TW200524073A - Kinematic pin with shear member and substrate carrier for use therewith - Google Patents

Description

200524073 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明廣義上關於半導體其Μ 千导體基材承载件之領域，且尤其 疋更關於在不受該基材承載件之力 h取仟之加迷度影響下，用以於一 面上對準一基材承載件、且防止其 正共側向運動之方法及設備。 【先前技術】 在製造半導體裝置之過程中， Τ發基材通常是儲存在基 材承載件巾。其後’基材承載件通常是由基材承載件支摔 面所支撐，該基材承載件支撐面具有附接於其上經設計與 基材承載件之匹配特徵互動的動力銷。只要該基材承載件 係置於該支撐面上’使得該基材承載件之匹配特徵係大略 對準（但無須精確對準料動力鎖，即在由該等動力銷及/ 或該基材承載件之匹配特徵的幾何形狀所界定之「捕捉窗 口」内）’重力大ϋ上會足以使得該基材承載件能被安置成 為與該支撐面之動力銷精確對準。 【發明内容】 本發明提供一用於支撐一基材承載件之動力銷。本發 明之動力銷至少包含-銷本趙，纟具有—傾斜面係適於 可滑動地連接—基材承載件之匹配特徵的__傾斜面，且適 於允許該匹配特徵經由重力定位在該動力銷上且與其對 準。該銷本體更具有一防止迫使該匹配特徵成為與該動力 銷不對準之剪力（即，適於阻止一如由該基材承載件引起之 200524073 側向慣性負荷的一元件）。 本發明進一步提供一本發明之基材承載件，其至少包 含一基材承載件本體，係適於支撐一基材且具有一底面。 一或多數特徵係位於該基材承載件本體之底面上，且適於 與一動力銷接合，以在該動力銷上對準該基材承載件。一 剪力70件介面係位於該基材承載件底面上的一或多數特徵 中/剪力元件；丨面大體上具有垂直邊，且係適於與一動 "剪力元件接合，以阻止該基材承載件相對於該動力 銷側向運動。 本發月阻止一基材承載件側向運動的方法至少包含 提供動力銷’用以支撐一基材承載件，該動力銷具有一 傾斜面及一自該傾斜面延伸之剪力元件；置放一具有一適 於匹配該動力銷之特徵的基材承載件，且與該動力銷接 觸’因此該動力銷接觸該基材承載件之匹配特徵；經由該 傾斜面將該基材承載件在該動力銷上對準；且經由該剪力 元件阻止已對準基材承載件之側向運動。 本發明也提供一基材承載件搬運器。本發明之基材承 載件搬運器至少句合—田丨^ 主夕包3 —用以支撐一基材承載件之表面，及 -或多數動力鎖、其等位於該面上以支樓一基材承載件。 各動力銷具有一用以對準該基材承載件之傾斜面，及一剪 :兀:牛’其位於該傾斜面上以阻止該基材承載件相對於該 等-或多數動力銷側向運動。一控制器係適於造成該基材 承載件搬運器加速該面，用以支撐一基材承載#，以致在 該等-或多數動力銷與支撐於其上之基材承载件間，產生 200524073 一側向慣性負荷。 一 基材承载件係精確地在該等動力銷上對準，側 向力及扭力（如果出現足夠大小）可能傾向於將該基材承載 件移離該等動力銷，可能造成基材、基材承載件或其他配 備之損壞。本#明之動力μ、基材承載件及動力銷/基材承 載件搬運器系統係、適於阻止此移動，I因此當需要明顯之 基材承載件加速度時係可具優勢地應用。 本發明其他特徵與特點將從以下較佳具體實施例之詳 細說明、隨附申請專利範圍與附圖中更充分地瞭解。 