Claims (2)
Устройство включает вымораживающую ловушку, соединенную трубопроводом с сосудом Дьюара, сливной резервуар , в котором размещен датчик температуры , нагреватель, установленный в сосуде Дьюара, и систему автоматики , вкл50чак1цую пороговый элемент, триггер, элемент ИЛИ, блок включеш1 нагревател , одновибратор, блок совпадени и блок сигнализации, Заполнение ловушки хладагентом происходит при включении нагревател по электрическому сигналу датчика температуры. Устройство обеспечивает автоматическое выключение-исполнительного элемента при израсходовании жидкого хладагента 2 . Однако известное устройство также не обеспечивает автоматическое выключение исполнительного элемента нагревател при отсутствии хладагента в сосуде Дьюара в первоначальный момент заполнени ловушки. Это происходит потому,.что в известном устройстве первоначальное выключение нагревател осуществл етс только лишь ПО) электрическому сигналу охлажденного датчика температуры, который в этом случае (при отсутствии хладагента в сосуде Дьюара) не по витс Кроме того, известное устройство также не обеспечивает дистанционное включение и выключение исполнительного элемента. Указанные недостатки снижают надежность работы устройства. Цель изобретени - повьш ение надежности устройства. Поставленна цель достигаетс тем что устройство, содержащее блок запуска и соединенные трубопроводом вымораживающую ловушку, сливной резервуар с термодатчиком и сосуд Дью- ара с размещенным в нем нагревателем подключенным через блок коммутации к одному входу блока сигнализации, а термодатчик св зан с входом порогово го элемента, содержит генератор импульсов , счетчик импульсов, два элемента НЕ и четыре И-НЕ, причем выход порогового элемента,соединен с первы входом первого элемента И-НЕ, второй вход которого и первый вход второго элемента И-НЕ св заны с блоком запус ка, выход первого элемента И-НЕ подключен к входу сброса счбтчика импульсов и через первый элемент НЕ к первому входу третьего элемента PIHE , первьй вход четвертого элемента И-НЕ соединен с выходом генератора и пульсов, а его выход - с счетным вход счетчика импульсов, выход которого св зан с вторым входом второго элемента И-НЕ и через второй элемент НЕ с вторым входом третьего элемента ИНЕ и вторым входом четвертого элемен та И-НЕ, выход второго элемента И-НЕ соединен с вторым входом блока сиг ализации , а выход третьего элемента И-НЕ соединен с Влоком коммутации. На чертеже изображена функциональна схема устройства. Вымораживающа ловушка 1, соединенна трубопроводом 2 с сосудом Дьюара 3, имеет сливной резервуар 4, в котором размещен термодатчик 5. В сосуде Дьюара 3 установлен нагреватель 6. Схема автоматики включает пороговый элемент 7, вход которого соединен с термодатчиком 5, а выход - с одним входом элемента И-НЕ 8, другой вход которого и вход элемента И-НЕ 9 соединены с блоком 10 запуска , выход элемента И-НЕ 8 соединен с входом Сброс счетчика 11 импульсов а через элемент НЕ 12 - с входом элемента И-НЕ 13, элемент И-НЕ 14, вход которого соединен с генератором 15 импульсов, а выход - с счетным входом счетчика 11 импvльcoв. выход счетчика 11 импульсов соединен с входом элемента И-НЕ 9, а через элемент НЕ 16- с входом элемента 13 и входом элемента И-НЕ 14, выход элемента И-НЕ 9 соединен с одним входом блока 17сигнализации, выход элемента И-НЕ 13 соединен с другим входом блока 17 сигнализации и с входом блока коммутации , вьпсод которого соединен с нагревателем 6. Устройство работает следующим образом . При отсутствии высокого уровн потенциала на выходе блока 10 устройство выключено, при этом элементы И-НЕ 8 и 9 закрыты по второму входу, на выходе элемента И-НЕ 8 имеетс высокий уровень потенциала, устанавливающий счетчик 11 в нулевое состо ние, на выходе которого имеетс низкий уровень потенциала, на выходах элементов И-НЕ 9 и 13 имеетс высокий уровень потенциала, при этом нагреватель 6 выключен блоком 18 коммутации и жидкий хладагент в ловушку 1 не подаетс . Устройство включаетс при подаче с блока 10 запуска высокого уровн потенциала, при этом элементы И-НЕ 8 и 9 открываютс по второму входу. Если хладагент отсутствует в сливном резервуаре 4, т. е. уровень его в ловушке ниже необходимого или отсутствует , то по электрическому сигналу термодатчика 5 на выходе порогового элемента 7 устанавливаетс высокий уровень потенциала, на выходе элемен та И-НЕ 8 устанавливаетс при этом низкий уровень потенциала, который открывает счетчик 11 импульсов по входу Сброс, н начинаетс заполнение счетчика импульсов счетными импульсами , поступающими через элемент И-НЕ 14 от генератора 15 импульсов на его счетный вход. Одновременно низкий уровень потен циала устанавливаетс на выходе элемента И-НЕ 13 и блок 18 коммутации включает нагреватель 