200933134 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於液晶顯示器等之液晶面板的檢查者’特 別是關於在顯示面板的顯示不均的檢查,抑制在攝影被顯 示於顯示面板的影像而進行顯示時產生波紋(干涉紋)以 - 及機械漸暈(Kerare, mechanical vignetting)之顯不面板的 .檢查方法及檢查裝置。 〇 【先前技術】 於液晶顯示器等顯示面板之檢查,已知使被顯示於顯 示面板的影像,以使用CCD之照相機(CCD照相機)攝 影時,會發生波紋(moire)。此波紋,係由以規則的格子 圖案排列之畫素來接收光線的光的亮度,反覆有規則地些 微變化所產生。亦即,顯示面板與CCD都一·樣其顯示影 像的單位之畫素係以規則的格子圖案來排列,在顯示面板 ❹ 之各畫素與CCD之各畫素之間隨著相對的位置偏移而使 得在CCD之畫素受光的顯示面板的光的亮度反覆有規則 地些微變化因而產生波紋。 ' 波紋有大的濃淡差,對於進行顯示面板的顯示不均的 檢查時造成妨礙,有必要除去此波紋。於此場合,理想上 (理論上)只要消除顯示面板的各畫素與C CD之各畫素 之間的相對的位置偏移即可使波紋不再產生,但是要使此 位置偏移量爲零是困難的。因此,通常如專利文獻1、2 所記載的,對攝得的影像上產生的波紋,藉由影像處理此 -5- 200933134 一影像而進行波紋的除去。 此外,如專利文獻3、4所記載的,係在攝影時對顯 示面板水平移動照相機而使焦點些微地失焦以防止波紋的 發生。 進而,如專利文獻5所記載的,係在照相機與顯示面 板之間***散射板,但是在此場合,雖可藉由散射板而使 波紋模糊,但是有可能使顯示不均自身也跟著變模糊。在 此,作爲更簡便的方法,可以在調整CCD照相機的透鏡 0 系與顯示面板之間的距離而進行焦點對準(前對焦)之 後,藉由使透鏡系稍微移動(所謂的「使焦點模糊」)而 攝影以抑制波紋的發生。 此外,如專利文獻6那樣,亦有在透鏡前面配置光學 濾光片而進行取除不要的光的處理之例。例如把除去反射 光的PL濾光片,或是遮掉近紅外線之濾紅外光(IR-Cut)濾 光片等設置在透鏡前面,除去不要的光。 [專利文獻1]日本專利特開平07-1462 1 1號公報 ❹ [專利文獻2]日本專利特開平11-352011號公報 [專利文獻3]曰本專利特開2005-72816號公報 [專利文獻4]日本專利特開平ιι_101712號公報 _ [專利文獻5 ]日本專利特開平η _ 6 7 8 6號公報 [專利文獻6]日本專利特開2003-344761號公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] -6- 200933134 然而,在專利文獻1、2之藉由影像處理而除去波紋 的方法,必須要複雜的影像處理程式,該影像處理很耗時 間,有檢查效率很差的問題。 此外,在專利文獻3、4之方法,對顯示面板對準焦 點的狀態下要正確地水平移動照相機必須要有精密的控 制,除了該照相機之水平移動控制相當花時間檢査效率很 差以外,還有成本很高的問題。 φ 此外,對專利文獻5使焦點模糊的方法,由於移動透 鏡系時發生光軸偏移,或者很難確保焦點距離的再現性等 理由,使得在各顯示面板產生照相機與顯示面板之間的位 置偏移,而有作業性很差的問題。 此外,於透鏡前面配置光學濾光片的場合,由於2次 元測試器的特性,必須要進行廣角攝影,所以會引起在影 像的四角變暗的機械漸暈(Kerare, mechanical vignetting) 現象。