SU728172A1 - Method of fitting the resistance of film resistor - Google Patents

Description

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано при изготовлении микросхем для подгонки величины сопротивления пленочного резистора в номинал анодированием материала резистора.The invention relates to electrical engineering and can be used in the manufacture of microcircuits for fitting the resistance value of the film resistor to the nominal value by anodizing the material of the resistor.

Известен способ, включающий одновременное пропускание через подгоняемый резистор постоянного тока анодирования и переменного тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора [1]. Способу свойственна невысокая точность подгонки сопротивления резисторов в номинал.A known method, including the simultaneous transmission through an adjustable resistor of direct current anodizing and alternating current measuring the resistance value of the adjustable resistor [1]. The method is characterized by a low accuracy of fitting the resistance of the resistors to the nominal.

Известен способ, включающий пропускание через подгоняемый резистор пульсирующего тока анодирования и пульсирующего тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора, причем процесс пропускания указанных токов через подгоняемый резистор разделены во времени на полпериода питающего тока [2]. Этому способу также свойственна невысокая точность подгонки.A known method, including passing through an adjustable resistor a pulsating anodizing current and a pulsating current, measures the resistance value of an adjustable resistor, the process of passing said currents through an adjustable resistor is divided in time by half a period of the supply current [2]. This method also has a low precision fit.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ подгонки сопротивления пленочного резистора, включающий пропускание через подгоняе9 мый резистор постоянного тока анодирования и постоянного тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора, причем процессы пропускания токов анодирования и измерения разделены во времени [3].Closest to the invention, the technical essence is a method of adjusting the resistance of a film resistor, including passing through an adjustable resistor a constant current anodizing and direct current measuring the resistance value of the adjustable resistor, and the processes of transmitting anodizing currents and measurements are separated in time [3].

Цель изобретения — повышение точности подгонки.The purpose of the invention is to increase the accuracy of the fit.

Достигается это тем, что в известном способе подгонки сопротивления пленочного резистора, включающем пропускание через него постоянного тока анодирования и по¹⁰ стоянного тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора, пропускание токов измерения и анодирования осуществляют одновременно.This is achieved by the fact that in the known method of adjusting the resistance of a film resistor, including passing an anodizing direct current through it and ¹⁰ constant current measurements of the resistance value of the adjustable resistor, passing the measurement and anodizing currents is carried out simultaneously.

На чертеже представлена структурная ₎₅ схема устройства для осуществления предложенного способа.The drawing shows a structural _{) 5} diagram of a device for implementing the proposed method.

Устройство содержит источник 1 постоянного тока анодирования, регулятор 2 тока анодирования, электрод 3 зонда анодирования, источник 4 постоянного тока измерения, 20 измерительный мост 5, состоящий из образцовых резисторов 6, 7 и переменного резистора 8, и нуль-органа 9.The device comprises anodizing direct current source 1, anodizing current regulator 2, anodizing probe electrode 3, measuring direct current source 4, 20 measuring bridge 5, consisting of reference resistors 6, 7 and a variable resistor 8, and a zero-organ 9.

Способ осуществляется следующим образом.The method is as follows.

Для подгонки величины сопротивления пленочного подгоняемого резистора 10 в номинал его резистивный слой, выполняющий роль анода, погружают в жидкий электролит или накладывают на него вязкий электролит 11 и включают подгоняемый резистор 10 в плечо измерительного моста 5 для контроля величины сопротивления подгоняемого резистора 10. Переменным резистором 8 задают конечную величину сопротивления подгоняемого резистора 10. С учетом допустимой мощности рассеивания на подгоняемом резисторе 10 через него сначала с помощью источника постоянного тока измерения 4 пропускают предельно допустимый постоянный ток измерения. Затем источником 1 постоянного тока анодирования и регулятором 2 тока анодирования устанавливают рабочий ток анодирования.To adjust the resistance value of the film adjustable resistor 10 to the nominal value, its resistive layer, which acts as the anode, is immersed in a liquid electrolyte or a viscous electrolyte 11 is placed on it and an adjustable resistor 10 is inserted into the arm of the measuring bridge 5 to control the resistance value of the adjustable resistor 10. By a variable resistor 8 set the final value of the resistance of the adjustable resistor 10. Given the allowable dissipation power on the adjustable resistor 10 through it, first with a constant voltage source measurement eye 4 pass the maximum permissible direct current measurement. Then, the anodizing constant current source 1 and the anodizing current regulator 2 set the operating anodizing current.

Электрод 3 зонда анодирования, выполняющий роль катода, подключают к минусу источника 1 постоянного тока анодирования через регулятор 2 тока анодирования и к электролиту 11. Окончание процесса анодирования индуцируется наличием нулей на всех разрядах цифрового нуль-органа 9 и автоматическим отключением электрода 3 зонда анодирования от источника 1 постоянного тока анодирования.The electrode 3 of the anodizing probe, which acts as a cathode, is connected to the minus of the anodizing DC source 1 through the anodizing current regulator 2 and to the electrolyte 11. The end of the anodizing process is induced by the presence of zeros on all bits of the digital zero-organ 9 and the electrode 3 of the anodizing probe is automatically disconnected from the source 1 DC anodizing.

В процессе подгонки через подгоняемый резистор течет ток, равный сумме токов измерения и анодирования, что позволяет совместить во времени процессы анодирования и измерения и повысить производительность подгонки величины сопротивления пленочных резисторов в номинал. Источни728172 ком 4 постоянного тока измерения устанавливают ток измерения, превышающий ток анодирования более, чем на порядок. При этом влияние тока анодирования на точность измерения сопротивления подгоняемого резистора 10 пренебрежимо мало, чем обес⁵ печивается повышение точности подгонки величины сопротивления этого резистора в номинал.During the fitting process, a current equal to the sum of the measurement and anodization currents flows through the adjustable resistor, which allows you to combine the anodization and measurement processes in time and increase the performance of fitting the resistance of the film resistors to the nominal value. Sources 728172 com 4 of a direct current measurement establish a measurement current exceeding the anodizing current by more than an order of magnitude. The effect of the anodizing current to resistance measurement accuracy Customized resistor 10 is negligibly small than OJEC ⁵ ensures, improving the accuracy of the adjustment value resistor in denomination.

Применение предлагаемого способа поз₁₀ воляет повысить производительность и точность подгонки величины сопротивления пленочного резистора в номинал.The application of the proposed method pos. ₁₀ makes it possible to increase the productivity and accuracy of fitting the resistance value of the film resistor to the nominal value.

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Способ подгонки сопротивления пленочного резистора, включающий пропускание через него постоянного тока анодирования и постоянного тока измерения величины со20 противлеийя подгоняемого резистора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности подгонки, пропускание токов измерения и анодирования осуществляют одновременно.A method for adjusting the resistance of a film resistor, including passing through it a direct current of anodizing and direct current measuring the value of co20 of the resistor of the adjustable resistor, characterized in that, in order to increase the accuracy of the fit, the transmission of measurement and anodizing currents is carried out simultaneously.