200933134 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於液晶顯示器等之液晶面板的檢查者’特 別是關於在顯示面板的顯示不均的檢查，抑制在攝影被顯 示於顯示面板的影像而進行顯示時產生波紋（干涉紋）以 - 及機械漸暈（Kerare, mechanical vignetting)之顯不面板的 .檢查方法及檢查裝置。 〇 【先前技術】 於液晶顯示器等顯示面板之檢查，已知使被顯示於顯 示面板的影像，以使用CCD之照相機（CCD照相機）攝 影時，會發生波紋（moire)。此波紋，係由以規則的格子 圖案排列之畫素來接收光線的光的亮度，反覆有規則地些 微變化所產生。亦即，顯示面板與CCD都一·樣其顯示影 像的單位之畫素係以規則的格子圖案來排列，在顯示面板 ❹ 之各畫素與CCD之各畫素之間隨著相對的位置偏移而使 得在CCD之畫素受光的顯示面板的光的亮度反覆有規則 地些微變化因而產生波紋。 ' 波紋有大的濃淡差，對於進行顯示面板的顯示不均的 檢查時造成妨礙，有必要除去此波紋。於此場合，理想上 (理論上）只要消除顯示面板的各畫素與C CD之各畫素 之間的相對的位置偏移即可使波紋不再產生，但是要使此 位置偏移量爲零是困難的。因此，通常如專利文獻1、2 所記載的，對攝得的影像上產生的波紋，藉由影像處理此 -5- 200933134 一影像而進行波紋的除去。 此外，如專利文獻3、4所記載的，係在攝影時對顯 示面板水平移動照相機而使焦點些微地失焦以防止波紋的 發生。 進而，如專利文獻5所記載的，係在照相機與顯示面 板之間***散射板，但是在此場合，雖可藉由散射板而使 波紋模糊，但是有可能使顯示不均自身也跟著變模糊。在 此，作爲更簡便的方法，可以在調整CCD照相機的透鏡 0 系與顯示面板之間的距離而進行焦點對準（前對焦）之 後，藉由使透鏡系稍微移動（所謂的「使焦點模糊」）而 攝影以抑制波紋的發生。 此外，如專利文獻6那樣，亦有在透鏡前面配置光學 濾光片而進行取除不要的光的處理之例。例如把除去反射 光的PL濾光片，或是遮掉近紅外線之濾紅外光（IR-Cut)濾 光片等設置在透鏡前面，除去不要的光。 [專利文獻1]日本專利特開平07-1462 1 1號公報 ❹ [專利文獻2]日本專利特開平11-352011號公報 [專利文獻3]曰本專利特開2005-72816號公報 [專利文獻4]日本專利特開平ιι_101712號公報 _ [專利文獻5 ]日本專利特開平η _ 6 7 8 6號公報 [專利文獻6]日本專利特開2003-344761號公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] -6- 200933134 然而，在專利文獻1、2之藉由影像處理而除去波紋 的方法，必須要複雜的影像處理程式，該影像處理很耗時 間，有檢查效率很差的問題。 此外，在專利文獻3、4之方法，對顯示面板對準焦 點的狀態下要正確地水平移動照相機必須要有精密的控 制，除了該照相機之水平移動控制相當花時間檢査效率很 差以外，還有成本很高的問題。 φ 此外，對專利文獻5使焦點模糊的方法，由於移動透 鏡系時發生光軸偏移，或者很難確保焦點距離的再現性等 理由，使得在各顯示面板產生照相機與顯示面板之間的位 置偏移，而有作業性很差的問題。 此外，於透鏡前面配置光學濾光片的場合，由於2次 元測試器的特性，必須要進行廣角攝影，所以會引起在影 像的四角變暗的機械漸暈（Kerare, mechanical vignetting) 現象。