考慮此機械漸暈現象而進行設計的話,有必要使濾 〇 光片自身增大。此外,設置瀘光片切換機構的場合,配合 著濾光片直徑使得濾光片切換機構也變大。接著,隨著顯 示面板的解析度越高,尺寸、重量、成本等方面都變得不 _ 利。 本發明之目的在於解決這些從前的技術課題,提供在 檢查顯示面板的顯示不均時,可以簡易而且有效果地抑制 波紋的產生,同時可精簡地安裝光學濾光片之顯示面板之 檢查方法及檢查裝置。 200933134 [供解決課題之手段] 本發明係有鑑於前述課題而爲者,相關於本發明之顯 示面板之檢查方法,係藉由具備透鏡系與攝影元件之攝影 手段攝影被顯示於顯示面板的影像,由攝得的影像檢查前 述顯示面板之顯示不均(mura)之檢查方法,其特徵爲具 備:前述攝影手段之對前述顯示面板進行焦點對準之焦點 對準工程,及藉由調整前述透鏡系與前述攝影元件之間的 距離使入射至前述攝影元件的前述影像之光分散而抑制攝 影被顯示於前述顯示面板的影像時之波紋(mo ire)發生之 分散工程。 相關於本發明之顯示面板之檢查裝置,具備:攝影被 顯示於顯示面板的影像之攝影手段,及處理藉由前述攝影 手段攝得的前述顯示面板的影像之影像處理手段,以及顯 示以前述影像處理手段處理過的影像之影像顯示手段;其 特徵爲:前述攝影手段,具備:透鏡系、攝影元件、使前 述透鏡系移動而對前述顯示面板之影像進行焦點對準之焦 點對準手段、使前述攝影元件移動而調整前述透鏡系與前 述攝影元件之距離之後焦點調整手段、以及控制前述焦點 對準手段及後焦點調整手段之控制手段;前述控制手段, 具備:在從前述攝影手段攝得的影像來檢查前述顯示面板 的顯示不均時,控制前述攝影手段之前述焦點對準手段對 前述顯示面板進行焦點對準之焦點對準處理機能,以及藉 由控制前述後焦點調整手段調整前述透鏡系與前述攝影元 件之間的距離使入射至前述攝影元件的前述影像的光分散 -8- 200933134 而抑制攝影被顯示於前述顯示面板的影像時產生波 散處理機能。 此外,前述顯示面板之檢查裝置,最好是前述 段之透鏡系與攝影元件之間,具有安裝光學濾光片 片安裝部,前述控制手段,進而具備爲了修正伴隨 光學濾光片的安裝或交換而由折射導致焦點的偏移 前述後焦點調整手段而微調整前述透鏡系與前述攝 之間的距離之微調整處理機能。前述濾光片安裝部 具備自動切換複數濾光片之濾光片切換機構。 [發明之效果] 因爲藉由使以前述攝影元件受光的前述影像之 開而抑制前述波紋的產生,所以可確實進行顯示不 查。 此外,可以將具備前述濾光片安裝部所要求的 光學濾光片適當地安裝或者交換,同時使以前述控 微調整前述透鏡系與前述攝影元件之間的距離而進 光等的除去之檢查光,以前述攝影元件受光而進行 的檢查。 【實施方式】 以下,參照圖面說明本發明之適切的實施型態 [第1實施型態] 紋之分 攝影手 之據光 著前述 ,控制 影元件 ,最好 光分散 均的檢 機能之 制手段 行雜訊 高精度 -9- 200933134 以下,說明本發明之第1實施型態。 圖1係槪略顯示相關於本發明的第1實施型態之顯示 面板檢查裝置的攝影裝置之構成圖。 圖2係槪略顯示顯示面板檢查裝置之構成圖。 圖3.係模式顯示相關於本發明的第1實施型態之攝影 裝置之關於前聚焦(front focus)及後聚焦(back focus)之焦 點距離之說明圖。 圖4係以攝影裝置攝影顯不面板時之以CCD兀件之 ❹ 各畫素檢測出的光的亮度位準的分佈之圖。 圖5係在產生波紋(moire)的狀態下以攝影裝置攝影 顯示面板時之以CCD元件之各畫素檢測出的光的亮度位 準的分佈之圖。