TH32090A - การกำจัดคาร์บอนออกจากพื้นผิวของซับสเตรท - Google Patents
การกำจัดคาร์บอนออกจากพื้นผิวของซับสเตรทInfo
- Publication number
- TH32090A TH32090A TH9701000720A TH9701000720A TH32090A TH 32090 A TH32090 A TH 32090A TH 9701000720 A TH9701000720 A TH 9701000720A TH 9701000720 A TH9701000720 A TH 9701000720A TH 32090 A TH32090 A TH 32090A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- carbon
- substrate
- chlorine
- steam
- atmosphere
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 การประดิษฐ์นี้เป็นวิธีการกำจัดวัสดุ เช่น คาร์บอนและธาตุโลหะออกจากพื้นผิว ของขับสเตรทโดยการให้ความร้อนในบรรยากาศ ของเมเลกุลของคลอรีนและไอน้ำ ในรูปแบบ ที่เป็นที่นิยม เรซิดิวคาร์บอน จะถูกกำจัดออกจากพื้นผิวของวัสดุซับสเตรทจำพวก Si หรือ GaAs การประดิษฐ์นี้เป็นวิธีการกำจัดวัสดุ เช่น คาร์บอนและธาตุโลหะออกจากพื้นผิวของฐานบุรองโดยการให้ความร้อนในบรรยากาศ ของเมเลกุลของคลอรีนและไอน้ำ ในรูปแบบที่เป็นที่นิยม ซากคาร์บอ จะถูกกำจัดออกจากพื้นผิวของวัสดุฐานบุรองจำพวก Si หรือ GaAs
Claims (5)
1. วิธีการกำจัดคาร์บอนออกจากพื้นฐาของบุรอง วิธีการดังกล่าวประกอบด้วยการให้ความร้อฐานบุรองดังกล่าวใน บรรยากาศที่ครอบคลุมไอน้ำและแก๊สของโมเลกุลคลอรีน
2. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ฐานบุรองดังกล่าวถูก ทำให้ร้อนที่อุณหภูมิน้อยกว่า 200ํซ.
3. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ฐานบุรองดังกล่าว ถูกทำให้ร้อนที่อุณหภูมิมากว่า 100ํซ.
4. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ฐานบุรองดังกล่าว ถูกทำให้ร้อนที่อุณหภูม 150ํซ.
5. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ไอน้ำและแก๊สของ โมเลกุลคลอรีนดังกล่าวมีอัตราส่วนเชิแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH32090A true TH32090A (th) | 1999-02-20 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0807952A3 (en) | Plasma reactor with heated source of a polymer-hardening precursor material | |
| EP0878832A3 (en) | Drying processing method and apparatus using same | |
| CA2316180A1 (en) | Production process and apparatus for high purity silicon | |
| ATE278824T1 (de) | Verfahren zur herstellung von metallschäumen und ofen zur herstellung dieser | |
| EP1435358A3 (en) | Process for preparing phosphoric ester | |
| EP1001454A3 (en) | Surface treatment method and surface treatment apparatus | |
| ATE182610T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum recyclen von behandeltem holz | |
| DK0432812T3 (da) | Fremgangsmåde til rensning af kontamineret jord | |
| TH32090A (th) | การกำจัดคาร์บอนออกจากพื้นผิวของซับสเตรท | |
| ATE323551T1 (de) | Verfahren zur herstellung von ammoniak und ammoniak-synthese-katalysator | |
| DE60104586D1 (de) | Aminofunktionelle Polysiloxane | |
| HU0201448D0 (th) | ||
| WO1997023715A3 (de) | Verfahren zum betreiben einer gasturbine und danach arbeitende gasturbine | |
| KR970043135A (ko) | 금속의 열처리장치 | |
| TW357255B (en) | Process for low temperature air separation | |
| Cantera | Hair-saving unhairing process. Part 2. Immunization phenomenon | |
| RU96102088A (ru) | Способ дистилляции | |
| RU99102580A (ru) | Способ синтеза алмаза | |
| RU98121047A (ru) | Способ получения карбидкремниевых огнеупоров | |
| SE9503427D0 (sv) | A method for epitaxially growing objects and a device for such a growth | |
| WO1999015462A8 (de) | Verfahren und anordnung zur abwasserreinigung | |
| HUP9801502A2 (hu) | Eljárás szennyezett wolfrám visszanyerésére | |
| Mohla et al. | Is Your ductile iron technology efficient? | |
| EP0864349A3 (en) | A process and apparatus for treating gas | |
| Zhu | Production of grain oriented silicon steel sheet by slab heating under low temperature |