考慮此機械漸暈現象而進行設計的話，有必要使濾 〇 光片自身增大。此外，設置瀘光片切換機構的場合，配合 著濾光片直徑使得濾光片切換機構也變大。接著，隨著顯 示面板的解析度越高，尺寸、重量、成本等方面都變得不 _ 利。 本發明之目的在於解決這些從前的技術課題，提供在 檢查顯示面板的顯示不均時，可以簡易而且有效果地抑制 波紋的產生，同時可精簡地安裝光學濾光片之顯示面板之 檢查方法及檢查裝置。 200933134 [供解決課題之手段] 本發明係有鑑於前述課題而爲者，相關於本發明之顯 示面板之檢查方法，係藉由具備透鏡系與攝影元件之攝影 手段攝影被顯示於顯示面板的影像，由攝得的影像檢查前 述顯示面板之顯示不均（mura)之檢查方法，其特徵爲具 備：前述攝影手段之對前述顯示面板進行焦點對準之焦點 對準工程，及藉由調整前述透鏡系與前述攝影元件之間的 距離使入射至前述攝影元件的前述影像之光分散而抑制攝 影被顯示於前述顯示面板的影像時之波紋（mo ire)發生之 分散工程。 相關於本發明之顯示面板之檢查裝置，具備：攝影被 顯示於顯示面板的影像之攝影手段，及處理藉由前述攝影 手段攝得的前述顯示面板的影像之影像處理手段，以及顯 示以前述影像處理手段處理過的影像之影像顯示手段；其 特徵爲：前述攝影手段，具備：透鏡系、攝影元件、使前 述透鏡系移動而對前述顯示面板之影像進行焦點對準之焦 點對準手段、使前述攝影元件移動而調整前述透鏡系與前 述攝影元件之距離之後焦點調整手段、以及控制前述焦點 對準手段及後焦點調整手段之控制手段；前述控制手段， 具備：在從前述攝影手段攝得的影像來檢查前述顯示面板 的顯示不均時，控制前述攝影手段之前述焦點對準手段對 前述顯示面板進行焦點對準之焦點對準處理機能，以及藉 由控制前述後焦點調整手段調整前述透鏡系與前述攝影元 件之間的距離使入射至前述攝影元件的前述影像的光分散 -8- 200933134 而抑制攝影被顯示於前述顯示面板的影像時產生波 散處理機能。 此外，前述顯示面板之檢查裝置，最好是前述 段之透鏡系與攝影元件之間，具有安裝光學濾光片 片安裝部，前述控制手段，進而具備爲了修正伴隨 光學濾光片的安裝或交換而由折射導致焦點的偏移 前述後焦點調整手段而微調整前述透鏡系與前述攝 之間的距離之微調整處理機能。前述濾光片安裝部 具備自動切換複數濾光片之濾光片切換機構。 [發明之效果] 因爲藉由使以前述攝影元件受光的前述影像之 開而抑制前述波紋的產生，所以可確實進行顯示不 查。 此外，可以將具備前述濾光片安裝部所要求的 光學濾光片適當地安裝或者交換，同時使以前述控 微調整前述透鏡系與前述攝影元件之間的距離而進 光等的除去之檢查光，以前述攝影元件受光而進行 的檢查。 【實施方式】 以下，參照圖面說明本發明之適切的實施型態 [第1實施型態] 紋之分 攝影手 之據光 著前述 ，控制 影元件 ，最好 光分散 均的檢 機能之 制手段 行雜訊 高精度 -9- 200933134 以下，說明本發明之第1實施型態。 圖1係槪略顯示相關於本發明的第1實施型態之顯示 面板檢查裝置的攝影裝置之構成圖。 圖2係槪略顯示顯示面板檢查裝置之構成圖。 圖3.係模式顯示相關於本發明的第1實施型態之攝影 裝置之關於前聚焦（front focus)及後聚焦（back focus)之焦 點距離之說明圖。 圖4係以攝影裝置攝影顯不面板時之以CCD兀件之 ❹ 各畫素檢測出的光的亮度位準的分佈之圖。 圖5係在產生波紋（moire)的狀態下以攝影裝置攝影 顯示面板時之以CCD元件之各畫素檢測出的光的亮度位 準的分佈之圖。