圖6係顯示攝影裝置之CCD元件及顯示 面板的各畫素之對應狀態之模式圖。圖7係使以攝影裝置 接收的光藉由後聚焦使其分散時之以CCD元件之各畫素 檢測出的光的亮度位準的分佈之圖。圖8係於顯示面板產 生顯示不均(mura)時之以CCD元件之各畫素檢測出的光 © 的亮度位準的分佈之圖。 相關於本發明的顯示面板的檢查方法及檢查裝置,爲 了進行顯示面板的檢查,特別是進行點缺陷等種種的顯示 ^ 不均的檢査,以照相機(例如CCD照相機)攝影被顯示 於顯示面板的影像(包含白色顯示之種種影像)時進行照 相機的焦點對準之後,藉由改變照相機的透鏡系與攝影元 件之間的距離(進行後對焦的調整),而抑制攝得的影像 之波紋的產生。 -10- 200933134 〔顯示面板檢査裝置〕 首先,說明供實施本發明之顯示面板檢查方法之顯示 面板檢查裝置。 顯示面板檢查裝置,如圖1、2所示主要由攝影裝置 2、影像處理裝置3、與影像顯示裝置4所構成。 攝影裝置2係攝影被顯示於成爲檢查對象的顯示面板 (液晶顯示面板)5之影像之攝影手段。此攝影裝置2, 係由透鏡系7、攝影元件8、焦點對準手段9、後焦點調 整手段丨〇、面板控制部1 1、與控制手段1 2所構成。又, 顯示面板5、透鏡系7以及攝影元件8’係被收容於暗室 1 5內,遮蔽外光。 透鏡系7,在暗室15內係位於前述顯示面板5與攝 影元件8之間供調整焦點之用的光學裝置。透鏡系7’係 組合1個透鏡或複數透鏡、濾光片等而構成的。攝影元件 8,係供由上方攝影顯示面板5之用的元件。攝影元件8 具體而言係以使用c c D元件的照相機構成的。 焦點對準手段9,係使前述透鏡系7以及攝影元件8 一體移動而對前述顯示面板5之影像進行焦點對準之手 段。焦點對準手段9,係由垂直移動機構13、及透鏡支擦 部1 4所構成。 垂直移動機構13 ’被安裝於顯示面板檢查裝置1之 裝置本體側’使透鏡系7及攝影兀件8 一體地在垂直方向 上移動而對顯示面板5對準焦點之用的機構。此垂直移動 -11 - 200933134 機構13,係由被固定於裝置本體側支撐支撐部14的滑塊 之固定部16,以及在被固定於透鏡支撐部14的狀態下可 以在上下方向滑動地被支撐於固定部16之移動部17所構 成。於固定部16,使移動部17移動於垂直方向上的機構 (未圖示)被組入,支撐移動部17而使其移動於垂直方 向。移動部17,支撐透鏡支撐部14而透過此透鏡支撐部 - 14使透鏡系7移動於垂直方向。 透鏡支撐部14,係供一起支撐透鏡系7與攝影元件8 ❹ 之構件。透鏡支撐部1 4,係由側面形狀被形成爲L字形 的縱板部14A,及由此縱板部14A之中間位置水平延伸出 的橫板部14B所構成。透鏡系7在橫板部14B之下側以 朝向顯示面板5的狀態被支撐。 後焦點調整手段1 0,係使攝影元件8移動而調整透 鏡系7與攝影元件8之間隔之用的裝置。後焦點調整手段 10,係由精密移動機構19、與攝影元件支撐部20所構 成。精密移動機構19,係供在被支撐於透鏡支撐部14的 0 縱板部14A的狀態下支撐攝影元件支撐部20而使其精密 移動之用的機構。藉由使此攝影元件支撐部20精密地移 動,而調整被支撐於攝影元件支撐部20的攝影元件8的 — 位置微調整後焦點。精密移動機構19,係由可以調整微 細距離的移動之直動機構所構成。作爲此直動機構,可以 使用球螺桿機構、線性馬達等之可調整攝影元件8的位置 的所有裝置。攝影元件支撐部20,係供直接支撐攝影元 件8之用的構件。攝影元件支撐部20,在支撐攝影元件8 -12- 200933134 的狀態被支撐於精密移動機構19,藉由以精密移動機構 19微調整其位置而微調整前述透鏡系7與前述攝影元件8 之間隔。 