SU566866A1 - Раствор дл травлени алюмини - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к составам дл  травлени , а именно к растворам дл  травлени  алюмини , используемым дл  изготовлени  деталей фотохимическим методом.

Изпестны растворы дл  травлени  пленок алюмини  при изготовлении нолупроводниковых приборов, содержащие в своем составе ортофосфорную, азотную и уксусную кислоты 1 1 .

При применении указанных растворов на основе ортофосфорной кислоты дл  травлени  слоев алюмини  толщиной 10 мкм и выше обнаружены следующие недостатки: процесс травлени  характеризуетс  бурным газовыделением; из-за высокой в зкости раствора пузырьки водорода, выдел ющегос  при травлении , прилипают к дорожкам травлени  и преп тствуют полному удалению алюмини , что приводит к неровности кра , подтравливанию и к по влению значительного количества ненротравленных островков. Кроме того, необходим подогрев раствора с целью увеличени  скорости травлени . Вследствие трудности поддержани  посто нной температуры в обьеме травител  нроисходит ухудщение равномерности травлени , что осложн ет определение момента окончани  процесса.

Целью изобретени   вл етс  повышение качества травлени  алюмини .

Дл  этого в раствор, содержащий ортофосфорную , азотную и уксусную кислоты, дополнительно ввод т хлорное железо и сол ную кислоту при следующем соотнощении комнонентов , об. ч.:

Ортофосфорна  кислота

(уд. вес. 1,735 г/см)2-6

Азотна  кислота

(уд. вес. 1,42 г/смЗ)1-2

Уксусна  кислота

(уд. вес. 1,05 г/см)4-12

Хлорное железо (уд. вес. водного раствора 1,19- 1,21 г/смЗ)1-3

Сол на  кислота

(уд. вес. 1,17 г/см)2-5

Введение добавок хлорного железа и сол ной кислоты, активно трав щих алюминий, особенно в присутствии сильного окислител - азотной кислоты, при указанном соотношении комнонентов настолько повыщает скорость травлени  алюмини , что исключаетс  необходимость в подогреве раствора. Указанный эффект наблюдаетс  только при совместном действии хлорного железа и сол ной кислоты, так как при введении в раствор лищь одного из указанных компонентов не наблюдаетс  достаточного увеличени  скорости, ухудшаютс  край и равномерность травлени  и снижаетс  стойкость маскирующих покрытий при селективном травлении. Кроме того, в результате введени  указанных добавок значительно снижаетс  в зкость трав щего раствора, вследствие чего улучшаютс  услови  дл  эвакуации пузырьков водорода из дорон ек травлени , облегчаетс  доступ травител  к металлу , что в конечном итоге приводит к улучщению равномерности травлени , уменьшению неровностей кра  и количества непротравленных зчастков. Присутствие ортофосфорной кислоты в растворе улучшает смачиваемость поверхности алюмини , но увеличивает в зкость травител , чем затрудн етс  процесс отрыва пузырьков газа от поверхности металла . Уксусна  кислота позвол ет снизить в зкость раствора,  вл етс  выравнивающей добавкой , обеспечива  равномерность травлени  металла по поверхности. Оптимальное соотношение компонентов предложенного раствора установлены экспериментальным путем.

Пример. Хранитель дл  алюмини  следующего состава, об. ч.: ортофосфорна  кислота (уд. вес. 1,735 г/см) 4; азотна  кислота (уд. вес. 1,42 г/см) 1,5; уксусна  кислота (уд. вес. 1,05 г/см) 8; хлорное железо (уд. вес. водного раствора 1,19-1,21 г/см) 2 и сол на  кислота (уд. вес. 1,17 г/см) 3,5, готов т путем последовательного смешивани  предварительно приготовленного водного раствора хлорного железа с остальными компонентами .

Образцы дл  травлени  готов т следующим образом.

На заготовках диэлектрика лакофольгового типа ФДИ с толщипой алюмини  30 мкм методом фотопечати с использованием фоторезистов ФН-11 или ФП-383 формируют маскпруюпдий слой дл  селективного травлени  с целью получени  лепестковых выводов. Заготовки с фоторезистивным слоем термически задубливают, после чего подвергают травлению в растворе приведенного состава. Температура травлени  18-25°С. Положение заготовок в объеме травител  горизонтальное или

вертикальное. Заготовки выдерживают в растворе до полного вытравлени  алюмини  из дорожек травлени . Врем  травлени  9- 12 мин.

При травлении алюмини  в предложенном растворе повышаетс  качество травлени . Кроме того, в растворе дл  травлени  алюмини  при комнатной температуре вследствие лучшей равномерности травлени  облегчаетс 

определение момента окончани  процесса, исключаетс  расход электроэнергии на подогрев раствора, упрощаетс  оборудование дл  осуществлени  процесса травлени  алюмини , улучшаютс  услови  труда.

Предложенный раствор дл  травлени  алюмини  может найти широкое применение в микроэлектронике, радиопромышленности и других родственных отрасл х народного хоз йства дл  изготовлени  деталей из алюмини  и его сплавов методом фотохимического травлени .

Claims (1)

1. Патент США № 3715250, кл. 156-22, 1973.