圖6係顯示攝影裝置之CCD元件及顯示 面板的各畫素之對應狀態之模式圖。圖7係使以攝影裝置 接收的光藉由後聚焦使其分散時之以CCD元件之各畫素 檢測出的光的亮度位準的分佈之圖。圖8係於顯示面板產 生顯示不均（mura)時之以CCD元件之各畫素檢測出的光 © 的亮度位準的分佈之圖。 相關於本發明的顯示面板的檢查方法及檢查裝置，爲 了進行顯示面板的檢查，特別是進行點缺陷等種種的顯示 ^ 不均的檢査，以照相機（例如CCD照相機）攝影被顯示 於顯示面板的影像（包含白色顯示之種種影像）時進行照 相機的焦點對準之後，藉由改變照相機的透鏡系與攝影元 件之間的距離（進行後對焦的調整），而抑制攝得的影像 之波紋的產生。 -10- 200933134 〔顯示面板檢査裝置〕 首先，說明供實施本發明之顯示面板檢查方法之顯示 面板檢查裝置。 顯示面板檢查裝置，如圖1、2所示主要由攝影裝置 2、影像處理裝置3、與影像顯示裝置4所構成。 攝影裝置2係攝影被顯示於成爲檢查對象的顯示面板 (液晶顯示面板）5之影像之攝影手段。此攝影裝置2, 係由透鏡系7、攝影元件8、焦點對準手段9、後焦點調 整手段丨〇、面板控制部1 1、與控制手段1 2所構成。又， 顯示面板5、透鏡系7以及攝影元件8’係被收容於暗室 1 5內，遮蔽外光。 透鏡系7，在暗室15內係位於前述顯示面板5與攝 影元件8之間供調整焦點之用的光學裝置。透鏡系7’係 組合1個透鏡或複數透鏡、濾光片等而構成的。攝影元件 8，係供由上方攝影顯示面板5之用的元件。攝影元件8 具體而言係以使用c c D元件的照相機構成的。 焦點對準手段9，係使前述透鏡系7以及攝影元件8 一體移動而對前述顯示面板5之影像進行焦點對準之手 段。焦點對準手段9，係由垂直移動機構13、及透鏡支擦 部1 4所構成。 垂直移動機構13 ’被安裝於顯示面板檢查裝置1之 裝置本體側’使透鏡系7及攝影兀件8 一體地在垂直方向 上移動而對顯示面板5對準焦點之用的機構。此垂直移動 -11 - 200933134 機構13，係由被固定於裝置本體側支撐支撐部14的滑塊 之固定部16,以及在被固定於透鏡支撐部14的狀態下可 以在上下方向滑動地被支撐於固定部16之移動部17所構 成。於固定部16，使移動部17移動於垂直方向上的機構 (未圖示）被組入，支撐移動部17而使其移動於垂直方 向。移動部17，支撐透鏡支撐部14而透過此透鏡支撐部 - 14使透鏡系7移動於垂直方向。 透鏡支撐部14，係供一起支撐透鏡系7與攝影元件8 ❹ 之構件。透鏡支撐部1 4，係由側面形狀被形成爲L字形 的縱板部14A，及由此縱板部14A之中間位置水平延伸出 的橫板部14B所構成。透鏡系7在橫板部14B之下側以 朝向顯示面板5的狀態被支撐。 後焦點調整手段1 0，係使攝影元件8移動而調整透 鏡系7與攝影元件8之間隔之用的裝置。後焦點調整手段 10，係由精密移動機構19、與攝影元件支撐部20所構 成。精密移動機構19，係供在被支撐於透鏡支撐部14的 0 縱板部14A的狀態下支撐攝影元件支撐部20而使其精密 移動之用的機構。藉由使此攝影元件支撐部20精密地移 動，而調整被支撐於攝影元件支撐部20的攝影元件8的 — 位置微調整後焦點。精密移動機構19，係由可以調整微 細距離的移動之直動機構所構成。作爲此直動機構，可以 使用球螺桿機構、線性馬達等之可調整攝影元件8的位置 的所有裝置。攝影元件支撐部20，係供直接支撐攝影元 件8之用的構件。攝影元件支撐部20，在支撐攝影元件8 -12- 200933134 的狀態被支撐於精密移動機構19，藉由以精密移動機構 19微調整其位置而微調整前述透鏡系7與前述攝影元件8 之間隔。 