【實施方式】 依據本發明，會提供一本發明之動力銷、一本發明之 基材承載件及-本發明之動力銷/基材承載件系統，其等適 於阻止-基材承載件自其座落之動力銷移動，《其是當此 移動是由大體上水平方向力所造成。明確言之，在該動力 銷上的-新穎剪力元件會與該基材承載件的_新穎特徵互 動，以阻止該基材承載件相對於該動力銷側向運動。該系 統(參考第…圖描述於下)尤其是當一末端作用器㈣ effector)減緩或加速一基姑圣 I材承載件時，有效地反抗所產生 之側向慣性力。該基材承載件可包含適於只傳送單一基材 (如’-單-基材承載件），或傳送多個基材（如，一多基材 承載件）的基材承載件。 第1圖係依據本發明設置之動力冑101的上視立艘 圖’且第2圖係本發明之動力銷101的側視立趙圖。請參 200524073 考第1 包括一 1 0 7。如 狀定位 板中之 與鄰近 一旦動 請 份113 端作用 包含一 承載件 份117 縮或其 圖中顯 也可接 錐狀基 較 件支撐 圖中所 第2圖 移或一 第 承载件 與第2圖，動力銷 至少包含一銷本體103，其 新穎剪力部份105以 ^ 第i與第2圖中戶"㉝一基材承載件支樓部份 延伸部份_，以將V動103也可包括-圓柱 以將該動力銷101對準一在一 銷裝設通孔（未顯示）的 叉『牙 幻軸，及/或平面111，其適於 該銷裝設孔之支撐板f去加 、k ' 又保板（未顯示）的對應面互動，以便 力銷1 0 1女裝於其内後 1俊防止該動力銷i 0 i扭轉。 參考第2圖，剪力部份 w』主少包含一圓柱狀部 ，其當動力銷”〇1係装設於一支樓板(未顯示)或一末 器（未顯示）時垂直地定位。該圓柱狀部份113至少 圓柱面115,其適於如以下進一步解說阻擋一基材 之側向運動。剪力部份105也可至少包含一變角部 ，其至少包含一曲面119(雖然也可使用一傾斜、漸 他形狀面）。剪力部份105之頂部i 2 i在第i及2 示為平坦，然而其他用於該頂部之形狀（如半球形） 受。該基材承載件支撐部份i 07至少包含一截頂圓 材承載件支撐面1 23，其頂點部份被截斷。 佳的是，剪力部份105之圓柱面115，及基材承載 部份107之基材承載件支撐面123係同軸（即如第2 示繞共同軸1 2 5) ^銷本體1 0 3之剩餘部份最好也如 中所示繞軸1 2 5同軸，但與銷本體1 0 3關連的一偏 不規則形狀也將屬於本發明。 3圖係顯示一包含本發明動力銷101及本發明基材 127之組件的底視立體圖，而第4圖也是一顯示動 200524073 力 體 載 配 及 第 銷 討 第 載 末 内 界 垣 下 垂 第 力 示 平 時 動 銷101及基材承載件127之組件的立體圖，第4圖之立 圖對應於第3圖之細節129。如第3圖中所示，基材承 件127至少包含一底側131，其至少包含一底面133及 個位在該底側131之動力銷匹配特徵135。該動力銷匹 特徵135至少包含動力槽137，其至少包含傾斜面139 本發明之剪力槽14ι(其至少包含大體上垂直面143)。一 1及2圖之動力銷1〇1係顯示為卡住或匹配在該等動力 匹配特徵1 3 5之-内，其細節將參考第4、5 & 6圖詳加 論於後。操作中，一動力銷1〇1較佳是將各卡住（即匹配） 3圖中所示之三個動力銷匹配特徵135 ,以提供基材承 件1 2 7之穩疋支撐，如在該等三動力銷1 〇 1所附接的一 端作用器（未顯示）上。 請參考第4圖，其更詳細地顯示卡住動力銷ι〇ι於其 之動力銷匹配特徵135。