面板控制部1 1,係由LCD面板用電源1 1,與LCD 面板驅動訊號產生器23所構成。以LCD面板用電源22 對顯示面板5供給電源,藉由以LCD面板驅動訊號產生 器23產生的驅動訊號來驅動顯示面板5。藉此,顯示面 0 板5發光,顯示適合檢查用的影像。 控制手段1 2,係供控制各部進行檢查之用的裝置。 控制手段1 2,具體而言係由具備控制機能的電腦所構 成。在本實施型態,在1台電腦具有影像處理裝置3與控 制手段12這兩種機能。又,以1台電腦構成控制手段 1 2,而以另1台電腦構成影像處理裝置3亦可。此外,其 他的構成亦可。 控制手段1 2至少具有焦點對準處理機能,及分散處 〇 理機能。焦點對準處理機能,係由以前述攝影裝置2攝得 的影像檢查前述顯示面板5之顯示不均時,控制前述攝影 裝置2的前述焦點對準手段9,而對前述顯示面板5進行 焦點對準之用的處理機能。焦點對準手段9,使前述透鏡 系7及攝影元件8 —體移動而對前述顯示面板5之影像進 行焦點對準後,不移動透鏡系7而使透鏡系7與顯示面板 5之間的距離保持一定。 分散處理機能,係供控制前述後焦點調整手段1 0而 調整前述透鏡系7與前述攝影元件8之間的距離使來自前 -13- 200933134 述顯示面板5的影像之光分散藉以抑制在攝影被顯示於顯 示面板5的影像時之波紋的產生的處理機能。此分散處理 機能,具體而言,係控制前述後焦點調整手段1〇,調整 前述透鏡系7與前述攝影元件8之距離’以前述顯示面板 5之1個畫素對應於前述攝影元件8之CCD之複數個 (例如3個)畫素的方式使前述影像之光分散。 影像處理裝置3,係供處理以攝影裝置2所攝得的影 像,使其顯示於影像顯示裝置4之裝置。影像處理裝置 3,具體而言係由具備影像處理機能的電腦所構成。在本 實施型態,如前所述,在1台電腦具有影像處理裝置3與 控制手段12之機能。此外,於影像處理裝置3,視需要 連接鍵盤24或滑鼠25。 影像顯示裝置4,係供顯示以攝影裝置攝影而以影像 處理裝置3進行影像處理的影像資料之裝置。影像顯示裝 置4,係由缺陷影像用監視器27、與操作用監視器28所 構成。缺陷影像用監視器27,顯示以攝影裝置2攝影而 以影像處理裝置8分散處理後之顯示面板5的表面的影 像。操作用監視器28,在攝影裝置2之焦點對準等時候 顯示顯示面板5。操作者邊看著此操作用監視器28邊進 行攝影裝置2之焦點對準等操作,看著缺陷影像用監視器 27,檢查顯示面板5是否有顯示不均。 〔顯示面板之檢查方法〕 其次,針對使用以上構成之顯示面板檢查裝置1之顯 -14- 200933134 示面板之檢查方法加以說明^ 本實施型態之顯示面板之檢査方法,使用具備透鏡系 7與攝影元件8之前述顯示面板檢查裝置1之攝影裝置 2,攝影被顯示於顯示面板5之影像,由攝得的影像使用 影像處理裝置3與影像顯示裝置4來檢查前述顯示面板5 之顯示不均的方法。 此顯示面板之檢查方法係由焦點對準工程,與分散工 φ 程所構成。 焦點對準工程,係前述攝影裝置進行對前述顯示面板 5的焦點對準之工程。 對被安裝於暗室15內的顯示面板15在面臨透鏡系7 的狀態下,控制手段1 2控制焦點對準手段9而使移動部 17上下移動,透過透鏡支撐部14調整透鏡系7的位置’ 使透鏡系7的焦點對準於顯示面板5。 分散工程,係調整透鏡系7與攝影元件8之間的距離 Q 而使前述顯示面板5的影像的光分散的工程。 在分散工程,係在前述焦點對準工程使透鏡系7的焦 點聚焦於顯示面板5的狀態下’調整前述透鏡系7與前述 ' 攝影元件8之間的距離而使前述顯示面板5的影像的光分 散,藉此抑制在攝影被顯示於顯示面板5的影像時發生波 紋。