SU801141A1

SU801141A1 - Квадрупольный трехмерный масс- СпЕКТРОМЕТР и СпОСОб ЕгО изгО-ТОВлЕНи

Info

Publication number: SU801141A1
Application number: SU792738713A
Authority: SU
Inventors: Эрнст Пантелеймонович Шеретов; Борис Иванович Колотилин; Вадим Федорович Самодуров
Original assignee: Рязанский Радиотехническийинститут
Priority date: 1979-03-19
Filing date: 1979-03-19
Publication date: 1981-01-30

Description

1

Изобретение относитс к масс-спектрометрии и может быть использовано при создании квадрупольных массспектрометров с высокой разрешающей способностью и большим сроком службы .

Известны трехмерные квадрупольные масс-спектрометры, в которых ионизаци газа осуществл етс электронным потоком, вводимым в рабочий объем датчика 1.

Однако в таких масс-спектрометрах срок службы датчиков ограничиваетс искажени ми пол в их рабочем объеме , возникающими из-за образовани диэлектрических углеводородных пленок на электродах при бомбардировке их электронным потоком. Как правило , наибольшее вли ние оказывают пленки, образующиес за-за засе ни электродов датчика вторичными электронами. Дл уменьшени вторичного электронного потока в выходном торцовом электроде обычно выполн етс отверстие дл вывода больщей части первичного потока за пределы рабочего объема датчика.

Известен датчик трехмерного квадрупольного-масс-спектрометра с электродами в виде гиперболоидов, содержащий каналы дл ввода и вывода ионизирующего электронного потока 2

Хот вывод большей части ионизирующего потока за пределы рабочего объема и уменьшает скорость образовани пленок на поверхности электродов , все же полностью избавитьс от вли ни пленок не удаетс из-за неfl совершенства фокусировки электронного потока. В результате на электродах датчика образуютс диэлектрические пленки, причем из-за неравномерного рассе ни вторичного элект5 ронного потока пленки образуютс на отдельных област х поверхностей электродов в тем местах, на которые приходитс наибольша интенсивность вторичного электронного потока. Та0 ким образом, в рабочем состо нии на рабочих поверхност х электродов известного датчика в некоторых местах имеютс области, покрытые диэлектрическими пленками углеводородов,

5 образующимис под действием электронного потока. Это обуславливает низкие чувствительность и разрешающую способность масс-спектрометра и, соответственно, малый срок службы датчика.

Цель изобретени - увеличение увствительности, раз решающей ..способности и срока службы масс-спектрометра .

Указанна цель достигаетс тем, то вс рабоча поверхность электродов датчика покрываетс диэлектрическими пленками углеводородов. Эти пленки образуют путем бомбардировки рабочих поверхностей электро-дов датчика электронным потоком в парах углеводородов с энергией электронов 100-150 эВ при плотности 1-3-Ю А/см в течение 2-3 ч при давлении в вакуумной камере 10 мм рт.ст.

Исследование физических свойств пленок и их вли ние на срок службы датчика показывают, что срок службы в основном определ етс изменетнием работы выхода пленок. Поскольку пленки имеют работу выхода отличную от работы выхода металлов, обычно используемых дл электродов датчика , при образовании пленок возникает контактна разностьпотенциалов , и поверхность электрода стано-: витс неэквипотенциальной. Это и приводит к по влению искажений пол и, как следствие этого, к уменьшению и чувствительности, и разрешени прибора. При бомбардировке поверхности нержавеющей стали электрон ным потоком плотностью работа выхода образуемой пленки стабилизируетс через 1,5-3 ч. Плотность вторичного потока в датчике на пор док меньше, и это объ сн ет тот факт, что обычно датчики таких анализаторов имеют срок службы 20-30 ч, после чего требуют проведени чистки электродов.

Если до монтажа датчика рабочие оверхности электродов покрыть такими пленками, то в процессе работы массспектрометра работа выхода мест, бомбардируемых электронным потоком, не измен етс и, таким образом, искажени пол в рабочем объеме минимальны . Другими словами, датчик трехмерного квадрупольного-масс-спектро метра с электродами, вс поверхность которых покрыта пленками углеводородов , образуемыми под действием электронной бомбардировки, обладают большим сроком службы.

Использование .в датчиках трехмерных квадрупольных масс-спектрометров электродов,. вс рабоча поверхность которых покрыта диэлектрическими пленками углеводородов, обраsyeivffiix при бомбардировке поверхностей электронами, позвол ет в 20-30 раз увеличить срок службы датчиков таких приборов.

Claims

1.Квадрупольный трехмерный масс;:пектрометр с электродами в виде гиперболои.цов, отличающ йс тем, что, с целью увеличени чувствительности, разрешающей способности и срока службы, вс рабоча поверхность э.пектродов покрыта пленками углеводородов.

2.Способ изготовлени устройства по п. 1, отличающийс тем, что пленки нанос тс путем бомбардировки рабочих поверхностей электродов электронным потоком в парах углеводородов.

3.Способ По п. 2, отличающийс тем., то рабочие поверхности электродов облучают электронным потоком с энергией 100-150эВ при плотности 1-3-Ю -А/см в течение 2-3 ч при давлении в вакуумной камере рт.ст.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.Шеретов Э.П. и др.- Приборы

и техника эксперимента, 1971, № 1.

2.Авторское свидетельство СССР по за вке № 25899712,кл.Н 01 J 39/50 1978 (прототип),