動材料層12，以 及電連接部15形成的整體結構中的複數個奈米碳管122相 互搭接形賴導電網路巾傳輸。由於奈米碳管122的熱導 率很高，從錢得料電致祕_的溫度快速升高， 所述複數個奈米碳管122可迅速加熱柔性高分子基體124 ，熱量從所述電致動結構1G中奈米碳管122的周圍快速地 向整個電致動結構1G中擴散。由於所述電致動 第-端13向第二端17_向長聽長，從 構_沿第二額到第—賴的方向膨服 電致動結構10的第二端17輸入’從而 ° ^ 結構10的第-端13伸縮’從而使得該電致電致動 容易器件化，佾而古釗认 勒〜構10更加 面的應用從而有利於該電致動結構1〇在電敎伸縮方 可以理解，上述平板狀”致_構1()在 致動結構Π)在其長度較長的方向上延伸該電 結構10第一端13到第二端Π的方向長度較長;:亥電致動 動結構10在第-端13到第二端17的方向上伸S亥電致 電致動結㈣在垂直於第—端u到第二端17=;如當該 度較長時，該電致動結構1G在垂直於第—方向的長 1 7的方向上伸縮。 到第二端 請參見圖5，本發明第二實施例提供—電 結構與第—實施例的電致動結構Μ基本。構20，其 絕緣層2S的結構與第—實施例中的絕緣層16^別在於 表羊編號A0101 第1〇頁/共37頁 201140898 [0024] 所述絕緣層2 6為柔性尚分子材料組成的片狀結構，該片 狀結構中進一步包括複數個空氣柱162。所述空氣柱162 可以為電致動結構20的第一端13向第二端17延伸的方向 上延伸，形成一個長條狀的空氣柱。由於該絕緣層2 6包 括複數個空氣柱162，使得該絕緣層26與所述兩個電致動 材料層12之間的接觸面積較小，絕緣層16具有較小的阻 力，從而使得該電致動結構20在伸縮時具有較快的響應 速度，較大的伸縮率。
[0025] G Ο [0026] 另外’請參閱圖6 ’實施例二中的電連接部15還可以為— 導電層，該導電層設置在所述電致動結構10的第—端13 ，覆蓋所述電致動結構10的第一端13的側面的兩個間隔 設置的電致動材料層12。從而該兩個電致動材料層12可 以通過該電連接部15在所述第一端13電連接。該導電層 可以為金屬材料’如金、始、把、銀、竭、鐵、鎳等導 電性較好的金屬，可以通過沈積的方法將一金屬材料沈 積在所述電連接部15 ’形成一定厚度的金屬薄膜。該導 電增強層也可巧為導電漆，如銀膠，通過印刷的方法形 成。 請參見圖7及圖8，本發明第三實施例提供一電致動結構 30，其具有一個第一端13，以及與該第一端13相對的第 二端17。該電致動結構30的結構與第一實施例的電致動 結構10基本相同’區別在於該電致動結構30包括複數個 電致動材料層12以及複數個絕緣層16。本實施例中，該 電致動結構30包括4個電致動材料層12，以及3個絕緣層 099114470 表單編號Α0101 第11頁/共37頁 0992025549-0 201140898 [0027] [0028] [0029] 所述複數個電致動#料層12相互平行間隔設置，每兩個 相鄰的電致動材料層12之間設置有一個絕緣㈣。該複 數個電致動材料層12，在電致動結構_第-端13通過 電連接σρΐ5電連接’該複數個電致動材料層Μ在電致動 結構3㈣第二端17·所述複數健緣層16電絕緣。使 用時，該電致動結構3〇的第二額的複數個電致動材料 層12與電源的正極和負極交替電連接從而可以實現複數 個電致動材料層12並聯，從而可以降低驅動電壓。 可以理解，為了增加所述電致動結構3〇的響應速度，本 實施例中的絕緣層16的結構可以與本發明第二實施例中 的絕緣層26完全相同。 請參閱圖9和圖10，本發明第四實施例進一步提供一具有 圓柱體形狀立體結構的電致動結構40。該電致動結構40 具有一第一端43 ’以及與該第一端43相對的第二端47。 該電致動結構40包括一個第一電致動材料層42，以及一 個第二電致動材料層.46，以.及·-絕緣層,44。該第一電致 動材料層42，絕緣層44，以及第士電致動材料層46同軸 設置，並由該圓柱體立體結構的電致動結構40的圓軸向 外依次設置。第一電致動材料層4 2 ’以及一個第二電致 動材料層46 ’以及一絕緣層44由所述第一端43向所述第 二端47方向延伸。所述第一電致動材料層42與所述第二 電致動材料層46在所述電致動結構40的第一端43通過電 連接部45電連接。所述第一電致動材料層42與所述第二 電致動材料層46在所述電致動結構40的第二端47通過所 述絕緣層44電絕緣。所述第一電致動材料層42内部圍成 099114470 表單編號Α0101 第12頁/共37頁 0992025549-0 201140898 [0030] [0031] Ο Ο [0032] [0033] 一個圓枉體空間48。 