在此分散工程,調整前述透鏡系7與前述攝影元件8 之距離之後焦點’以顯示面板5之1個畫素對應於攝影元 件8之CCD之3個畫素的方式使前述影像之光分散。 以下,詳述分散工程之後焦點調整。 -15- 200933134 一般而言,於照相機,如圖3所示,以攝影對象之被 攝體(顯示面板5)到透鏡系(透鏡系7)爲止的距離爲 a、以透鏡系至攝影元件(CCD或透鏡,在本實施型態爲 攝影元件8)之距離爲b、透鏡的焦點距離爲f時,成立 下列關係式(透鏡之公式)。 l/a+l/b=1/f ❿ 通常,把調整被攝體至透鏡系爲止的距離a(調整前 焦距)稱爲「焦點對準」。 於本實施型態,藉由照相機的焦點對準,亦即前焦點 調整來將照相機的焦點對準於被攝體(顯示面板5)後, 藉由固定住被攝體至透鏡系7的距離a,而調整透鏡系7 至攝影元件8的距離b之後焦點調整,而如後所述抑制波 紋的產生。 以下,說明本發明之波紋抑制的原理。 0 於顯示面板,特別是彩色液晶顯示面板,分別顯示紅 (R)、綠(G)、藍(B)之色的畫素成爲一組而形成一 個顯示點(dot)。 ' 此處,考慮在使顯示面板顯示白色,亦即顯示RGB 所有顏色的場合,來自顯示面板1之1個畫素的光以3個 攝影元件8之CCD元件檢測的場合。如果在顯示面板5 沒有顯示不均的話,顯示面板5全體會以單一顏色均勻發 光。此時,以攝影元件8攝影顯示面板5時,如果顯示面 -16- 200933134 板5之各畫素與攝影元件8之CCD元件之各畫素之間沒 有位置偏移的話,如圖4所示,以CCD元件之各畫素檢 側的光的亮度位準,應該不會規則地改變,而於每個顯示 面板5的畫素出現分散(scattering)。又,在圖4係模 式顯示以CCD元件之各畫素檢測出的光的亮度位準有規 -則地改變的狀態,顯示餘圖中上部的山形顯示由顯示面板 5所發出的顯示色的光的亮度位準,圖中下部之矩形圖 0 ( histogram )係以各畫素檢測出的來自顯示面板5的光 的亮度位準。如果於顯示面板5不存在顯示不均,如此圖 4所示,使顯示面板5進行白色顯示的場合,被輸入至對 應於顯示面板5的各畫素之所有的C CD之畫素之光的亮 度位準,應該沒有各顯示面板 5的畫素之分散 (scattering )。 接著,如果在顯示面板5存在著顯示不均的場合,來 自發生顯示不均的畫素之光爲對應於此畫素的CCD之畫 φ 素所檢測出時之光的亮度位準,與檢測到的來自不產生顯 示不均的畫素的光之其他的畫素之亮度位準會變得不同, 由此亮度位準的變化,可以檢測出顯示面板5之顯示不 . 均。 此外,在顯示面板5之各畫素與攝影元件8之CCD 之各畫素之間沒有位置偏移的場合,以CCD之畫素所檢 測出的光的亮度位準的比率沒有變化,也沒有發生波紋。 然而,實際上在顯示面板5之各畫素與攝影元件8之 CCD之各畫素之間會存在著位置偏移,此場合如圖5所 -17- 200933134 示,即使於顯示面板5不存在著顯示不均,以攝影元件之 CCD畫素所檢測出的光的亮度位準的比率在CCD全體會 變得不均勻,此即爲波紋發生的原因。例如,在圖5之例 左側之圖所示的畫素爲明亮的條紋,右側之圖所示的畫素 變成暗色的條紋。 如前所述,從前係藉由影像處理除去這樣的波紋的發 - 生,或者藉由照相機之前焦距調整而抑制波紋。但在本發 明係藉由後焦點調整來抑制波紋。 q 具體而言,一旦對準攝影裝置2之透鏡系7的焦點 後,藉由後焦點調整手段10之精密移動機構19使攝影元 件8移動,改變透鏡系7與攝影元件8之間的距離。