SU985446A1 - Turbomolecular vacuum pump impeller - Google Patents

Turbomolecular vacuum pump impeller Download PDF

Info

Publication number
SU985446A1
SU985446A1 SU813296065A SU3296065A SU985446A1 SU 985446 A1 SU985446 A1 SU 985446A1 SU 813296065 A SU813296065 A SU 813296065A SU 3296065 A SU3296065 A SU 3296065A SU 985446 A1 SU985446 A1 SU 985446A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
vacuum pump
pump impeller
turbomolecular vacuum
wheel
turbomolecular
Prior art date
Application number
SU813296065A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Константин Евгеньевич Демихов
Андрей Анатольевич Евдокимов
Original Assignee
Московское Ордена Ленина, Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Высшее Техническое Училище Им. Н.Э.Баумана
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московское Ордена Ленина, Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Высшее Техническое Училище Им. Н.Э.Баумана filed Critical Московское Ордена Ленина, Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Высшее Техническое Училище Им. Н.Э.Баумана
Priority to SU813296065A priority Critical patent/SU985446A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU985446A1 publication Critical patent/SU985446A1/en

Links

Landscapes

  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к устройству элементов турбомолекул рных вакуумных насосов.The invention relates to vacuum technology, in particular, to the arrangement of elements of a turbomolecular vacuum pump.

Известно рабочее колесо турбомолекул рного насоса, содержащее диск с лопатками, образующими межлопаточные каналы tl.The impeller of a turbomolecular pump is known, containing a disk with blades forming interscapular channels tl.

Недостатком рабочего колеса  вл етс  невысока  степень сжати .The disadvantage of the impeller is a low compression ratio.

Цель изобретени  - повышение степени сжати  колеса.The purpose of the invention is to increase the degree of wheel compression.

Указанна  цель достигаетс  тем, что колесо снабжено установленной со стороны всасывани  пластинкой с радиальными прорез ми, частично перекрывающей межлопаточные каналы.This goal is achieved by the fact that the wheel is provided with a radial slot plate installed on the suction side, partially covering the interscapular channels.

На фиг. 1 показано колесо, рбщий вид; на фиг. 2 - разрез Ат-А на фиг.1.FIG. 1 shows a wheel with a clear view; in fig. 2 is a section At-A in FIG.

Рабочее колесо турбомолекул рнЬго вакуумного насоса содержит диск 1 с лопатками 2, образукицими межлопаточные каналы 3, причем колесо снабжено установленной со стороны всасывани  пластиной 4 с радиальными прорез ми 5, частично перекрывеиощей межлопаточные каналы 3.The impeller of the turbo molecule of the vacuum pump contains a disk 1 with blades 2 forming inter-blade channels 3, and the wheel is provided with a plate 4 installed on the suction side with radial slots 5 partially overlapping inter-blade channels 3.

Пластина 4 перекрывает те зоны межлопаточных каналов, которые характеризуютс  сравнительно малыми значени ми веро тности перехода молекул откачиваемого газа со стороны всасывани  на сторону нагнетани . . Такиш образом, средн   величина веро тности перехода молекул газа возрастает, что приводит к увеличе10 нию степени сжати  колеса.Plate 4 overlaps those zones of the interscapular channels, which are characterized by relatively low values of the probability of transition of the molecules of the pumped gas from the suction side to the discharge side. . Thus, the average probability of the transition of gas molecules increases, which leads to an increase in the degree of wheel compression.

Claims (1)

1. Авторское свидетельство СССР 237328, кл. F 04 О 19/04, 1967.1. USSR author's certificate 237328, cl. F 04 O 19/04, 1967.
SU813296065A 1981-04-14 1981-04-14 Turbomolecular vacuum pump impeller SU985446A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813296065A SU985446A1 (en) 1981-04-14 1981-04-14 Turbomolecular vacuum pump impeller

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813296065A SU985446A1 (en) 1981-04-14 1981-04-14 Turbomolecular vacuum pump impeller

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU985446A1 true SU985446A1 (en) 1982-12-30

Family

ID=20961032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813296065A SU985446A1 (en) 1981-04-14 1981-04-14 Turbomolecular vacuum pump impeller

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU985446A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3584305B2 (en) High performance turbo molecular vacuum pump
KR860001300A (en) Sealless pump
US3986791A (en) Hydrodynamic multi-stage pump
GB1508006A (en) Unitary vacuum pump
DE69101455D1 (en) Stator for a turbomolecular pump.
GB1397179A (en) Turbomolecular vacuum pump
DE3868643D1 (en) CENTRIFUGAL PUMP WHEEL.
EP0445855A1 (en) Improved turbomolecular pump
GB1445356A (en) Centrifugal pump
US5209630A (en) Pump impeller
US6168374B1 (en) Friction vacuum pump
US3289923A (en) Multi-stage pump
US7445422B2 (en) Hybrid turbomolecular vacuum pumps
SU985446A1 (en) Turbomolecular vacuum pump impeller
JPS57191492A (en) Molecular turbo-pump
KR890004933B1 (en) Turbo molecular pump
GB1402713A (en) Vortex compressor
KR890006980A (en) Multistage Pump
FR2282058A1 (en) Centrifugal compressor impeller - has radial blades inclined to rear base of impeller and non-radial outflow
SU676760A1 (en) Centrifugal pump impeller
US2956736A (en) Centrifugal fans
SU1222898A1 (en) Impeller of turbomolecular vacuum pump
SU846793A1 (en) Turbomolecular vacuum pump
SU1581865A1 (en) Centrifugal pump impeller
SU881372A1 (en) Turbomolecular vacuum pump