本實施例的電致動結構40的第一電致動材料層42以及第 二電致動材料層46與本發明第一實施例的電致動材料層 12的組成相同’均係由複數個奈米碳管122分散與柔性高 分子基體124 _組成。所述電連接部45與第一實施例中的 電連接部15的材料相同’所述絕緣層44與所述絕緣層16 的材料相同。 請參見圖11，本發明第五實施例提供一種圓筒狀的電致 動結構50，該電致動結構50异有一第一端53，以及與該 第一端53相對的第土端57。該電致勢結構50包括至少兩 個間隔設置的電致動材料層52以及一電電連接部55，該 至少兩個電致動材料層52在電致動結構50的第一端53處 通過電連接部55相連’在第一端53向第关端57延伸的部 分分開。本實施例包括4個電致動材料層52相互間隔設置 ，該電致動材料層52與所述電連接部55的材料與第一實 施例中的電致動材料層52與所述電連接部15完全相同。 所述電致動結構遠可以進一步包括一絕緣柱56 ’所述 至少兩個電致動材料層52相對該絕緣柱56對稱設置，環 繞設置於該絕緣柱56的外侧。本實施例中，該絕緣柱56 的材料與第一實施例中的絕緣層16完全相同。 請參見圖12及圖13 ’本發明第六實施例提供一電致動結 構60，其具有一個第一端63，以及與該第一端63相對的 第二端67。該電致動結構6〇包括兩個電致動材料層12以 及一電連接部65 ’其結構與第一實施例相似’區別在於 099114470 表單編號Α0101 第13頁/共37頁 0992025549-0 201140898 本實施例中的電連接部6 5與第一實施例中的電連接部1 5 不同。 [0034] [0035] [0036] 099114470 所述兩個電致動材料層12在所述電致動結構6 〇的第—端 通過所述電連接部65電連接。所述電連接部65包括偶數 個導電材料層6 0 5相互絕緣設置於電致動結構6 〇。所述偶 數個導電材料層605在所述電致動結構60的第一端63或第 二端67電連接，形成一連續的導電通路，使得所述兩個 電致動材料層12在所述電致動結構60的第一端電連接。 本實施例中，所述電連接部65包括兩個導電材料層605， | 該導電材料層605的結構材料與所述電致動材料層12完全 相同，並且在第二端67相互逹接，在所述第一端63分別 於所述兩個電致動材料層12電連接°本實施例中，所述 電連接部65為一個完整的結構，該完整結構與所述兩個 電致動材料層12共同構成一個完整的導電結構，複數個 奈米碳管在該完整的導電結構中形成一個完整的導電網 路。 本發明第七實施例提供一可考曲的電致動結構70，該可 彎曲的電致動結構70係在本發明第一至第五實施例提供 的電致動結構（10，20，30，60)的基礎上，增加第二材 料層72覆蓋於所述電致動結構（ι〇，20，30，60)之上獲 得。 請參閱圖14，以第一實施例中的電致動結構1 0為例，所 述可彎曲的電致動結構7〇包括第二材料層72覆蓋於所述 電致動結構10的表面，並與所述電致動材料層12相互平 行。 表單編號A0101 第14頁/共37頁 0992025549-0 201140898 [0037] 所述第—材料層72的熱膨脹係數不同於電致動結構10， 該第二材料層72至少包括-第二聚合物基體，該第二聚 。土體的材料為柔性材料，包括石夕橡膠聚甲基丙嫌 酸甲S旨、聚|胳 班片 长虱树脂、聚丙稀酸乙酯、聚丙稀酸 聚笨乙烯、聚丁二烯、聚丙烯腈、聚苯胺、聚吡 Ο [0038] ，及聚嘆吩等中的—種或幾種的組合。該第：材料層72 可僅包括—第二聚合物基體，因電致動結構10中的奈求 碳e 122對電致動結構1〇的熱膨脹係數影響較小，所以此 時該第—聚合物基體的材料需不同於電致動結構10中的 柔冋刀子基體124的材料具产者的熱膨脹係數不同。本 實施例中~述第二聚合物基體為聚甲基丙稀酸甲醋。 所述可彎曲的電致動結構7〇在應用時，將電壓施加於電 致動結構70的電致動材料層12的第二端1營，電流可通過 〇 上述奈米碳管122所形成的導電網路進行傳輸。由於条米 碳管122的熱導率报高，從而使得所述電致動結構7〇的溢 度快速升高’熱量從所述可彎曲的電致動結構7〇中奈米 碳管122的周圍妹速地向整個可灣曲的電致動結構7〇擴散 ’即電致動結構10可迅速加熱第二材料層72。由於熱膨 脹量與材料的體積及熱膨脹係數成正比，且本實施例的 可彎曲的電致動結構7〇由兩層具有不同熱膨脹係數的電 致動結構10和第二材料層72複合而成，從而使得加熱後 的可彎曲的電致動結構7〇將向熱膨脹係數小的材料層彎 曲。 本發明實施例進一步提供一採用本發明提供的電致動結 構的電致動元件10 0。