面板控制部1 1，係由LCD面板用電源1 1，與LCD 面板驅動訊號產生器23所構成。以LCD面板用電源22 對顯示面板5供給電源，藉由以LCD面板驅動訊號產生 器23產生的驅動訊號來驅動顯示面板5。藉此，顯示面 0 板5發光，顯示適合檢查用的影像。 控制手段1 2，係供控制各部進行檢查之用的裝置。 控制手段1 2，具體而言係由具備控制機能的電腦所構 成。在本實施型態，在1台電腦具有影像處理裝置3與控 制手段12這兩種機能。又，以1台電腦構成控制手段 1 2，而以另1台電腦構成影像處理裝置3亦可。此外，其 他的構成亦可。 控制手段1 2至少具有焦點對準處理機能，及分散處 〇 理機能。焦點對準處理機能，係由以前述攝影裝置2攝得 的影像檢查前述顯示面板5之顯示不均時，控制前述攝影 裝置2的前述焦點對準手段9，而對前述顯示面板5進行 焦點對準之用的處理機能。焦點對準手段9，使前述透鏡 系7及攝影元件8 —體移動而對前述顯示面板5之影像進 行焦點對準後，不移動透鏡系7而使透鏡系7與顯示面板 5之間的距離保持一定。 分散處理機能，係供控制前述後焦點調整手段1 0而 調整前述透鏡系7與前述攝影元件8之間的距離使來自前 -13- 200933134 述顯示面板5的影像之光分散藉以抑制在攝影被顯示於顯 示面板5的影像時之波紋的產生的處理機能。此分散處理 機能，具體而言，係控制前述後焦點調整手段1〇，調整 前述透鏡系7與前述攝影元件8之距離’以前述顯示面板 5之1個畫素對應於前述攝影元件8之CCD之複數個 (例如3個）畫素的方式使前述影像之光分散。 影像處理裝置3，係供處理以攝影裝置2所攝得的影 像，使其顯示於影像顯示裝置4之裝置。影像處理裝置 3，具體而言係由具備影像處理機能的電腦所構成。在本 實施型態，如前所述，在1台電腦具有影像處理裝置3與 控制手段12之機能。此外，於影像處理裝置3，視需要 連接鍵盤24或滑鼠25。 影像顯示裝置4,係供顯示以攝影裝置攝影而以影像 處理裝置3進行影像處理的影像資料之裝置。影像顯示裝 置4，係由缺陷影像用監視器27、與操作用監視器28所 構成。缺陷影像用監視器27，顯示以攝影裝置2攝影而 以影像處理裝置8分散處理後之顯示面板5的表面的影 像。操作用監視器28，在攝影裝置2之焦點對準等時候 顯示顯示面板5。操作者邊看著此操作用監視器28邊進 行攝影裝置2之焦點對準等操作，看著缺陷影像用監視器 27，檢查顯示面板5是否有顯示不均。 〔顯示面板之檢查方法〕 其次，針對使用以上構成之顯示面板檢查裝置1之顯 -14- 200933134 示面板之檢查方法加以說明^ 本實施型態之顯示面板之檢査方法，使用具備透鏡系 7與攝影元件8之前述顯示面板檢查裝置1之攝影裝置 2，攝影被顯示於顯示面板5之影像，由攝得的影像使用 影像處理裝置3與影像顯示裝置4來檢查前述顯示面板5 之顯示不均的方法。 此顯示面板之檢查方法係由焦點對準工程，與分散工 φ 程所構成。 焦點對準工程，係前述攝影裝置進行對前述顯示面板 5的焦點對準之工程。 對被安裝於暗室15內的顯示面板15在面臨透鏡系7 的狀態下，控制手段1 2控制焦點對準手段9而使移動部 17上下移動，透過透鏡支撐部14調整透鏡系7的位置’ 使透鏡系7的焦點對準於顯示面板5。 分散工程，係調整透鏡系7與攝影元件8之間的距離 Q 而使前述顯示面板5的影像的光分散的工程。 在分散工程，係在前述焦點對準工程使透鏡系7的焦 點聚焦於顯示面板5的狀態下’調整前述透鏡系7與前述 ' 攝影元件8之間的距離而使前述顯示面板5的影像的光分 散，藉此抑制在攝影被顯示於顯示面板5的影像時發生波 紋。