剪力槽141係由垂直面143所 疋，其至少包含一第一平坦垂直壁145、一平行第一平 垂直壁145之第：平坦垂直壁U7(其被遮住，只顯示一 緣）、一在動力銷匹配特徵135第一端處之第一半圓柱狀 直壁149(部份被遮住）、及一在動力銷匹配特徵135與 ^相反之第一端處的第二半圓柱狀垂直壁151(被動 銷101遮住）。剪力槽141也可至少包含（如第4圖中顯 )一與垂直面143連接之平坦水平壁153。然而，平坦水 壁153不疋需要是平坦或水平或甚至是一連續面。同 剪力槽1 4 1最好足夠深，使得平坦水平壁！ 5 3恆維持 力銷ιοί之剪力部份105的頂告"21淨空。所顯示之動 200524073 力銷101的剪力部份105係卡在基材承載件127之動力銷 匹配特徵1 3 5的剪力槽1 4 1内。 動力槽1 3 7係由傾斜面1 3 9所界定，其 近第一平坦垂直壁145之第一平坦傾斜壁155、一鄰近第 一平坦垂直壁147之第二平坦傾斜壁157、一鄰近第一半 圓柱狀垂直壁149之第一截頂圓錐狀壁159、及一鄰近第 一半圓柱狀垂直壁151之第二截頂圓錐狀壁ι61。該等第 一及第二平坦傾斜壁155、157沿著第一至第四傾斜切線 163、161 2 3 4 5 6、167(被遮住）及169吻合第一及第二截頂圓錐狀 壁159、161。基材承載件127之動力槽137的傾斜面139, 係適於達成與一動力銷之類似傾斜面（如動力銷i 〇 1之截 頂圓錐狀基材承載件支樓面123)達成一可滑動線性連接。 如第4圖中所示，動力銷i 〇丨額外至少包含一漸縮孔 7 1 ’係中置於動力銷1 〇丨之銷裝設部份丨〇9中（也顯示出 對接該銷裝設部份！ 09之墊圈1 73)。該漸縮孔1 7丨提供 構件’藉由其一諸如螺絲或螺栓之固定件（未顯示）可在 名肖裝設部份1 〇 9 p & λ 丨物已嵌入一匹配通孔（未顯示）且該平面m 璧十、拿 一該支撐板（未顯示）之對應面（未顯示）後，將動力 1 固定至該支撐板（未顯示）。其他不同固定方法可取 2 /丨描述者。例如’該銷裝設部份1 可配備有高精確圓 3 ° '、、、文（未顯示），且該銷裝設部份丨〇9可被螺入一支撐板 4 (未顯示)中的一匹配漸縮孔(未顯示)内。 5 ；參考面175與基材承栽件127之傾斜面139在第二傾 6 斜切線165與第三傾斜切線167處相交。 200524073 第5圖係第3及4圖中本發明動力銷ι〇ι及本發明基 材承載件i27的組件之分解剖面圖，該剖面係沿上述第4 圖中所示位置及方向之參考®175取得。第6圖係第3及 4圖中本發明動力銷101及本發明基材承載件127的未分 解剖面圖’該剖面也是沿上述第4圖中所示位置位及方向 之參考面175取得。 請參考第5及6圖，在操作中，動力銷ι〇ι之剪力部 份1〇5會嵌入基材承載件127之剪力槽。如第5圖中所示， 初始分隔動力銷1〇1及基材承載件127之垂直間隙177可 減至更小’但最好是如帛6圖之非零垂直間隙Μ，其係 藉由動力銷ιοί垂直上升以吻合基材承載件127，或基材 承載件127垂直降下以吻合動力銷1〇1。前者是一最可能 之狀況，其中三動力銷101係、固定至-末端作用器(未顯 示），而該末端作S H係用以移動來自諸如—架空輸送器之 木二傳送器（OHT)機構之基材承載件127。後者可能發生之 月豕疋田一個動力銷1(Π係附接至一非末端作用器支撐面 貝示）而基材承載件127係藉由一末端作用器下降 到該支撐面，且置於該等三動力銷1〇1上。 