該電致動元件10 0可以為在本發明 099114470 表單編號Α0101 第15頁/共37頁 0992025549-0 [0039] 201140898 任意實施例提供的電致動結構（10，20，30，40，50， 60 ’ 70)的基礎上增加對應的電極獲得。 [0040]請參閱圖15，所述電致動元件1〇〇為平面片狀結構，具有 —第一端13，以及與該第一端13相對的第二端17。該電 致動元件100包栝兩個電致動材料層12，一電連接部15， 以及一絕緣層1 6，以及兩個電極。所述兩個電致動材料 層12平行間隔設置。所述絕緣層16設置於所述兩個電致 動材料層12之間，所述兩個電致動材料層12在所述電致 動元件100的第一端13通過電連接部15電連接。所述兩個 電致動材料層12在所述電致動元件1〇〇的第二端17通過所 述絕緣層16電絕緣。所述兩個電極102間隔設置在所述電 致動元件100的第二端17，並相互電絕緣，還分別與所述 兩個電致動材料層12電連接。 [〇〇41] 所述電極102為長條形金屬。本實施例中，所述電極1〇2 為銅片。可以理解，當該電致動无件100包括複數個電致 動材料層12時，該電致動元件1〇 包括複數個電極1 〇 2， 每個一個電極102對應於一個電致動材料層12。 [0042] 與先前技術相比較’本發明提供的電致動結構及採用該 電致動結構的電致動元件，其包括一第一端以及一第二 端’至少兩個電致動材料層與間隔設置，所述至少兩個 電致動材料層在所述電致動材料的第一端通過電連接部 電連接，在所述電致動材料的第二端通過所述絕緣層電 絕緣。因此可以在所述電致動材料的第二端，通過所述 至少兩個電致動材料層輸入電流給該電致動材料。由於 電流通過該材料的第二端輸入，因此可以在該電致動結 099114470 表單編號A0101 第16頁/共37頁 0992025549-0 201140898 構或電致動元件的同一端控制其伸長或彎曲，從而有利 於電致動結構及採用該電致動結構的電致動元件在電致 動器件方面的應用。 [0043] 綜上所述，本發明確已符合發明專利之要件，遂依法提 出專利申請。惟，以上所述者僅為本發明之較佳實施例 ，自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡熟悉本案 技藝之人士援依本發明之精神所作之等效修飾或變化， 皆應涵蓋於以下申請專利範圍内。 【圖式簡單說明】 [0044] 圖1為本發明第一實施例提供的電致動結構的立體結構示 意圖。 [0045] [0046] [0047] 圖2為圖1所示的電致動結構沿11 -11線的剖視圖。 圖3為圖1所示的電致動結構形變與電壓的關係曲線圖。 圖4為圖1所示的電致動結構在連續測量10次迴圈的最大 形變量值。 〇 [0048] 圖5為本發明第二實施例提供的電致動結構的剖視圖。 [0049] 圖6為本發明第二實施例中的電連接部為導電薄膜時的電 致動結構的刮視圖。 [0050] 圖7為本發明第三實施例提供的電致動結構的立體結構示 意圖。 [0051] 圖8為本發明第三實施例的電致動結構沿VIII-VIII線的 剖視圖。 圖9為本發明第四實施例提供的電致動結構的立體結構示 099114470
表單編號A0101 第17頁/共37頁 09S
[0052] 201140898 意圖。 [0053] 圖10為圖9所示的電致動結構沿X-X線的剖視圖。 [0054] 圖11為本發明第五實施例提供的電致動結構的立體結構 示意圖。 [0055] 圖12為本發明第六實施例提供的電致動結構的立體結構 示意圖。 [0056] 圖13為圖12沿XI11-XI11線的剖視圖。 [0057] 圖14為本發明第七實施例提供的電致動結構的剖面圖。 [0058] 圖15為本發明提供的電致動元件的示意圖。 【主要元件符號說明】 [0059] 電致動結構：10, 20, 30, 40, 50, 60, 70 [0060] 電致動材料層：12, 52 [0061] 第一端：13, 43, 53, 63 [0062] 電連接部：15,45,55,65 [0063] 絕緣層：16, 26, 44 [0064] 第二端：17, 47, 57, 67 [0065] 第一電致動材料層：42 [0066] 第二電致動材料層：46 [0067] 圓柱體空間：4 8 [0068] 絕緣柱：56 099114470 表單編號A0101 第18頁/共37頁 0992025549-0 201140898 [0069] 第二材料層：72 [0070] 電致動元件：100 [0071] 電極：102 [0072] 奈米碳管：122 [0073] 柔性高分子基體：124 [0074] 導電材料層：605
099114470 表單編號ΑΟΙΟΙ 第19頁/共37頁 0992025549-0