作爲 改變之量,係成爲顯示面板5之1個畫素對應攝影元件8 之CCD之畫素3個的位置爲止。亦即,如圖6所示,改 變距離b,直到由RGB之3畫素所構成之1個點之光以9 個CCD檢測出的位置爲止。換句話說,使顯示面板5之 單色1畫素的光分散於攝影元件8之3個CCD亦即是形 〇 成1個點(dot)的RGB3畫素所構成的光分散至9個CCD 而進行檢測的方式使攝影元件8移動。 結果,如圖7所示,於顯示面板5沒有顯示不均,顯 ‘ 示面板5全體均勻地發出白色光的場合,以所有的C CD 檢測出的光的亮度位準成爲一定,抑制了亮度位準的規則 性改變而抑制了波紋的發生。結果’沒有波紋所致視覺上 的障礙,而可以僅僅辨識顯示面板5是否有顯示不均,可 以正確地檢測出沒有顯示不均。 -18- 200933134 另一方面,在顯示面板5存在著顯示不均的場合變成 後述情形。亦即’如圖8所示’於顯示面板5的表面有顯 示不均的缺陷的場合,該部分的亮度位準與其他部分相比 會有變化。而且,在廣範圍(3個C CD )其亮度位準改 變,所以可以容易而且確實地以攝影元件8之CCD檢測 •出顯示不均導致顯示面板5所產生的光的亮度不同。 根據以此攝影元件8之CCD之檢測値顯示於影像顯 U 示裝置4之缺陷影像用監視器27,根據檢查員的視覺或 者根據與閾値比較之影像處理來檢測出顯示不均。 藉此,沒有必要進行複雜而且花時間的影像處理,可 以由攝得的影像確實地進行顯示不均的檢查。 此外’因爲不是進行前焦點調整而是進行後焦點調 整,所以只要一度對準透鏡系的焦點,之後沒有必要移動 透鏡系7,所以照相機(攝影裝置2)不會發生光軸偏離, 此外沒有必要在每次交換檢査對象的顯示面板5都要進行 〇 照相機的對焦,生產性提高。 藉由以上’可以迅速且正確地進行顯示面板的顯示不 均的檢查。 [第2實施型態] 其次,說明本發明之第2實施型態。 本實施型態之顯示面板之檢查裝置,係於前述第1實 施型態之顯示面板檢查裝置〖追加光學濾光片。全體構成 與前述第1實施型態之顯示面板檢查裝置1相同,所以相 -19- 200933134 同構件賦予同一符號而省略其說明,以光學濾光片爲中心 進行說明。 本實施型態之顯示面板檢査裝置’如圖9所示’在攝 影裝置2之透鏡系7與攝影元件8之間,具有安裝著光學 濾光片30的濾光片安裝部31。 光學濾光片30,使用具備顯示面板檢查裝置所要求 · 的機能之濾光片。例如,可以遮掉近紅外線之去IR(IR-cut)濾光片、除去反射光之PL (偏光)濾光片或者低通濾 0 光片等具備種種機能的濾光片之中,選出並安裝具備顯示 面板檢查裝置所必要的機能之濾光片。 濾光片安裝部31,係供安裝光學濾光片30之部分。 濾光片安裝部31,有以手動交換光學濾光片30的場合, 及自動交換光學濾光片30的場合,因應這些而被構成。 濾光片安裝部 31,被安裝於透鏡支撐部14之縱板部 14A,支撐光學濾光片30。 此濾光片安裝部31,在以手動交換光學濾光片30的 〇 構成的場合,被構成爲嵌合於光學濾光片30而將此光學 濾光片30支撐在透鏡系7與攝影元件8之間的構件。在 此場合’具備檢測出在濾光片安裝部31安裝了新的光學 胃 濾光片3 0之開關或者感測器,藉由感測到新的光學濾光 片30的安裝,而使後述之控制手段12的微調整處理機能 動作亦可。 濾光片安裝部31自動交換光學濾光片30的場合,該 濾光片安裝部31例如圖10所示,被構成爲具備:濾光片 -20- 200933134 支撐部32,旋轉驅動馬達33所構成的濾光片切換機構 34。