SU842567A1 - Ультразвуковой способ контрол КАчЕСТВА МНОгОСлОйНыХ издЕлий - Google Patents
Ультразвуковой способ контрол КАчЕСТВА МНОгОСлОйНыХ издЕлий Download PDFInfo
- Publication number
- SU842567A1 SU842567A1 SU792760391A SU2760391A SU842567A1 SU 842567 A1 SU842567 A1 SU 842567A1 SU 792760391 A SU792760391 A SU 792760391A SU 2760391 A SU2760391 A SU 2760391A SU 842567 A1 SU842567 A1 SU 842567A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- control
- coefficient
- surface waves
- converter
- accuracy
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
Изобретение относится к неразрушающим испытаниям и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых приборов и интегральных _ микросхем.
Известен способ контроля шероховатости поверхности изделий, заключающийся в том, что на контролируемую поверхно.сть устанавливают преобразователь, возбуждают его радиоимпуль- υ сами и определяют резонансную частоту преобразователя до получения максимального значения амплитуда их огибающей [1].
Недостатком известного способа· 15 является низкая точность контроля, так как контроль ведут на низких резонансных частотах.
Наиболее близкий к предлагаемому ультразвуковой способ контроля ка- *0 честВа многослойных изделий заключается в то^, что в изделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через . изделие колебания, измеряют инфор— 25 мативный их параметр и по его производной судят о качестве изделий [2], Недостатком данного способа также являетс.я низкая точность контроля, .так как на точность определения 30 минимального значения производной амплитудно-частотной характеристики поверхностных волн оказывает влияние· невоспроизводимость качества акустических контактов между поверхностью образца и преобразователями.
Цель изобретения - повышение точности контроля.
Поставленная цель достигается тем, что за информативный параметр принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн.
На фиг, 1 представлена блок-схема устройства, реализующего способ; на фиг. 2 - график зависимости коэффициента от частоты.
Устройство содержит генератор 1 электрических колебаний, модулятор 2, излучающий преобразователь 3; приемный преобразователь 4, усилитель
5,. измеритель 6 нелинейных искажений, индикатор 7 и дифференцирующий блок 8.
Способ осуществляется следующим образом. __
С помощью генератора 1 электрических колебаний возбуждают в образце поверхностные волны различных частот, С помощью приемного преобразова. теля 4 осуществляют прием этих волн.
Электрические колебания с выхода преобразователя поступают через усилитель 5 на измеритель 6 нелинейных искажений.
Используемый в качестве информативного параметра коэффициент нели-, нейных искажений поверхностных волн вычисляется по формуле 'ю где А|- амплитудное значение первой гармоники поверхностной волны;
А·- амплитудное значение 1 гармоники.'5 . .Сигнал, пропорциональный коэффициенту К, подается на один вход индикатора 7, на другой вход которого •поступает сигнал, пропорциональный К* с выхода дифференцирующего блока 20 8, где К* - производная коэффициента нелинейных искажений'.
С помощью модулятора Z осуществляется изменение частоты выходного напряжения генератора 1. 25
Предлагаемый способ позволяет повысить точность контроля многослойных изделий.
Claims (2)
- Изобретение относитс к неразрушанадим испытани м и может быть испо эовано дл контрол качества полупроводниковых приборов и интегральн микросхем. Известен способ контрол шероховатости поверхности изделий, заключающийс в том, что на контролируем поверхность устанавливают преобразо ватель, возбуждают его радиоимпульсами и определ ют резонансную частоту преобразовател до получени максимального значени амплитуда их ;огибающей 11., Недостатком известного способа вл етс низка точность контрол , так как контроль ведут на низких резонансных частотах. Наиболее близкий к предлагаемому ультразвуковой спосрб контрол качества многослойных изделий заключаетс в то, что в изделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через . изделие колебани , измер ют информатившдй их параметр и по его произ водной суд т о качестве изделий 2 Недостатком данного способа также вл етс. низка точность контрол , ,так как на точность определени минимального значени производной ёмплитудно-частотной характеристики поверхностных волн оказывает вли ние; невоспроизводимрсть качества акустических контактов между поверхностью образца и преобразовател ми. Цель изобретени - повышение точности контрол . Поставленна цель достигаетс тем, что за информативный параметр принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн. На фиг. 1 представлена блок-схема устройства, реашизуювдего способ; I на фиг, 2 - график зависимости коэффициента от частоты. Устройство содержит генератор 1 электрических колебаний, модул тор 2, излучающий преобразователь З; приемный преобразователь 4, усилитель 5,. измеритель 6 нелинейных искажений , индикатор 7 и дифференци1рующий блок 8. Способ осуществл етс следующим :Образом. С помощью генератора 1 электрических колебаний возбуждают в образце поверхностные волны различных .частот , С помо1фью приемного преобразовател 4 осу кествл ют прием этих волн. Электрические колебани с выхода преобразовател поступают через усилитель 5 на измеритель б нелинейнМх искажений. Используемый в качестве информативного параметра коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн шлчисл етс по формуле 15:4«2Л где амплитудное значение первой гармоники поверхностной волны; А. - амплитудное значение i гармоники. . .Сигнал, пропорциональный коэффициенту К, подаетс на один вход индикатора 7, на другой вход которо поступает сигнал, пропорциональный К с выхода дифференцирующего блока 8, где К - производна коэффициент нелинейных искажений . С модул тора 2 осуществл етс изменение частоты выходного напр жени генератора I. Предлагаемый способ позвол ет повысить точность контрол многослойных изделий. Формула изобретени Ультразвуковой способ контрол качества многослойных изделий, заключакицийс в том, что в изделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через изделие колебани , изл1ер ют информативный их параметр и по его производной суд т р качестве издели о т л ич ающи йс тем, что, с целью повыцгени точности контрол , за информативный па аметрч.принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1..Авторское свидетельство СССР № 418791, КЛ. G 01 N 29/04, 1973.