在此分散工程，調整前述透鏡系7與前述攝影元件8 之距離之後焦點’以顯示面板5之1個畫素對應於攝影元 件8之CCD之3個畫素的方式使前述影像之光分散。 以下，詳述分散工程之後焦點調整。 -15- 200933134 一般而言，於照相機，如圖3所示，以攝影對象之被 攝體（顯示面板5)到透鏡系（透鏡系7)爲止的距離爲 a、以透鏡系至攝影元件（CCD或透鏡，在本實施型態爲 攝影元件8)之距離爲b、透鏡的焦點距離爲f時，成立 下列關係式（透鏡之公式）。 l/a+l/b=1/f ❿ 通常，把調整被攝體至透鏡系爲止的距離a(調整前 焦距）稱爲「焦點對準」。 於本實施型態，藉由照相機的焦點對準，亦即前焦點 調整來將照相機的焦點對準於被攝體（顯示面板5)後， 藉由固定住被攝體至透鏡系7的距離a，而調整透鏡系7 至攝影元件8的距離b之後焦點調整，而如後所述抑制波 紋的產生。 以下，說明本發明之波紋抑制的原理。 0 於顯示面板，特別是彩色液晶顯示面板，分別顯示紅 (R)、綠（G)、藍（B)之色的畫素成爲一組而形成一 個顯示點（dot)。 ' 此處，考慮在使顯示面板顯示白色，亦即顯示RGB 所有顏色的場合，來自顯示面板1之1個畫素的光以3個 攝影元件8之CCD元件檢測的場合。如果在顯示面板5 沒有顯示不均的話，顯示面板5全體會以單一顏色均勻發 光。此時，以攝影元件8攝影顯示面板5時，如果顯示面 -16- 200933134 板5之各畫素與攝影元件8之CCD元件之各畫素之間沒 有位置偏移的話，如圖4所示，以CCD元件之各畫素檢 側的光的亮度位準，應該不會規則地改變，而於每個顯示 面板5的畫素出現分散（scattering)。又，在圖4係模 式顯示以CCD元件之各畫素檢測出的光的亮度位準有規 -則地改變的狀態，顯示餘圖中上部的山形顯示由顯示面板 5所發出的顯示色的光的亮度位準，圖中下部之矩形圖 0 ( histogram )係以各畫素檢測出的來自顯示面板5的光 的亮度位準。如果於顯示面板5不存在顯示不均，如此圖 4所示，使顯示面板5進行白色顯示的場合，被輸入至對 應於顯示面板5的各畫素之所有的C CD之畫素之光的亮 度位準，應該沒有各顯示面板 5的畫素之分散 (scattering )。 接著，如果在顯示面板5存在著顯示不均的場合，來 自發生顯示不均的畫素之光爲對應於此畫素的CCD之畫 φ 素所檢測出時之光的亮度位準，與檢測到的來自不產生顯 示不均的畫素的光之其他的畫素之亮度位準會變得不同， 由此亮度位準的變化，可以檢測出顯示面板5之顯示不 . 均。 此外，在顯示面板5之各畫素與攝影元件8之CCD 之各畫素之間沒有位置偏移的場合，以CCD之畫素所檢 測出的光的亮度位準的比率沒有變化，也沒有發生波紋。 然而，實際上在顯示面板5之各畫素與攝影元件8之 CCD之各畫素之間會存在著位置偏移，此場合如圖5所 -17- 200933134 示，即使於顯示面板5不存在著顯示不均，以攝影元件之 CCD畫素所檢測出的光的亮度位準的比率在CCD全體會 變得不均勻，此即爲波紋發生的原因。例如，在圖5之例 左側之圖所示的畫素爲明亮的條紋，右側之圖所示的畫素 變成暗色的條紋。 如前所述，從前係藉由影像處理除去這樣的波紋的發 - 生，或者藉由照相機之前焦距調整而抑制波紋。但在本發 明係藉由後焦點調整來抑制波紋。 q 具體而言，一旦對準攝影裝置2之透鏡系7的焦點 後，藉由後焦點調整手段10之精密移動機構19使攝影元 件8移動，改變透鏡系7與攝影元件8之間的距離。