濾光片支撐部32,設有3個支撐光學濾光片30的支 撐腕部36,以各支撐腕部36同時支撐3枚光學濾光片 30。濾光片支撐部32,使以該支撐腕部36支撐的光學濾 光片30位於透鏡系7與攝影元件8之間的方式被配設。 • 又,支撐腕部36亦可設置4個以上。旋轉驅動馬達33, .適當地旋轉濾光片支撐部32。此旋轉驅動馬達33,被連 Q 接於前述控制手段。在此場合,控制手段12,以在光學 濾光片30之安裝或者交換後自動使微調整處理機能動作 的方式被設定。 前述控制手段12,除了前述第1實施型態所說明的 機能以外,進而具備微調整透鏡系7與攝影元件8之間的 距離之微調整處理機能。此微調整處理機能,係爲了修正 伴隨著光學濾光片30的安裝或交換而由折射導致的焦距 偏移,而控制後焦點調整手段1 0而微調整透鏡系7與攝 〇 影元件8之間的距離之機能。進而,控制手段12,控制 濾光片切換機構34之旋轉驅動馬達33,使特定之光學濾 光片30移動於透鏡系7與攝影元件8之間,改變顯示面 _ 板檢查裝置之光學特性。亦即,被構成爲濾光片安裝部 31具備濾光片切換機構34的場合,前述控制手段12,控 制濾光片切換機構34的旋轉驅動馬達33,使瀘光片支撐 部32的支撐腕部36旋轉,使被選擇的光學濾光片30移 動而支撐於透鏡系7與攝影元件8之間。 如以上所構成的顯示面板檢查裝置動作如後述。 -21 - 200933134 顯示面板檢査裝置之全體動作與前述第1實施型態之 顯示面板檢查裝置1同樣,所以在此處以光學濾光片30 的交換作業爲中心進行說明。 作爲光學濾光片30,準備複數枚機能不同的濾光 片。由這些複數光學濾光片30之中選擇對應於顯示面板 檢査裝置所要求的機能的光學濾光片30,新安裝於濾光 · 片安裝部31,或者與既有的光學瀘光片30交換。 _
此時,在以手動交換光學濾光片30的構成之濾光片 Q 安裝部31的場合,作業者將光學濾光片30直接安裝於濾 光片安裝部31。此時,計有的光學濾光片30被安裝於瀘 光片安裝部31的場合,首先將其拆下,其後將新的光學 濾光片安裝於濾光片安裝部3 1。 接著,具備前述開關或感測器的場合自動使控制手段 12之前述微調整處理機能開始動作,不具有開關等的場 合則採手動方式。 此外,自動交換光學濾光片30的構成之濾光片安裝 〇 部31的場合,藉由根據控制手段12之濾光片切換機構 34之控制而使旋轉驅動馬達33動作,濾光片支撐部32 被旋轉,而將特定的光學濾光片30安裝於透鏡系7與攝 ^ 影元件8之間。接著,使前述微調整處理機能動作。 接著,藉由前述微調整處理機能,微調整透鏡系7與 攝影元件8之間的距離而結束光學濾光片30的交換作 業。 此後,根據顯示面板檢查裝置進行通常的檢查。 -22- 200933134 藉由以上所述,將具備所要求的機能之光學濾光片 30於前述濾光片安裝部31適當地安裝或者交換,同時以 控制手段12微調整前述透鏡系7與前述攝影元件8之間 的距離,使因應於光學濾光片30的機能而進行了雜訊光 的除去等之檢查光以前述攝影元件8受光,所以與前述第 - 1實施型態之機能互起作用,可以進行高精度的檢查。 此外,把濾光片安裝部31設於透鏡系7與攝影元件 φ 8之間,將光學濾光片30安裝於透鏡系7與攝影元件8 之間,所以可以精簡地安裝光學濾光片3 0。亦即,可以 縮小光學濾光片30的尺寸。而且光學濾光片30,可以不 管畫角多大都維持相同尺寸。這是因爲後聚焦部,把在透 鏡系7的內部一度成像之影像展開爲攝影元件8的尺寸的 緣故。藉此,顯示面板檢查裝置也同樣可以精簡地構成。 