- 2.Авторское свидетельство СССР W 658468, КЛ. G 01 N 29/04, 1977 ( прототип )KIКзК,
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792760391A SU842567A1 (ru) | 1979-04-28 | 1979-04-28 | Ультразвуковой способ контрол КАчЕСТВА МНОгОСлОйНыХ издЕлий |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792760391A SU842567A1 (ru) | 1979-04-28 | 1979-04-28 | Ультразвуковой способ контрол КАчЕСТВА МНОгОСлОйНыХ издЕлий |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU842567A1 true SU842567A1 (ru) | 1981-06-30 |
Family
ID=20825251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792760391A SU842567A1 (ru) | 1979-04-28 | 1979-04-28 | Ультразвуковой способ контрол КАчЕСТВА МНОгОСлОйНыХ издЕлий |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU842567A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103969339A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-08-06 | 厦门大学 | 管道微损伤的非线性超声导波检测方法和装置 |
-
1979
- 1979-04-28 SU SU792760391A patent/SU842567A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103969339A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-08-06 | 厦门大学 | 管道微损伤的非线性超声导波检测方法和装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2661329B1 (en) | Improvements in or relating to ultrasound generating apparatus, and methods for generating ultrasound | |
US5955669A (en) | Method and apparatus for acoustic wave measurement | |
JPH01196589A (ja) | 非接触式距離測定装置 | |
SU842567A1 (ru) | Ультразвуковой способ контрол КАчЕСТВА МНОгОСлОйНыХ издЕлий | |
EP0088362A1 (en) | Nonintrusive pressure measurement | |
US3861200A (en) | Method and instrument for analysing materials by ultrasonic pulses | |
SU1151836A1 (ru) | Способ дистанционного измерени температуры | |
SU492802A1 (ru) | Устройство дл исследовани механических свойств твердых тел ультразвуковым резонансным методом | |
SU1089765A1 (ru) | Способ измерени акустической мощности низкочастотных излучателей | |
SU1642260A1 (ru) | Устройство дл измерени вибрационных характеристик | |
SU413387A1 (ru) | ||
SU945678A1 (ru) | Устройство дл измерени жесткости режущего инструмента | |
SU447607A1 (ru) | Устройство дл измерени импедансдиаграмм магнитострикционных преобразователей | |
SU753271A1 (ru) | Устройство дл измерени скорости ультрозвука | |
SU407232A1 (ru) | Ультразвуковое устройство для дефектоскопии | |
RU2648292C1 (ru) | Резонансный способ ультразвуковой толщинометрии | |
SU557314A1 (ru) | Способ измерени коэффициента пуассона и устройство дл его осуществлени | |
SU847190A1 (ru) | Устройство дл ультразвукового контрол | |
SU1499130A1 (ru) | Способ измерени скорости ультразвука в материалах | |
SU1078318A1 (ru) | Устройство дл контрол качества клеевого соединени | |
SU478244A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного возбуждени и приема ультразвуковых колебаний | |
SU716135A1 (ru) | Способ неразрушающего контрол качества пьезоэлементов | |
SU622004A1 (ru) | Устройство дл измерени коэффициента поглощени звука в жидкой среде | |
SU1357829A1 (ru) | Способ измерени параметрического коэффициента скорости распространени акустических колебаний и устройство дл его осуществлени | |
SU454424A1 (ru) | Ультразвуковой расходомер |