SU712655A1 - Калибратор фазовых сдвигов - Google Patents
Калибратор фазовых сдвигов Download PDFInfo
- Publication number
- SU712655A1 SU712655A1 SU782654869A SU2654869A SU712655A1 SU 712655 A1 SU712655 A1 SU 712655A1 SU 782654869 A SU782654869 A SU 782654869A SU 2654869 A SU2654869 A SU 2654869A SU 712655 A1 SU712655 A1 SU 712655A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- channel
- phase shift
- working
- phase
- polarizers
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
Изобретение относится к оптико-интерференционным устройствам и может быть использовано в метрологии для проведения поверочных работ в качестве источника колебаний с заданным сдвигом фаз.
Известны устройства для получения колебаний, регулируемых по фазе, включающие тракт опорного сигнала и тракт сигнала со сдвинутой фазой [1].
Наиболее близким по техническому решению задачи является калибратор фазовых сдвигов [2], содержащий рабочий канал и канал измерения разности фаз.
Недостатком известного устройства является низкая точность задания фазового сдвига, обусловленная наличием источника систематической погрешности измерений фазового сдвига в оптической системе формирования двух световых модулированных, рабочих световых потоков, один из которых является опорным, а другой связан оптически с подвижным отражателем, а механически — с измерительным интерферометром, обеспечивающим задание и измерение фазового сдвига между световыми потоками. Наличие механической связи рабочего светового потока с измерительным световым потоком интерферометра приводит к появлению неучтенной оптической разности хода лучей рабочих световых потоков и обус2 лавливает появление систематической погрешности задания фазовых сдвигов.
Целью изобретения является увеличение точности задания фазовых сдвигов.
Поставленная цель достигается тем, что в устройстве, содержащем рабочий канал и канал измерения разности фаз, канал измерения разности фаз оптически совмещен с рабочим каналом, а на входе и выходе 10 рабочего канала и на канале измерения разности фаз установлены линейные поляризаторы, причем ориентация поляризаторов в рабочем канале ортогональна к ориентации поляризаторов в канале измерения 15 разности фаз.
Функциональная схема устройства изображена на чертеже.
Устройство содержит источник света 1, светоделитель 2, модулятор 3, подключение) ный к нему источник модулирующего сигнала 4, линейный поляризатор 5, светоделитель 6, зеркало 7, светоделитель 8, линейный поляризатор 9, фотоприемник 10, зеркало 11, уголковый отражатель 12, зер25 кало 13, светоделитель 14, линейный поляризатор 15, фотоприемник 16, зеркала 17 и 18, линейные поляризаторы 19 и 20 и счетчик интерференционных полос 21.
Устройство работает следующим обра30 зом.
Световой поток источника 1 через светоделитель 2 поступает на модулятор 3, управляемый источником модулирующих колебаний 4 и далее на поляризатор 5. Модулированный и поляризованный световой поток разделяется на светоделителе 6 на два световых потока. Отраженный от делителя 6 световой поток посредством зеркала 7 передается на делитель 8. Пройдя делитель 8 и поляризатор 9, световой поток поступает на фотоприемник 10 и образует на его выходе (выход I) выходной опорный электрический сигнал. Модулированный световой поток, проходящий через делитель 6, отражается от зеркала 11, поступает в отражатель 12 и далее после отражения от зеркала 13 через светоделитель 14 и поляризатор 15 попадает на фотоприемник 16. На выходе фотоприемника 16 (выход II) образуется выходной электрический сигнал со сдвинутой фазой. Перемещением отражателя 12 вдоль линии М—Н в сигнал, поступающий на фотоприемник 16, вводится заданный сдвиг фаз относительно сигнала, поступающего на фотоприемник 10. Величина перемещения отражателя- 12 и, следовательно, величина введенного фазового сдвига контролируется с помощью светового потока источника 1, отраженного от светоделителя 2 и зеркал 17 и 18. Этот световой поток, пройдя через поляризатор 19, делится на две части, одна из которых, пройдя путь, образованный элементами 7,8 и 14, поступит на поляризатор 20 и далее на счетчик интерференционных полос 21, а другая часть, пройдя по пути, образованному элементами 11—14, также поступит на счетчик интерференционных полос 21. Встречаясь на светоделителе 14 названные световые потоки образуют интерференционную картину, вид которой зависит от вели5 чины разности хода, внесенной перемещением отражателя 12. Через поляризаторы 9 и 15 эти световые потоки не проходят, так как их поляризация ортогональна по отношению к пропусканию поляризаторов 9 и 15. 10 Поскольку оптические пути рабочих световых потоков и световых потоков, служащих для измерения разности хода, совпадают, то тем самым исключается систематическая погрешность, возникающая при 15 механической связи измерительного канала с рабочими каналами.
Claims (1)
- Формула изобретенияКалибратор фазовых сдвигов, содержа20 щий рабочий канал и канал измерения разности фаз, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности задания фазовых сдвигов, канал измерения разности фаз оптически совмещен с рабочим кана25 лом, а на входах и выходах рабочего канала и канала измерения разности фаз установлены линейные поляризаторы, причем ориентация поляризаторов в рабочем канале ортогональна к ориентации поляризато30 ров в канале измерения разности фаз.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782654869A SU712655A1 (ru) | 1978-07-26 | 1978-07-26 | Калибратор фазовых сдвигов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782654869A SU712655A1 (ru) | 1978-07-26 | 1978-07-26 | Калибратор фазовых сдвигов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU712655A1 true SU712655A1 (ru) | 1980-01-30 |
Family
ID=20781407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782654869A SU712655A1 (ru) | 1978-07-26 | 1978-07-26 | Калибратор фазовых сдвигов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU712655A1 (ru) |
-
1978
- 1978-07-26 SU SU782654869A patent/SU712655A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0646767B1 (en) | Interferometric distance measuring apparatus | |
KR100253496B1 (ko) | 절대 거리를 위한 전기 광학적 측정기 | |
US3891321A (en) | Optical method and apparatus for measuring the relative displacement of a diffraction grid | |
US5106191A (en) | Two-frequency distance and displacement measuring interferometer | |
US4859066A (en) | Linear and angular displacement measuring interferometer | |
US4600299A (en) | Optical distance measuring instrument | |
US5493395A (en) | Wavelength variation measuring apparatus | |
US4717250A (en) | Angle measuring interferometer | |
JPH02236103A (ja) | ロボット端部作動体および工具用の集積光ファイバ結合近接センサ | |
JPH03180704A (ja) | レーザ干渉計 | |
US3635552A (en) | Optical interferometer | |
JPH03504768A (ja) | 特に可動な構成要素の距離及至シフト運動を測定するための干渉計システム | |
JP5786270B2 (ja) | 2色干渉計測装置 | |
SU712655A1 (ru) | Калибратор фазовых сдвигов | |
US6064482A (en) | Interferometric measuring device for form measurement on rough surfaces | |
JP2004055775A (ja) | 波長モニタ及びモータ駆動制御装置 | |
EP0461773A2 (en) | Linear pitch, and yaw displacement measuring interferometer | |
SU1423914A1 (ru) | Устройство дл измерени длины волоконного световода | |
CN110849593B (zh) | 基于声光调制器外差干涉测量光学***波像差的测量设备 | |
SU586323A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU1275322A1 (ru) | Фазометрическое устройство | |
GB2333834A (en) | Interferometer with deadpath error compensation | |
SU1362923A1 (ru) | Двухчастотна интерферометрическа система дл измерени линейных перемещений | |
SU1478064A1 (ru) | Способ измерени оптической длины волоконных световодов | |
US3495911A (en) | Extended range interferometer |