此外,光學濾光片3 0變小,所以可以謀求輕量化以及成 本的降低。 ❹ (變形例) 在前述第1實施型態,在前述分散工程,係考慮由於 ' 對比的降低而導致精度降低,以顯示面板5之1個畫素對 應於攝影裝置2的CCD之3個畫素的方式使前述影像之 光分散,但只要確保檢測精度,亦可以對應2個或者4個 以上畫素的方式分散前述影像之光。亦即,使光分散的範 圍太大的話,對應於相鄰的位址的LCD畫素之CCD也會 有光進入,會有缺陷自身被分散而對比降低,變得無法檢 -23- 200933134 測出缺陷的可能性,因此在前述實施型態以對應於CCD 的3個畫素的方式設定光的分散範圍’但是只要對比不會 降低可以確保檢測精度的話,亦可以對應2個或4個以上 的畫素的方式使前述影像的光分散。 在前述第1實施型態,在焦點對準工程之後進行分散 工程,但是隨著顯示面板5的種類不同’亦可在分散工程 - 之後進行焦點對準工程。隨著檢查對象之顯示面板5的不 同,有時預先知道此顯示面板5與前述透鏡系7之間的距 ◎ 離以及透鏡系7與前述攝影元件8之間的距離,所以在此 場合亦可使焦點對準工程與分散工程順序對調。亦即,在 分散工程之後進行焦點對準工程亦可。 在前述第2實施型態,係使濾光片切換機構34,成 爲以迴轉驅動馬達33旋轉支撐腕部36而切換光學濾光片 30的構成,但是採其他的構成也當然可以。例如,與投 幣式自動電唱機(juke box)同樣,亦可由收容複數光學 濾光片30的收容部,以及自動取出此收容部內的光學濾 © 光片30而搬送安裝於濾光片安裝部31的搬送部所構成。 【圖式簡單說明】 圖1係槪略顯示相關於本發明的第1實施型態之顯示 面板檢查裝置的攝影裝置之構成圖。 圖2係槪略顯示相關於本發明的第1實施型態之顯示 面板檢查裝置之構成圖。 圖3係模式顯示相關於本發明的第1實施型態之攝影 -24- 200933134 裝置之關於前對焦(front focus)及後對焦(back focus)之對 焦距離之說明圖。 圖4係以攝影裝置攝影顯示面板時之以CCD元件之 各畫素檢測出的光的亮度位準的分佈之圖。 圖5係在產生波紋(moire)的狀態下以攝影裝置攝影 ' 顯示面板時之以CCD元件之各畫素檢測出的光的亮度位 。準的分佈之圖。 〇 圖6係顯示攝影裝置之CCD元件及顯示面板的各畫 素之對應狀態之模式圖。 圖7係使以攝影裝置接收的光藉由後聚焦使其分散時 之以CCD元件之各畫素檢測出的光的亮度位準的分佈之 圖。 圖8係於顯示面板產生顯示不均(mura)時之以CCD 元件之各畫素檢測出的光的亮度位準的分佈之圖。 圖9係槪略顯示相關於本發明的第2實施型態之顯示 © 面板檢查裝置的攝影裝置之構成圖。 _ 圖10係槪略顯示相關於本發明的第2實施型態之顯 示面板檢查裝置的濾光片安裝部之構成圖。 【主要元件符號說明】 1 :顯示面板檢查裝置 2 :攝影裝置 3 :影像處理裝置 4 :影像顯示裝置 -25- 200933134 5 :顯示面板 7 :透鏡系 8 :攝影元件 9 :焦點對準手段 1 〇 :後對焦調整手段 1 1 :面板控制部 - 1 2 :控制手段 1 3 :垂直移動機構 0 1 4 :透鏡支撐部 15 :暗室 1 6 :固定部 17 :移動部 1 9 :精密移動機構 20 :攝影元件支撐部 22 : LCD面板用電源 23 : LCD面板驅動訊號產生器 ◎ 27 :缺陷影像用監視器 2 8 :操作用監視器 3 〇 :光學濾光片 ' 31 :濾光片安裝部 3 2 :濾光片支撐部 3 3 :旋轉驅動馬達 3 4 :濾光片切換機構 3 6 :支撐腕部 -26-