一旦基材承載件支撐部份1〇7係經由動力銷1〇1之基 材承載件支樓面m與基材承載件127之傾斜面139間的 接觸’而支撐該基材承載件127，且動力銷1〇1之剪力部 份ι〇5係卡在基材承載件127之剪力槽141，動力銷ι〇ι 相對於剪力部份1〇5之側向運動（如沿侧向i8i之運動，即 垂直剪力槽141延伸的方向)，會依一比動力銷ι〇ι未配備 200524073 剪力部 接之方 應 緊貼程 被一在 105之 面143 銷101 直到基 承載件 之圓柱 本發明 此一移 一剪力 具有一 會傾向 如 被「填 之邊緣 105被 對接基 動力銷 面123 進行過 份105且基材承戴件127未配備剪力槽141時更直 式加以阻止。 瞭解，取決於剪力部份105與剪力槽141間適配之 度，如果第6圖中之動力銷ι〇1或基材承載件127 側向1 8 1中具有一分量之移動力所推動，剪力部份 圓柱面115(第2圖）將立即與基材承載件127之垂直 接觸。因為此接觸係沿垂直對準之面發生，在動力 與圓柱面1 1 5間之側向運動基本上會停止，除非且 材承載件1 2 7係相對於剪力銷j 〇丨升高，因此基材 127之垂直面147係垂直且側向地離開動力銷ι〇ι 面1 1 5。然而，在進一步參考本發明動力銷i 〇 1及 基材承載件127討論此等情景前，最好先討論如果 動力以一類似方式應用於一動力銷（其類似未具有 邛伤105之動力銷1〇1)及一基材承載件（其類似未 剪力槽141之基材承載件127)之組件時，該移動力 於達到何種情形。 果第5圖的基材承載件127之動力銷匹配特徵135 入」以形成一平坦面，在該處目前出現剪力槽 183(也請參見第4圖），且動力銷ι〇ι之剪力部份 移走以形成一平坦面，在該處剪力部份1〇5先前係 材承載件支撐部份107，且如果動力銷101係卡在 匹配特徵135中，則動力銷1〇1之基材承載件支撐 將接觸基材承載件i 2 7的傾斜面！ 3 9。此等修改曾 ^瞭解在動力銷1 0 1之基材承載件支撐面i 2 3及 10 200524073 基材承載 側向18 1 動（一旦名 擦力被克 101或基 勝過重力 如果 127(如起 支撐基材 自一移動 加速，或 中輸送器 於正加速 一足夠長 銷 101， 至從該末 假設 且無剪力 被應用於 時脫離所 請再 及基材承 明顯的是 基材承載 件1 2 7之傾斜面1 3 9間之滑動連接，可由一對準 之移動力，或使一力之分量對準該側向1 8 1而啟 :基材承載件支撐面123及傾斜面139間之靜態磨 服）。一旦此滑動連接開始，明顯的是在動力銷 材承載件1 2 7上沒有結構存在，以阻擋或阻止其 (可能除了滑動面之粗糙度足以產生動磨擦）。 以上引用之移動力至少包含一由於基材承載件 因於一末端作用器，其至少包含三動力銷1〇1且 承载件127)造成之慣性力，使基材承載件ι27在 輸送器（未顯示）移出該基材承載件127後處於負 由於此一末端作用器使基材承載件127在一移動 (未顯不）上預備用於沉積該基材承載件1 2 7時處 時’明顯的是如果該移動力足夠大，且係應用達 之時段，其可造成基材承載件丨27完全滑離動力 且變成極度不對準該末端作用器（未顯示），或甚 端作用器（未顯示）掉下。 在如先前章節中之開始條件（即無剪力部份1〇5 槽1 4 1 )，同樣明顯的是如果一足夠大小之扭轉力 基材承載件127，該基材承栽件127會上滑且同 有三個動力銷1 0 1。 