SU680534A1 - Электростатический энергоанализатор - Google Patents
Электростатический энергоанализатор Download PDFInfo
- Publication number
- SU680534A1 SU680534A1 SU772545780A SU2545780A SU680534A1 SU 680534 A1 SU680534 A1 SU 680534A1 SU 772545780 A SU772545780 A SU 772545780A SU 2545780 A SU2545780 A SU 2545780A SU 680534 A1 SU680534 A1 SU 680534A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- analyzer
- electrostatic energy
- resolution
- cylindrical
- electrodes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
16 Изобретение относитс к спектроскопии пучков зар женных частиц и мо жет быть использовано дл построени электростатического энергоанализатора высокой разрешающей способности и значительной светосилы. Известен электростатический эн 5ргоанализатор пучков зар женных частиц типа цилиндрического зеркала Этот анализатор состоит из двух соосных цилиндрических электродов. Вну ренний электрод обычно заземл етс , а к наружному прикладываетс мен ющийс потенциал У , по знак/ одноимен ный зар ду анализируемых частиц. Точечный источник и его изображение наход тс на оси симметрии и фокусное рассто ние равно 6,3 ч, где г, - радиус внутреннего электрод Анализ зар женн{51х частиц по кинетическим энерги м в этом устройстве основан на фокусирующем и диспергирующем действии электростатического пол в пространстве между цилиндрическими элек гродами на пучок зар женных частиц, направленный под некоторым углом oif, к оси симметрии электродов . Разрешающую способность анали затора можно характеризовать отноше нием дисперсии к величине аберрацио ного размыти изображени . Чем больш . это отношение, тем выше разрешающа способность анализатора. Дл создани цилиндрического пол в области прохождени траекторий зар женных частиц требуютс электроды большой длин1,1, позвол ющие устранить вли ние краевьпс полей. Такие анализаторы оказываютс громоздкими. На практике, в цилиндрических зеркалах анализиру щее поле обычно ограничивают в направлении оси симметрии, а на торца цилиндрических электродов располагают изолирующие пластины с системами коаксиальных металлических электродов, несущих корректирующие потенциалы. Внутренн поверхность изолирующих пластин иногда покрываетс слоем с большим омическим сопротивлением, что улучшает корректирующее действие. Только применение таких довольно сложных и громоздких систем защитных электродов позвол ет значительно сократить длину анализатора, избавившись от искажающего действи краевых полей. При этом фокусировка анализатора не улучшаетс . Известен также укороченный анализатор типа цилиндрического зеркала, содержащий источник, приемник, внутренний и наружный цилиндрический электроды, одну торцевую систему защиты. Цель изобретени - повышение разрешающей способности при большой светосиле и упрощение конструкции. Цель достигаетс тем, что в межэлектродном пространстве устанавливаетс плоска торцева металлическа пластина, перпендикул рна оси симметрии анализатора, имеюща потенциал внутреннего цилиндрического электрода . В предлагаемом устройстве нужный эффект ослаблени отклон ющего пол создаетс торцевой металлической пластиной , имеющей потенциал внутреннего цилиндра. С другой стороны, та же сама металлическа пластина ограничивает анализирующее поле, так что отпадает необходимость в системе защитных электродов с одного из торцов по сравнению с прототипом. Тем самым упрощаетс конструкци . На фиг. 1 дана схема предлагаемого анализатора; на фиг, 2 - графики, по сч ющие его работу. Электростатический энергоанализатор содержит внутренний цилиндрический электрод 1 радиуса г, наружный цилиндрический электрод 2 радиуса fg , металлическую торцевую пластину 3, точечный источник 4 зар женных частиц , приемник 5, окно 6 дл ввода частиц в поле, окно 7 дл вывода частиц из пол , приемную диафрагму 8 с малым круглым отверстием, систему 9 защитных электродов, изолирующее кольцо 10. Анализатор работает следующим образом. I Расход щийс от точечного источника 4 пучок зар женных частиц поступает через окно 6 в анализирукщее поле. Осева траектори пучка наклонена на входе в поле углом 42, к осисимметрии. Отраженные полем зар женные частицы выход т через окно 7 и попадают в отверсти приемной диафрагмы 8. Измен потенциал на наружном электроде 2, получают спектр частиц по энерги м в анализируемом пучке. Благодар помещению на определенном рассто нии от окна 7 пластины 3 разрешающа способность
