SU647984A1 - Способ изготовления диэлектрических деталей - Google Patents

Способ изготовления диэлектрических деталей

Info

Publication number
SU647984A1
SU647984A1 SU2462110/21A SU2462110A SU647984A1 SU 647984 A1 SU647984 A1 SU 647984A1 SU 2462110/21 A SU2462110/21 A SU 2462110/21A SU 2462110 A SU2462110 A SU 2462110A SU 647984 A1 SU647984 A1 SU 647984A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
dielectric parts
manufacturing dielectric
manufacturing
parts
absent
Prior art date
Application number
SU2462110/21A
Other languages
English (en)
Inventor
Е.П. Игнашев
Г.А. Сидоренко
Original Assignee
Институт электроники АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт электроники АН БССР filed Critical Институт электроники АН БССР
Priority to SU2462110/21A priority Critical patent/SU647984A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU647984A1 publication Critical patent/SU647984A1/ru

Links

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Insulating Bodies (AREA)

Abstract

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ преимущественно для вакуумных интегральных схем, включающий селективное электрохимическое оксидирование алюминиевой заготовки, химическое травление неокисленных участков, нагревание в окислительной атмосфере, отличающийся тем, что, с целью улучшения диэлектрических свойств деталей за счет уменьшения их пористости, после нагревания в окислительной атмосфере диэлектрические детали обрабатывают жидким тетраэтоксисиланом, нагревают до 750 - 800С и выдерживают 10 - 15 мин, после чего упомянутые операции повторяют многократно.
SU2462110/21A 1977-03-15 1977-03-15 Способ изготовления диэлектрических деталей SU647984A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2462110/21A SU647984A1 (ru) 1977-03-15 1977-03-15 Способ изготовления диэлектрических деталей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2462110/21A SU647984A1 (ru) 1977-03-15 1977-03-15 Способ изготовления диэлектрических деталей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU647984A1 true SU647984A1 (ru) 1996-03-27

Family

ID=60522800

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2462110/21A SU647984A1 (ru) 1977-03-15 1977-03-15 Способ изготовления диэлектрических деталей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU647984A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
YU39489B (en) Process for the manufacture of an indolysine derivative
AU521358B2 (en) Production of 2, 6-diaminonebularines
DE2860542D1 (en) Process for the production of an original
AU521750B2 (en) Manufacture of polyalklenepolyamines
SU647984A1 (ru) Способ изготовления диэлектрических деталей
AU518756B2 (en) Production of monochlord-diamino-s-triazines
JPS52105242A (en) Production of instant sekihan
JPS53119491A (en) Method of manufacturing abraisives
AU515013B2 (en) Production of haloacylamides
SU686454A1 (ru) Магнитореологическая суспензия
JPS53131595A (en) Method of manufacturing abraisives
SU649722A1 (ru) Способ получени 1-галогенгерматранов
JPS5443867A (en) Method of forming housing
SU586662A1 (ru) Способ получения биомассы
JPS5312439A (en) Production of instant alphaamochi
JPS5320444A (en) Production of instant kayu
SU705934A1 (ru) Способ изготовления интегральных схем
SU811519A1 (ru) Способ получения белкового раствора
SU669588A1 (ru) Способ изготовления изделий из ячеистобетонных смесей
SU745298A1 (ru) Способ изготовления транзисторных структур
SU892881A1 (ru) Способ получения этилового эфира 2,3-диметилиндолкарбоновой-5-кислоты
SU758971A1 (ru) Способ изготовления полупроводниковых приборов
SU600823A1 (ru) Способ получения п-нитробензонитрила
JPS53131596A (en) Method of manufacturing abraisives
SU940601A1 (ru) Способ получения диэлектрических покрытий