. Изобретение ctjHocHTCfl к технологии изготовлени попупровоаников и может найти применение при произвоцстве р ца попупровоаниковых приборов(фоторезисторов , фотопотенциоматров, сопнеч1 ых элементов, безвакуумных аналогов передающих телевизионных трубок). Известен способ получени полупроводниковых ппенок сульфица кадми пиро питическим разбрызгиванием. Этот метод состоит в том, что на подложку нагретую до определенной температуры распыл етс при нормальных атмосзферных услови х .воцшлй раствор хлористого кадми и тиомочевины Cl 3 . Наиболее близким техническим реш&нием вл етс сюсоб получени фоточувствитепьных ппенок сульфида кадми , нанесенных путем распылени раствора хлорида кадми и тиомочевины на нагретую подложку 1,2, Технический процесс получени ппено заключаетс в следующем. Водный раство из соединений кадми и серы наноситс методом реактивного распылени на подложку, нагретую до 2ОО С. При этом протекает реакци , в результате которой образуетс С d 5 . Недостатками известного способа на пыпени вл ютс низка фоточувовтвитепъность пленок (дп их очувствительно ти наобхоцим отжиг при длительностью пор дка не дели) ,а также мала проэ рачность дл света как до,так и после отжига, что св зано с нагшчием структурных дефектов ппенки. . Цепью изобретени вгшетс повышение фоточувствитепьности и прозрачности пленок.. Поставленна цепь достигаетс тем, что в способе получени фоточувствитегеьных ппенок сульфида кадми , нанесенных путем распылени 4)аствора хлорида кадми и тиомочевины на нагретую лоц ложку, на нее нанос т монодиспероный аэрозоль спиртового раствора иоходных компонентов концентрации 0,010 ,06 моль/л. Суишость способа заключаетс в том что рабочий раствор, приготовленный Смешиванием спиртовых растворов хлорида кaшvra и тиомочевины, наноситс в виде монодисперсных аэрозольных (диаметром пор цка 50 мкм) на диэлектрическую подложку, температу ру которой можно мен ть в широких пределах. Аэрозольный режим распыпени создают прикладыва между корпусом НЕцгреватеп на котором находитс подаониса) и капилл ром с рабочим раствором электрическое напр жение величи; ной 6 кВ, Зар женные капли, срыва сь с остри капилл ра, движутс в направлении подложки вдоль силовых линий пол , образу расход щийс аэрозольный конус. Вследствие электростатических сил отталкивани между соседними капл ми последние осаждаютс на подложке равномерным споем. В процессе попадани раствора на нагретую подложку на ней протекает химическа реакци CdDe2 + {NH2) CCJSI + -baMH cei-t.cOgt , в результате которой образуетс фоточувствительна прозрачна пленка сульфида кадми . При нагревании пленки используют интервал температур подложки ЗвО-БОО С, Пленка, нанесенна на подложку,нагретую до температуры, меньшей., мало прозрачна и имеет низкую фоточувствительность . Это Г1объ сн етс присутствием в объеме пленки хлористого аммони , образующегос в процессе химической реакции нар ду с образованием сульфида кадми . При температуре подложки из указанного выше интервала полностью сублимирован. Использование в данном способе спир ного раствора хлорида кадми и тиомочевины взамен традигвионного водного раствора, примен вшегос в процессе реактивного распылени , способствует более стабильному режиму образовани монодисперсного аэрозол , что в конечном счете приводит к образованию на подложке бопее совершенных по структуре и фотоэлектрическим свойствам ппе- нок . На чертеже приведена схема устано&ки цп осуществценк способа пЬпучени ппенок. Она состоит из генератора моносшсперсного аэрозол 1, емкости с рабочим раствором, источника высокого нап- р жени 3, нагревател 4, на котором расположена подложка 5. Генератор монодисперсного аэрозол состоит из тонкостенного капилл ра 6 с внутренним диаметром 0,1 мм. Коаксиапьно с капилл ром расположен цилиндрический выт гивающий электрод 7. Межцу капилл ром и выт гивающим эпектродом находитс изолирующа фторопластова прокладка 8. 38 Капипп р соецинен с емкостью 2 трубкой Така конфигураци электроцов обеспечивает наибопее приемлемый режим работы генератора. Рабочие напр жени на выт гивающем электроде и капилл ре поццерживаютс соответственно 3 и 6 кВ. П р и м е р 1. Дп приготовлени рабочего раствора используют хлористый кацмий /Cdtt 22,5 Н2 О / - О,057 г, растворенный в 25 мп спирта, и тиомочевину /( NHg )2С5 / - О,О19 г. растворенную в 25 мп .спирта. Это соответствует концентраци м растворов 0,О1 моль/п. Приготовленные растворы запивают в емкость 2. Ка нагреватепь 4 устанавливают предварительно очищенную стекл нную поапожку 5 (размеры подлож ки 3 х 3 см). Нагревают поцпожку до 450°С. Включают источник высокого напр жени 3, задают рабочие режимы напр жений: 3 кВ между выт гивающим эпектроцом 7 и корпусом нагреватеп 4, а также 6 кВ между капилл ром 6 и корпусом нагревател 4. При указанных .напр жени х осуществл етс процесс напылени рабочего раствора в вице моноцисперсного аэрозол на нагретую подложку 5. Врем напьшени , необходимое цп получени фоточувствительной ппенки сульфида кадми толщиной 0,1 мк составл ет 12 мин. Из используемого количества рабочей смеси можно получить 14 образцов. П р и м е р 2. Услови такие же, как и в примере 1. Используют рабочую смесь, состо щую из спиртовых растворов CdCtgi (NH2 ) С 5 концентр цией О,04 мопь/п. Врем напылени , необхоцимое дл получени пленки суль7 фида кадми толщиной ОД мкм, составл ет 3 мин. Из приготовленного коли- честна рабочей смеси можно получить 57 образцов. Примерз. Условий такие же, как, и в примерах 1 и 2. Мол рные концентрации спиртовых ipacTBopoB хлорида кадми и тиомочевины 0,06 моль/л. Врем напылени , необходимое дл получени пленки С « 5 толщиной 0,1 мкм, составл ет 2 мин. Из используемого количества рабочей смеси можно получить 86 образцов . Максимальное значениеконцентрации раствора ограничиваетс растворимостью хлористого кадми в спирте, а минимальное длительностью процесса напылени , ; На данной установке описанным способом изготовлена сери фоточувствитель- ных прозрачных пленок сульфида кадми . В зависимости от времени напылени (2-1.2 мин) и выбранной мол рности растворов получены слои толщиной О,1 0 ,5 мкм. Темнова проводимость изготовленных пленок составл ет 10 10 Ом . Опт1гческа прозрачность ц л длин волн более 520 нм соотавл ет не менее 7О%. Полученные указанным способом пленки Cd 5 зеркальны, механически прочны , обладают хорошей ацгезией с подложкой и имеют высокую фоточувствительность без проведени дополнительных очувствл$пощих обработок (кратность фототока при освещенности 200 люкс постигает 10). Рентгенографическими исследовани ми установлено, что кристаллическа структура пленок в основном гексагональна.