анализатора при регистрации пучков зар женных частиц с большой угловой расходимостью в несколько раз выше, чем в случае цилиндрического зеркала в режиме угловой фокусировки второго пор дка. Кроме того, в предлагаемом анализаторе отсутствует система защиты со стороны приемника. Положение торцевой пластины 3 определ етс ее рассто нием S относительно точечного источника 4. На фиг. 2 представлены аберрационные кривые, характеризирующие продольное размытие изображени в анализаторе. Выполненные на ЭВМ расчеты показали, что в случае 0(,3, , 2, даже при небольшом рассто нии от пластины 3 до окна 7, дисперси по энергии остаетс такой же, как в цилиндрическом зеркале , а величина размыти изображени в несколько раз уменьшаетс при изменении 8 и соответствующем значении ,/(0, где E(j - кинетическа энерги частиц
и - отклон ющий потенциал на наружном электроде;
С - зар д частиц,
что и приводит к повышению разрешени . Нужно отметить, что фокусное рассто ние дл различных сочетаний у и 5 может быть как больше, так и
меньше фокусного рассто ни цилиндрического зеркала, которое равно 6,13 На фиг. 2 по горизонтальной оси отложены значени угла ввода пучка траекторий в полес , а по вертикальной - значени фокусного рассто ни в единицах г . Крива 1 соответствует цилиндрическому зеркалу, дл которого У 1 ,890, крива П соответствует ,890,5 6,30, крива Ш -у 1,809,5 5,30г . Видно, что введение торцевой металлической пластины существенно зт еньшает аберрационное размыкание при использовании больших углов расходимости. Так дл кривых П иШ при использовании угла расходимости 4 аберрационное размыкание уменьшаетс в 3,6 раза и в 2 раза соответственно, по сравнению с цилиндрическим зеркалом, что в соответствующее число раз повьшзает разрешающую способность анализатора. . Предлагаемый анализатор более совершенен и более прост по конструкции , чем прототип. Это вьфажаетс в том, что разрешение при регистрации пучков с большой угловой расходимостью оказьгоаетс в несколько раз выше, а конструкци проще, так как устран етс система защитных электродов с одного из торцов анализатора.
Claims (1)
- ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОР, содержащий источник, приемник, внутренний и наружный цилинд- рические электроды, одну торцевую систему защиты, отличающий· с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности при большой светосиле и упрощения конструкции, в межэлектродном пространстве устанавливается металлическая торцевая пластина, перпендикулярная оси симметрии анализатора, имеющая потенцит ал внутреннего цилиндрического элект рода.SU ,и. 6805341 680534
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772545780A SU680534A1 (ru) | 1977-11-21 | 1977-11-21 | Электростатический энергоанализатор |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772545780A SU680534A1 (ru) | 1977-11-21 | 1977-11-21 | Электростатический энергоанализатор |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU680534A1 true SU680534A1 (ru) | 1985-05-07 |
Family
ID=20734008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU772545780A SU680534A1 (ru) | 1977-11-21 | 1977-11-21 | Электростатический энергоанализатор |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU680534A1 (ru) |
-
1977
- 1977-11-21 SU SU772545780A patent/SU680534A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3410997A (en) | Multipole mass filter | |
JP2001523378A (ja) | 飛行時間型質量分析計におけるイオン検知器の角度をつけた配列 | |
EP0490626B1 (en) | Mass spectrometer with electrostatic energy filter | |
US6984821B1 (en) | Mass spectrometer and methods of increasing dispersion between ion beams | |
US4551599A (en) | Combined electrostatic objective and emission lens | |
Liebl | Design of a combined ion and electron microprobe apparatus | |
GB2216331A (en) | Instrument for mass spectrometry/mass spectrometry | |
JPH0354831B2 (ru) | ||
SU680534A1 (ru) | Электростатический энергоанализатор | |
Tuithof et al. | Variation of the dispersion, resolution and inclination of the focal plane of a single-focussing mass spectrometer by use of two quadrupoles | |
Bertrand et al. | A high-resolution energy analyser for surface studies by ion scattering spectrometry (ISSS) | |
US4942298A (en) | Electron spectrometer | |
JP3571568B2 (ja) | 質量分析装置のフォーカス電圧源 | |
SU1436148A2 (ru) | Энергетический анализатор с электростатическим зеркалом | |
SU695465A1 (ru) | Анализатор энергий зар женных частиц | |
RU152659U1 (ru) | Электронный спектрограф для анализа пленочных структур | |
US5107110A (en) | Simultaneous detection type mass spectrometer | |
SU1597967A1 (ru) | Электростатический энергоанализатор зар женных частиц | |
US4128763A (en) | Energy analyzer for charged particles | |
SU1269216A1 (ru) | Энергоанализатор | |
SU828262A1 (ru) | Электростатический анализатор | |
JP3452867B2 (ja) | 荷電粒子分光器 | |
JPS59160949A (ja) | 質量分析装置 | |
SU1064350A1 (ru) | Электростатический энергоанализатор-дифрактометр | |
SU1128308A2 (ru) | Масс-спектрометр |