人參考第5及6圖，其示範本發明之動力銷 載件127(即存在有剪力部份1〇5及剪力槽141)， ，任何對準側向181且傾向於造成動力銷1〇1及 件1 27彼此相對地側向移動之側向力或一力的側 200524073 向分量，將會受一來自接觸剪力槽141之垂直面143的剪 力部份105(參見第2圖）之圓柱面115的一相等且相反之力 抵消。同樣也明顯可見，在基材承載件支撐面1 2 3與傾斜 面1 3 9間實際上不會發生滑動，除非且直到動力銷匹配特 徵135之垂直面143係升高離開銷本體103之圓柱面115。 此一嚴重地強行移動動力銷1 01離開動力銷匹配特徵 135,在缺乏一不可預期及嚴重衝擊或破損事件時並不可能 發生。 經由第5及6圖中所示動力銷ιοί與基材承載件I〕？ 之間的直接垂直相對移動，可造成剪力部份1 〇 5佔住剪力 槽141。另一選擇是，該彎角部份117可在剪力部份ι〇5 被安置進入剪力槽1 4 1前沿著傾斜面1 3 9滑動。在後者之 情況中，可預期平順地滑動，因為彎角部份丨丨7較佳是至 少包含曲面119，其係圓形且因而缺乏一銳邊。在剪力部 份105被安置於剪力槽ι41後，非零間隙距離ι79將較佳 地存在於剪力部份1〇5之頂部121(參見第2圖），及動力 銷匹配特徵135的平坦水平壁153(參見第4圖）間，確保 基材承載件支撐部份i 〇7持續與動力銷i 〇丨之傾斜面1 3 9 連接’以將基材承載件m在動力銷1〇1上對準。 第7圖係一設備701之概要立體圖，其具有一包括第 1至6圖之本發明動力銷1〇1的基材承載件搬運器川〕，且 係適於以該加速度速率傳送基材承載該速率在缺乏本 發明之剪力銷101及本發明之基材承载件127的使用時， 會在該基材纟载件搬運器之末端作用ϋ 705及其所傳送的 12 200524073 一基材承載件間產生側向移動。 雖然該设備7 0 1可為任何具有^一適於加速一基材承 件的基材承載件搬運器之設備，以致賦予一側向慣性負 於該末端作用器之動力銷上，該設備701及其基材承載 搬運器703較佳是設置成類似先前併入參考之美國專利 請序號10/650，480(於2003年8月28曰申請）中揭示之 速系統。明確言之，設備70 1較佳是包括複數個裝卸平 7〇7’在該處基材承載件（較佳的是該等適於一次只傳送 單一基材者）被開啟且基材被載入及自其卸載。 基材承載件搬運器 703較佳是至少包含垂直支撐 709’及一耦合至垂直支撐件7〇9之水平支撐件711，其 用於沿該垂直支撐件711垂直移動。該末端作用器7〇5 耗合以沿水平支樓件7 11水平地移動，且一控制器7 1 3 制設備701，因此該末端作用器705可加速，且匹配一 一移動中架空式傳送系統所傳送之基材承載件或基材承 件支撐件的速度，以便在其間交遞基材承載件（具有對基 承載件最小之衝擊）。該基材承載件搬運器7〇3接著減速 傳送該基材承載件至該等裝卸平台7〇7中之一。因為該 備7 0 1係設置用於此一移動式交遞，慣性負荷可造成基 承載件在缺乏使用有關第1至6圖之本發明動力銷及基 承载件下，移離該末端作用器之動力銷。 以上說明只揭示本發明之較佳具體實施例；落入本 明範疇的上述已揭示設備之修改，對該等熟習此項技術 士應易於暸解。例如，本發明之動力銷可使用在除有關 载 荷 件 中 高 台 件 係 被 控 由 載 材 且 設 材 材 發 人 第 200524073 7圖所示及描述外之其他型式的基材承載件搬運器上。使 用本發明之動力銷於支撐基材承载件的一儲存架或一裝卸 埠上也是具有優勢的。 該等銷本體、剪力元件及剪力槽之特定形狀可改變。 事實上，該動力銷匹配特徵不一定需要由一槽組成，反而 是可為一圓形或橢圓形凹處等。