作爲 改變之量，係成爲顯示面板5之1個畫素對應攝影元件8 之CCD之畫素3個的位置爲止。亦即，如圖6所示，改 變距離b，直到由RGB之3畫素所構成之1個點之光以9 個CCD檢測出的位置爲止。換句話說，使顯示面板5之 單色1畫素的光分散於攝影元件8之3個CCD亦即是形 〇 成1個點（dot)的RGB3畫素所構成的光分散至9個CCD 而進行檢測的方式使攝影元件8移動。 結果，如圖7所示，於顯示面板5沒有顯示不均，顯 ‘ 示面板5全體均勻地發出白色光的場合，以所有的C CD 檢測出的光的亮度位準成爲一定，抑制了亮度位準的規則 性改變而抑制了波紋的發生。結果’沒有波紋所致視覺上 的障礙，而可以僅僅辨識顯示面板5是否有顯示不均，可 以正確地檢測出沒有顯示不均。 -18- 200933134 另一方面，在顯示面板5存在著顯示不均的場合變成 後述情形。亦即’如圖8所示’於顯示面板5的表面有顯 示不均的缺陷的場合，該部分的亮度位準與其他部分相比 會有變化。而且，在廣範圍（3個C CD )其亮度位準改 變，所以可以容易而且確實地以攝影元件8之CCD檢測 •出顯示不均導致顯示面板5所產生的光的亮度不同。 根據以此攝影元件8之CCD之檢測値顯示於影像顯 U 示裝置4之缺陷影像用監視器27，根據檢查員的視覺或 者根據與閾値比較之影像處理來檢測出顯示不均。 藉此，沒有必要進行複雜而且花時間的影像處理，可 以由攝得的影像確實地進行顯示不均的檢查。 此外’因爲不是進行前焦點調整而是進行後焦點調 整，所以只要一度對準透鏡系的焦點，之後沒有必要移動 透鏡系7,所以照相機（攝影裝置2)不會發生光軸偏離， 此外沒有必要在每次交換檢査對象的顯示面板5都要進行 〇 照相機的對焦，生產性提高。 藉由以上’可以迅速且正確地進行顯示面板的顯示不 均的檢查。 [第2實施型態] 其次，說明本發明之第2實施型態。 本實施型態之顯示面板之檢查裝置，係於前述第1實 施型態之顯示面板檢查裝置〖追加光學濾光片。全體構成 與前述第1實施型態之顯示面板檢查裝置1相同，所以相 -19- 200933134 同構件賦予同一符號而省略其說明，以光學濾光片爲中心 進行說明。 本實施型態之顯示面板檢査裝置’如圖9所示’在攝 影裝置2之透鏡系7與攝影元件8之間，具有安裝著光學 濾光片30的濾光片安裝部31。 光學濾光片30，使用具備顯示面板檢查裝置所要求 · 的機能之濾光片。例如，可以遮掉近紅外線之去IR(IR-cut)濾光片、除去反射光之PL (偏光）濾光片或者低通濾 0 光片等具備種種機能的濾光片之中，選出並安裝具備顯示 面板檢查裝置所必要的機能之濾光片。 濾光片安裝部31，係供安裝光學濾光片30之部分。 濾光片安裝部31，有以手動交換光學濾光片30的場合， 及自動交換光學濾光片30的場合，因應這些而被構成。 濾光片安裝部 31，被安裝於透鏡支撐部14之縱板部 14A，支撐光學濾光片30。 此濾光片安裝部31，在以手動交換光學濾光片30的 〇 構成的場合，被構成爲嵌合於光學濾光片30而將此光學 濾光片30支撐在透鏡系7與攝影元件8之間的構件。在 此場合’具備檢測出在濾光片安裝部31安裝了新的光學 胃 濾光片3 0之開關或者感測器，藉由感測到新的光學濾光 片30的安裝，而使後述之控制手段12的微調整處理機能 動作亦可。 濾光片安裝部31自動交換光學濾光片30的場合，該 濾光片安裝部31例如圖10所示，被構成爲具備：濾光片 -20- 200933134 支撐部32，旋轉驅動馬達33所構成的濾光片切換機構 34。