6, в сосуде Дью ара 3 создаетс избыточное давление и жидкий хладагент по трубопроводу 2 подаетс в вымораживающую ловушку 1. При заполнении ловушки 1 хладагентом до необходимого уровн , он сливаетс в резервуар 4 и по электрическому сигналу охлажденного термодатчика 5 на выходе порогового элемента 7 уста навливаетс низкий уровень потенциала , при этом на выходе элемента ИНЕ 8 уровень потенциала измен етс с низкого на высокий, который устанавливает счетчик 11 импульсов в нулевое состо ние, одновременно на выходе элемента И-НЕ 13 устанавливаетс высокий уровень потенциала и блок 18 коммутации выключает нагреватель 6, прекраща подачу хладагента в ловушку 1. При выкипании хладагента из резервуара 4 уровень электрического сигнала термодатчика 5 уменьшаетс и на выходе порогового элемента 7 вновь устанавливаетс высокий уровень потен циала, начинаетс заполнение счетчика 11 импульсов и включаетс нагреватель 6 дл подачи хладагента в ловушку I. Процесс первоначального заполнени ловушки 1 хладагентом или добавлени его в режиме поддержани необходимбго уровн по времени меньше заполнени счетчика 11 импульсов, и в этом случае счетчик 11 импульсов не вли ет на работу устройства. Однако при отсутствии хладагента в сосуде Дьюара 3 при первоначальном заполнении ловушки 1 или в процессе работы устройства имеет место израсхо дование хладагента, нагреватель 6 будет включен лишь в течение времени заполнени счетчика II импульсов, на его выходе устанавливаетс высокий уровень потенциала, который через эле менг НЕ 16 закрывает по второму входу элемент И-НЕ 13, при этом на выходе 876 его устанавливаетс высокий уровень потенциала и блок 18 коммутации выключает нагреватель 6. Одновременно низким уровнем потенциала по первому входу закрываетс элемент И-НЕ 14, обеспечива установившеес состо ние счетчика 11 импульсов. Блок 17 сигнализации обеспечивает контроль соответствующего состо ни устройства. При обеспечении наличи хладагента в сосуде Дьюара 3 сн тием высокого уровн потенциала с блока Ю запуска и повторной его подачей вновь включаетс нагреватель бив дальнейшем происходит автоматическое поддержание необходимого уровн хладагента в ловушке 1. В насто щем устройстве в качестве исполнительного элемента применен нагреватель , установленный в сосуде Дьюара, однако возможно применение в качестве исполнительного элемента пневмоклапана, который устанавливаетс на линии ввода сжатого воздуха в сосуд Дьюара, или совместное применение нагревател и пневмоклапана, управление исполнительными элементами при этом осуществл етс также блоком 18. Устройство дл поддержани уровн жидкого хладагента в емкости обладает повьшгенной надежностью, так как обеспечивает автоматическое отключение исполнительного элемента в случа х отсутстви хладагента в сосуде Дьюара. Кроме того, предлагаема схема позвол ет осуществл ть дистанционное управление устройством, что расшир ет его функциональные возможности . Насто щее устройство используетс в опытной, установке плазмохиминеского травлени , котора после испытани рекомендована в промьшленное производство . Формула изобретени Устройство дл поддержани уровн идкого хладагента в емкости, содеращее , блок запуска и соединенные трубопроводом вымораживающую ловушку, сливной резервуар с термодатчиком и сосуд Дьюара с размещенным в нем нагревателем , подключенным через блок оммутации к первому входу блока сигализации , а термодатчик св зан с ходом порогового элемента, о т л ичающеес тем, что, с целью повышени надежности устройства, оно содержит генератор импульсов, счетчик импульсов, два элемента НЕ и четыре И-НЕ, причем выход порогового элемента соединен с первым входом первого элемента И-НЕ, второй вход которого и первый вход второго элемента И-НЕ св заны с блоком запуска, выход пер вого элемента И-НЕ подключен к входу сброса.счетчика импульсов и через пер вый элемент НЕ - к первому входу третьего элемента И-НЕ, первый вход ,чет вертого элемента И-НЕ соединен с выходом генератора импульсов, а его выход - ехчетным входом счетчика импульсов , выход которого св зан с вторым входом второго элемента И-НЕ и через второй элемент НЕ - с втЬрым входом третьего элемента И-НЕ и вторым входом четвертого элемента И-НЕ, выход второго элемента И-НЕ соединен с вторым входом блока сигнализации, а выход третьего элемента И-НЕ соеди (Нен с блоком коммутации. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 382068, кл. G 05 D 9/)2, 1970. The device includes a freezing trap connected to the Dewar vessel by a pipeline, a drain tank containing a temperature sensor, a heater installed in the Dewar vessel, and an automation system including a threshold element, a trigger, an OR element, a heater unit 1, a single vibrator, a coincidence unit, and a block Alarm, Filling the trap with refrigerant occurs when the heater is turned on by the electrical signal of the temperature sensor. The device provides automatic shutdown of the actuator when the liquid refrigerant is consumed 2. However, the known device also does not automatically turn off the actuator of the heater in the absence of refrigerant in the Dewar vessel at the initial moment of filling the trap. This is because, in a known device, the initial shutdown of the heater is carried out only by the electrical signal of the cooled temperature sensor, which in this case (in the absence of refrigerant in the Dewar vessel) does not work. Moreover, the known device also does not provide remote activation and switching off the actuator. These drawbacks reduce the reliability of the device. The purpose of the invention is to increase the reliability of the device. The goal is achieved by the fact that a device containing a start-up unit and a freezing trap connected by pipeline, a drainage tank with a thermal sensor and a Deware vessel with a heater placed in it connected to the same input of the alarm unit through the switching unit, and the thermal sensor is connected to the input of the threshold element, contains a pulse generator, a pulse counter, two elements NOT and four NAND, and the output of the threshold element is connected to the first input of the first NAND element, the second input of which and the first input of the second element This IS-NOT is connected to the start-up unit, the output of the first AND-NOT element is connected to the reset input of the pulse counter and, through the first element, NOT to the first input of the third PIHE element, the first input of the fourth AND-NOT element is connected to the output of the generator and pulses, but its output is from the counting input of a pulse counter, the output of which is connected to the second input of the second NAND element and through the second element NONE to the second input of the third INE element and the second input of the fourth NAND element, the output of the second NAND element is connected to the second input of the alarm unit and the output The third element is NOT connected to the switching block. The drawing shows a functional diagram of the device. The freezing trap 1, connected by pipeline 2 to the Dewar vessel 3, has a drain tank 4 in which a thermal sensor 5 is placed. A heater 6 is installed in the Dewar vessel 3. The automation circuit includes a threshold element 7, the input of which is connected to the thermal sensor 5, and the output is connected to one the input element AND-NOT 8, the other input of which and the input element AND-NOT 9 are connected to the start block 10, the output of the element AND-NE 8 is connected to the input Reset of the counter 11 pulses and through the element NOT 12 to the input of the element IS-NOT 13, element AND NOT 14, the input of which is connected to the generator 15 named pulses, and the output - with a counting counter input 11 impvlkov. the output of the pulse counter 11 is connected to the input of the element AND-HE 9, and through the element NOT 16- to the input of the element 13 and the input of the element AND-NOT 14, the output of the element AND-NOT 9 is connected to one input of the signal block 17, the output of the element AND-NOT 13 connected to another input of the signaling unit 17 and to the input of the switching unit, which is connected to the heater 6. The device operates as follows. In the absence of a high potential level at the output of block 10, the device is turned off, while the elements AND-HE 8 and 9 are closed at the second input, at the output of the element AND-HE 8 there is a high potential level that sets the counter 11 to the zero state, the output of which is a low potential level, the outputs of the NAND elements 9 and 13 have a high potential level, while the heater 6 is turned off by the switching unit 18 and the liquid refrigerant is not supplied to the trap 1. The device is turned on when a high potential level is applied from the start-up unit 10, and the AND-HE elements 8 and 9 are opened at the second input. If the refrigerant is not in the drain tank 4, i.e., the level in the trap is below the required or not, then the electrical signal of the sensor 5 sets a high potential level at the output of the threshold element 7, and a low level at the output of the IS-HE element 8 potential, which opens the pulse counter 11 at the Reset input, and n begins filling the pulse counter with counting pulses, coming through the NAND 14 element from the pulse generator 15 to its counting input. At the same time, a low potential level is established at the output