TH91935B - Low volatile polymer for a two-stage deposition process. - Google Patents

Abstract

การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับวัสดุและกระบวนการสำหรับการเตรียมชั้นที่มีคุณภาพสูง ตัวอย่างเช่น สำหรับการประดิษฐ์อุปกรณ์เชิงเส้น ดังเช่น ท่อนำคลื่น โดยเฉพาะการประดิษฐ์นี้ เกี่ยวข้องกับการใช้วัสดุพอลิเมอร์ที่ระเหยได้ต่ำสำหรับการตกสะสมของชั้นที่มีคุณภาพสูงบน ซับสเทรทพื้นที่ขนาดใหญ่โดยกระบวนการแบบสองขั้นตอน ตัวอย่างเช่น แบบอัดรีด-และ-ปั่น This invention involves materials and processes for the preparation of high-quality layers, for example for the fabrication of linear devices such as waveguides. Involves the use of low volatile polymer materials for high-quality layer deposition on Substrate large areas by a two-stage process, for example extrusion-and-spin.

Claims (2)

1. วิธีการของการเคลือบซับสเทรทด้วยชั้นของวัสดุเคลือบที่มีความหนาสม่ำเสมออย่างเป็น สำคัญ วิธีการดังกล่าวประกอบรวมด้วย การประยุกต์ฟิล์มเหลวของวัสดุเคลือบดังกล่าวไปยังซับสเทรทดังกล่าว วัสดุเคลือบดังกล่าว เป็นชนิดที่ไม่ระเหยง่ายอย่างเป็นสำคัญ และ การปั่นซับสเทรทดังกล่าวเพื่อจัดเตรียมชั้นที่มีความหนาสม่ำเสมออย่างเป็นสำคัญ1. Methods for applying a substrate coating with a layer of a coating of uniform thickness is critical. Application of the liquid film of the coating material to the said substrate. Such coating materials It is essentially a non-volatile type, and it is important to spin the substrate to prepare a layer of uniform thickness. 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งการประยุกต์ฟิล์มเหลวของวัสดุเคลือบดังกล่าวไปยัง ซับสเทรทดังกล่าวกระทำโดยกระบวนการที่คัดเลือกจากการเคลือบแบบอัดรีด การเคลือบแบบ2. Method according to claim 1, where the liquid film of the coating material is applied to The substrates are performed by a selective process from extrusion coating, extrusion coating,