濾光片支撐部32，設有3個支撐光學濾光片30的支 撐腕部36，以各支撐腕部36同時支撐3枚光學濾光片 30。濾光片支撐部32,使以該支撐腕部36支撐的光學濾 光片30位於透鏡系7與攝影元件8之間的方式被配設。 • 又，支撐腕部36亦可設置4個以上。旋轉驅動馬達33, .適當地旋轉濾光片支撐部32。此旋轉驅動馬達33，被連 Q 接於前述控制手段。在此場合，控制手段12，以在光學 濾光片30之安裝或者交換後自動使微調整處理機能動作 的方式被設定。 前述控制手段12，除了前述第1實施型態所說明的 機能以外，進而具備微調整透鏡系7與攝影元件8之間的 距離之微調整處理機能。此微調整處理機能，係爲了修正 伴隨著光學濾光片30的安裝或交換而由折射導致的焦距 偏移，而控制後焦點調整手段1 0而微調整透鏡系7與攝 〇 影元件8之間的距離之機能。進而，控制手段12，控制 濾光片切換機構34之旋轉驅動馬達33，使特定之光學濾 光片30移動於透鏡系7與攝影元件8之間，改變顯示面 _ 板檢查裝置之光學特性。亦即，被構成爲濾光片安裝部 31具備濾光片切換機構34的場合，前述控制手段12,控 制濾光片切換機構34的旋轉驅動馬達33，使瀘光片支撐 部32的支撐腕部36旋轉，使被選擇的光學濾光片30移 動而支撐於透鏡系7與攝影元件8之間。 如以上所構成的顯示面板檢查裝置動作如後述。 -21 - 200933134 顯示面板檢査裝置之全體動作與前述第1實施型態之 顯示面板檢查裝置1同樣，所以在此處以光學濾光片30 的交換作業爲中心進行說明。 作爲光學濾光片30，準備複數枚機能不同的濾光 片。由這些複數光學濾光片30之中選擇對應於顯示面板 檢査裝置所要求的機能的光學濾光片30，新安裝於濾光 · 片安裝部31，或者與既有的光學瀘光片30交換。 _
此時，在以手動交換光學濾光片30的構成之濾光片 Q 安裝部31的場合，作業者將光學濾光片30直接安裝於濾 光片安裝部31。此時，計有的光學濾光片30被安裝於瀘 光片安裝部31的場合，首先將其拆下，其後將新的光學 濾光片安裝於濾光片安裝部3 1。 接著，具備前述開關或感測器的場合自動使控制手段 12之前述微調整處理機能開始動作，不具有開關等的場 合則採手動方式。 此外，自動交換光學濾光片30的構成之濾光片安裝 〇 部31的場合，藉由根據控制手段12之濾光片切換機構 34之控制而使旋轉驅動馬達33動作，濾光片支撐部32 被旋轉，而將特定的光學濾光片30安裝於透鏡系7與攝 ^ 影元件8之間。接著，使前述微調整處理機能動作。 接著，藉由前述微調整處理機能，微調整透鏡系7與 攝影元件8之間的距離而結束光學濾光片30的交換作 業。 此後，根據顯示面板檢查裝置進行通常的檢查。 -22- 200933134 藉由以上所述，將具備所要求的機能之光學濾光片 30於前述濾光片安裝部31適當地安裝或者交換，同時以 控制手段12微調整前述透鏡系7與前述攝影元件8之間 的距離，使因應於光學濾光片30的機能而進行了雜訊光 的除去等之檢查光以前述攝影元件8受光，所以與前述第 - 1實施型態之機能互起作用，可以進行高精度的檢查。 此外，把濾光片安裝部31設於透鏡系7與攝影元件 φ 8之間，將光學濾光片30安裝於透鏡系7與攝影元件8 之間，所以可以精簡地安裝光學濾光片3 0。亦即，可以 縮小光學濾光片30的尺寸。而且光學濾光片30，可以不 管畫角多大都維持相同尺寸。這是因爲後聚焦部，把在透 鏡系7的內部一度成像之影像展開爲攝影元件8的尺寸的 緣故。藉此，顯示面板檢查裝置也同樣可以精簡地構成。 