of the IS-NE 13 element and the switching unit 18 turns on the heater 6, an overpressure is created in the Dew ara 3 vessel and the liquid refrigerant is supplied to the freezing trap 1 through the pipeline 2 when the trap 1 is filled to the required level, it is drained into reservoir 4 and the electric signal of the cooled temperature sensor 5 sets a low potential level at the output of the threshold element 7, while at the output of the YPE 8 element the potential level changes from low to high, which sets the counter 11 pulses to the zero state, simultaneously a high potential level is established at the output of the NE-13 element and the switching unit 18 switches off the heater 6, stopping the refrigerant supply to the trap 1. When the refrigerant boils out of the tank 4, the electrical signal of the thermal sensor 5 decreases and a high potential level is re-established at the output of the threshold element 7, the pulse counter 11 starts to be filled, and the heater 6 is turned on to supply refrigerant to the trap I. Process e original refrigerant filling the trap 1 or adding it in the maintaining mode neobhodimbgo level less filling time pulse counter 11, and in this case, the pulse counter 11 does not affect the operation of the device. However, in the absence of refrigerant in the Dewar 3 vessel during the initial filling of the trap 1 or during operation of the device, the refrigerant is consumed, the heater 6 will be turned on only during the filling time of the II pulse counter, a high potential level is set at its output 16 closes the IS-NE element 13 at the second input, while a high potential level is established at the output 876 and the switching unit 18 switches off the heater 6. At the same time, the low potential at the first inlet dy closed AND-NO element 14, providing ustanovivshees state 11 the pulse counter. The signaling unit 17 provides control of the corresponding state of the device. By ensuring the presence of a refrigerant in the Dewar 3 vessel by removing a high level of potential from the start up unit Yu and re-supplying it, the heater is turned on again and the necessary level of refrigerant in the trap 1 is automatically maintained. In this device, the heater installed in the vessel is used as an actuator Dewar, however, it is possible to use as an actuator a pneumatic valve, which is installed on the line for the introduction of compressed air into the Dewar vessel, or joint name of the heater and pneumatic valve, control of the actuators is also carried out by block 18. The device for maintaining the level of liquid refrigerant in the tank has a higher level of reliability, as it automatically disconnects the actuator in the absence of refrigerant in the Dewar vessel. In addition, the proposed scheme allows remote control of the device, which expands its functionality. The present device is used in a pilot, plasma-chemical etching installation, which after testing is recommended in industrial production. The invention The device for maintaining the level of refrigerant in the tank, containing the launch unit and the freezing trap connected by pipeline, the drain tank with the thermal sensor and the Dewar vessel with a heater placed in it, connected through the switching unit to the first input of the signaling unit, and the thermal sensor is connected the threshold element, in order to improve the reliability of the device, it contains a pulse generator, a pulse counter, two elements NOT and four NAND, and the output of the threshold element It is connected to the first input of the first NAND element, the second input of which and the first input of the second NAND element are connected to the start-up unit, the output of the first NI element is connected to the reset input of the pulse counter and through the first element NOT to the first input of the third NAND element, the first input of the fourth NID element, is connected to the output of the pulse generator, and its output is the counter input of the pulse counter, the output of which is connected to the second input of the second NAND element and through the second element NOT with the third input of the third NAND and the second input ohm the fourth element AND-NOT, the output of the second element AND-NOT connected to the second input of the alarm unit, and the output of the third element AND-NOT connect (Nen with the switching unit. Sources of information taken into account during the examination 1. USSR author's certificate No. 382068, cl. G 05 D 9 /) 2, 1970.
2.Авторское свидетельство СССР № 710025, кл, G 05 D 9/12, 1978 ( прототип).2. USSR author's certificate number 710025, class, G 05 D 9/12, 1978 (prototype).