SU548136A1 - Способ изготовлени твердотельного электрохромного устройствп - Google Patents

Description

Изобретение огносигс  к способам из-) готовпени  эпекгрооптических усгройсгв, в частности, эпектрохромных.

Известны эпекгрохромные усгройсгва, изгоговпенные в вице крисгаппической

пластины , состо$пцей из г апогеййцов щепечных метаппов, на которую напыпены эпектроцы из метаппов ипи попупровоцниковых веществ Ij .

Наибопее близким к описываемому изоб регению по технической сущности и цосги- гаемому резупьтату  вп етс  способ изготовпени  тверцотепьного эпектрохромного устройства путем нанесени  термическим испарением в вакууме на прозрачную эпектропровоц щую поцпожку эпектрохромного материапа, изол тора и верхнего эпекгроца 2 .

Оцнако без специального выбора режимов нанесени  эпектрохромного материа- па, изол тора и верхнего эпектроца невоз МОЖНО обеспечить наилучшее быстроцейсг- вие эпектрохромного устройство.

Цепь изобретени  - созцапие эпекгро- хромного устройства, в котором увепиче-

на скорость окрашивани  и обесцвечивани  сно  эпекгрохромного материапа.

Эга цепь достигаетс  тем, что эпект- рохромный материал (например 3VOg , МоОз ) испар ют при 1400-18ОО°С и цавпении осЕрточных„газов в вакуумной камере 51О - 1О мм рг.ст. из лоцочки тугоплавкого металла (вольфрам, мопибцен, тантал), при этом температура про ачной эпектропровоц5ицей поцпожки С, после этого изол тор (Mgrf, Cap2) испар ют в вакуумной камере из поцоЧКи тугоплавкого металла при 14ОО15СЮ С при .цавпении остаточных газов 1О - Ю мм р т.с т., при этом температура прозрачной эпектропровоц щей поц- ложки 14О-2ОО С. Наконец, нац споем изол тора нанос т верхний эпектроц, например из зопота. Золото испар ют при 15ОО-. 16ОО С и аавленин оцгаточных в вакуумной камере 1О - 51О мм рт. ст. из молибденовой или вольфрамовой , поцочки, при этом температура прозрачной эпектропровоц шей поцпожки 13О180°С .

Таким спЪсобом пс«гуч8нс- устройство, В-. югороы используетс  ЗЮ в качесгве эпекгрохромного материала, MgFg в качесгве иаоп гора, Аи. в качестве верх него эпекгроца ц сгекп нна  пластинка, покрыта  споем окиси инци , в качестве «/розрачной злекфопровоц щей под ожки. Иац споем окиси инди  нанос т спой ,. в йЕкуумной камеое при цавпении осгагочиык; газов 6°1О мм. рт.ст, способом взрывного испарени  из мопибденоО

БОЙ ПОПОЧКИ при 17ОО С; при этом темпе ратура прозрачной эпектропровод1щей поа гюжки 2ОО С. Нац споем WO, нанос т спой ЛДрГ испарением в вакуумной при дввпеынк осгаточных газов 51О мм рт. СП иа мопибценовой поаочки;при 14ОО С. При згом температура прозрачной эпектропрсвоц . щейшоцпожки 19О С. Поспе этого нанос т спой зопота испарением в вакуумной камере при цавпении остаточных feaoB 2°1О мм рт.ст. из мопибценовой попочки при 155О С, при этом температура прозрачной эпектропровод ще.й поц- ножки 16О С. Тогадина спо  ( мкм, СГ1ОЯ - О,О6 мкм, спо  зопота 0 ,04 мкм.

Тверцогепьное эпекгрохромное устройство , изготовпенное описанным способом, имеет времена окрашивани  и обесцвечи вани  пор дка 1ОО мс.

Формупа изобретени  Способ кзгоговгюни  Твердотельного .зпекгроАрпм;-;сго устройства путем нанесе-

ни  термическим испарением в вакууме

X на прозрачную эпектропровоц щую поцпожку эпектрохромного материапа, изоп тора и верхнего эпекгроца, отпичающ и и с   тем, что, с цепью увепичени  скорости окрашивани  и обесцвечивани  спо  эпектрохромного материапа, поспец- НИИ испар ют при 14ОО - 18ОО С и цавпении остатоадых газов в вакуумной камере i5lO - 10 мм рт.ст., температуру прозрачной эпектропровод щей поцпржки при нанесении эпектрохромного материапа поддерживают в предепах 19О , изоп тор испар ют при 14ОО15ОО С и цавпении осдаточнь газов в закуумной камере Ю - 1О мм рг.ст,, температуру прозрачной эпектропровоц шей подпожки при нанесении спо  изоп тора поддерживают в прецепах 14О-2ОО С, материап верхнего эпектроца испар ют при 15ОО-16ОО С и давлении осхаточныхд аin ,он t

S3OB Б вакуумной камере 1О - 5 1О мм рт.ст., температуру прозрачной эпектропровод4Ецей подпожки при нанесении верхнего эпектрода поддерживают в прецепах 13О18О°С .

Источники информации, прин тые мание при экспертизе:

1. Патент ФРГ № 1О36388, кп, 21 g 4/О7, 1967.

2.Патент США № 3521941, кп. 35О-16С, 197О.