此外，光學濾光片3 0變小，所以可以謀求輕量化以及成 本的降低。 ❹ (變形例） 在前述第1實施型態，在前述分散工程，係考慮由於 ' 對比的降低而導致精度降低，以顯示面板5之1個畫素對 應於攝影裝置2的CCD之3個畫素的方式使前述影像之 光分散，但只要確保檢測精度，亦可以對應2個或者4個 以上畫素的方式分散前述影像之光。亦即，使光分散的範 圍太大的話，對應於相鄰的位址的LCD畫素之CCD也會 有光進入，會有缺陷自身被分散而對比降低，變得無法檢 -23- 200933134 測出缺陷的可能性，因此在前述實施型態以對應於CCD 的3個畫素的方式設定光的分散範圍’但是只要對比不會 降低可以確保檢測精度的話，亦可以對應2個或4個以上 的畫素的方式使前述影像的光分散。 在前述第1實施型態，在焦點對準工程之後進行分散 工程，但是隨著顯示面板5的種類不同’亦可在分散工程 - 之後進行焦點對準工程。隨著檢查對象之顯示面板5的不 同，有時預先知道此顯示面板5與前述透鏡系7之間的距 ◎ 離以及透鏡系7與前述攝影元件8之間的距離，所以在此 場合亦可使焦點對準工程與分散工程順序對調。亦即，在 分散工程之後進行焦點對準工程亦可。 在前述第2實施型態，係使濾光片切換機構34，成 爲以迴轉驅動馬達33旋轉支撐腕部36而切換光學濾光片 30的構成，但是採其他的構成也當然可以。例如，與投 幣式自動電唱機（juke box)同樣，亦可由收容複數光學 濾光片30的收容部，以及自動取出此收容部內的光學濾 © 光片30而搬送安裝於濾光片安裝部31的搬送部所構成。 【圖式簡單說明】 圖1係槪略顯示相關於本發明的第1實施型態之顯示 面板檢查裝置的攝影裝置之構成圖。 圖2係槪略顯示相關於本發明的第1實施型態之顯示 面板檢查裝置之構成圖。 圖3係模式顯示相關於本發明的第1實施型態之攝影 -24- 200933134 裝置之關於前對焦（front focus)及後對焦（back focus)之對 焦距離之說明圖。 圖4係以攝影裝置攝影顯示面板時之以CCD元件之 各畫素檢測出的光的亮度位準的分佈之圖。 圖5係在產生波紋（moire)的狀態下以攝影裝置攝影 ' 顯示面板時之以CCD元件之各畫素檢測出的光的亮度位 。準的分佈之圖。 〇 圖6係顯示攝影裝置之CCD元件及顯示面板的各畫 素之對應狀態之模式圖。 圖7係使以攝影裝置接收的光藉由後聚焦使其分散時 之以CCD元件之各畫素檢測出的光的亮度位準的分佈之 圖。 圖8係於顯示面板產生顯示不均（mura)時之以CCD 元件之各畫素檢測出的光的亮度位準的分佈之圖。 圖9係槪略顯示相關於本發明的第2實施型態之顯示 © 面板檢查裝置的攝影裝置之構成圖。 _ 圖10係槪略顯示相關於本發明的第2實施型態之顯 示面板檢查裝置的濾光片安裝部之構成圖。 【主要元件符號說明】 1 :顯示面板檢查裝置 2 :攝影裝置 3 :影像處理裝置 4 :影像顯示裝置 -25- 200933134 5 :顯示面板 7 :透鏡系 8 :攝影元件 9 :焦點對準手段 1 〇 :後對焦調整手段 1 1 :面板控制部 - 1 2 :控制手段 1 3 :垂直移動機構 0 1 4 :透鏡支撐部 15 :暗室 1 6 :固定部 17 :移動部 1 9 :精密移動機構 20 :攝影元件支撐部 22 : LCD面板用電源 23 : LCD面板驅動訊號產生器 ◎ 27 :缺陷影像用監視器 2 8 :操作用監視器 3 〇 :光學濾光片 ' 31 :濾光片安裝部 3 2 :濾光片支撐部 3 3 :旋轉驅動馬達 3 4 :濾光片切換機構 3 6 :支撐腕部 -26-