此外，該匹配特徵可至少 包含一向下犬出件，係吻合該動力銷的一對應開口、凹處 或下凹式剪力元件。 除該單一剪力元件外，複數個剪力元件可位於一單一 動力銷上。 雖然本發明之描述主要有關晶圓，應瞭解本發明也可 配合其他基材，諸如一遮罩、一刻度板、一矽基材、一玻 璃板等使用’不管是已圖案化或未圖案化；及/或具有用以 傳送及/或處理處理此等基材之設備。 因此，雖然本發明已揭示相關連之範例性具體實施 例應瞭解其他具體實施例可落入如以下專利申請範圍所 界定之本發明精神與範疇中。 【圖式簡單說明】 第1圖係依據本發明設置之動力銷的上視立體圖； 第2圖係第1圖之本發明動力銷的側視立體圖； 第3圖係顯不-包含本發明動力銷及本發明基材承載件之 組件的底視立體圖； 圖係第3圖之組件的底視立體圖，且對應於第3圖之 14 200524073 細節； 第5圖係第3及4圖之組件的分解剖面圖；係沿第4圖中 所示的一參考面； 第6圖係第3及4圖之組件的未分解剖面圖；係沿第4圖 中所示的一參考面；及 第7圖係一設備之概要立體圖，其具有包括第1至6圖中 本發明之動力銷的一基材承載件搬運器。

【主要元件符號說明】 101 動 力 銷 103 銷 本 體 105 剪 力 部 份 107 基 材 承 載 件 支 撐 部 份 109 圓 柱 狀 定 位 延 伸部份 111 平 面 113 圓 柱 狀 部 份 115 圓 柱 面 117 彎 角 部 份 119 曲 面 121 頂 部 123 基 材 承 載 件 支 撐 面 125 軸 127 基 材 承 載 件 129 細 節 131 底 側 133 底 面 135 動 力 銷 匹 配 特 徵 137 動 力 槽 139 傾 斜 面 141 剪 力 槽 143 垂 直 面 145 第 一 平 坦 垂 直 壁 147 第 二 平 坦 垂 直 壁 149 第 一 半 圓 柱 狀 垂直J 壁 151 第 二 半 圓 柱 狀 垂 直 壁 153 平 坦 水 平 壁 155 第 一 平 坦 傾 斜 壁 157 第 二 平 坦 傾 斜 壁 159 第 一 截 頂 圓 錐 狀 壁

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161 第 二 截 頂 圓 錐狀壁 163 第 一 傾 斜 切 線 165 第 二 傾 斜 切 線 167 第 三 傾 斜 切 線 169 第 四 傾 斜 切 線 171 漸 縮 孔 173 墊 圈 175 參 考 面 177 間 隙 179 非 零 垂 直 間 隙 181 側 向 183 邊 緣 701 設 備 703 基 材 承 載 件 搬運器 705 末 端 作 用 器 707 裝 卸 平 台 709 垂 直 支 撐 件 711 水 平 支 撐 件 713 控 制 器

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Claims (1)

1. 200524073 拾、申請專利範圍： 1. 一種用於支撐一基材承载件之動力銷，其至少包含： 一銷本體，至少包含： 一傾斜面，其係適於可滑動地連接一基材承載件 的一匹配特徵之一傾斜面，且適於允許該匹配特徵經 由重力定位在該動力銷上且橫向對準該動力銷；及 一剪力元件，其適於阻止一由於該基材承載件引 起之側向慣性負荷，防土其促使該基材承載件之該匹 配特徵與該動力銷不對準。 2 ·如申請專利範圍第1項所述之動力銷，其中該剪力元件 自該銷本體突出。 3·如申請專利範圍第1項所述之動力銷，其中該剪力元件 係鄰接於該傾斜面。 4 ·如申請專利範圍第3項所述之動力銷，其中該銷本體之 該傾斜面至少包含一向上漸縮之截頂圓錐狀面 (frustoconical surface)，立該剪力元件至少包含一自該 截頂圓錐狀面向上突出之圓柱面。 5 ·如申請專利範圍第4項所述之動力銷，其中該戴頂圓錐 狀面及該圓柱面係繞一共同垂直軸對稱地對準。 17 200524073 6 ·如申請專利範圍第4項所述之動力銷，其中該剪力元件 至少包含該銷本體之該截頂圓錐狀面末梢之一端部，及 一在該剪力元件之該末端處的平坦面。 7 ·如申請專利範圍第6項所述之動力銷，其中該剪力元件 至少包含一介於該平坦面與該圓柱面間之不連續邊緣。

   8.如申請專利範圍第7項所述之動力銷，其中該不連續邊 緣至少包含一圓形邊緣。 9.如申請專利範圍第7項所述之動力銷，其中該不連續邊 緣至少包含一第二向上漸縮截頂圓錐狀面。 1 〇·如申請專利範圍第4項所述之動力銷，其中該剪力元件 至少包含一在該截頂圓錐狀面末梢之半球形端部，且其 係鄰接於該圓柱面。

   1 1. 一種阻止一基材承載件側向運動的方法，其至少包含下 列步驟： 提供一動力銷，其用以支撐一基材承載件，該動力銷 具有一傾斜表面及一自該傾斜表面延伸之剪力元件； 置放一基材承載件，該基材承載件具有一適於匹配該 動力銷之特徵，且與該動力銷接觸以使該動力銷接觸該匹 18 200524073 配特徵； 經由該傾斜面將該基材承载件在該動力銷上對準；及 經由該剪力元件阻止該已對準基材承载件側向運動。 12·如申請專利範圍第11項所述之方法，其中上述阻止側 向運動之步驟至少包含將該動力銷之剪力元件置入具 有大體上垂直壁的該基材承載件之匹配特徵的一部 份，其中該基材承載件之匹配特徵的該部份及該剪力元 件係適於阻止該基材承載件之側向運動。 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項所述之方法，更包含加速該基 材承載件’以在該基材承載件及該動力銷間產生一慣性 力。 14. 一種基材承載件，其至少包含： 一基材承載件本體，其適於支撐一基材且具有一底面； 一或多數特徵，係位於該基材承載件本體之該底面 上’且適於與一動力銷接合，以在該動力銷上對準該基材 承載件；及 一剪力元件介面，其位於該基材承載件的該底面上之 該等一或多數特徵中，該剪力元件介面大體上具有數個垂 直邊’且係適於與一動力銷之一剪力元件接合，以阻止該 基材承戴件相對於該動力銷側向運動。 19 200524073 1 5 ·申凊專利範圍帛1 4項所述之基材承載件，纟中該剪力 兀件介面係適於容置該動力銷的一剪力元件。 16·如申請專利範圍帛14項所述之基材承载件，其中該基 材承载件本體之該底面具有三個適於與一動力銷接合 之特徵。 17· —種基材承载件搬運器，其至少包含： 一表面，其用以支撐一基材承載件； 一或多數動力銷，其等位於該表面上用以 承載件，該等動力銷具有： 一傾斜表面，用以對準該基材承载件，及 一剪力元件，其自該傾斜面延伸出，係用以阻止 該基材承载件相對於該等一或多數動力銷側向運動； 及 控制器，其適於使該基材承載件搬運器將該表 面加速以支撐一基材承載件，以致在該等一或多數動 力銷與一支撐於其上之基材承載件間產生一側向慣性 負荷。 8·如申請專利範圍第17項所述之基材承載件搬運器，其 中該煎力元件自該傾斜面向上突出。 20