SU447591A1 - Вакуумметр-течеискатель - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области вакуумной техники и может быть использовано дл  одновременного измерени  общего давлени  газа в системе и парциального давлени  электроотрицательного газа, а также как индикатор негерметичности вакуумных приборов и объектов при использовании в качестве пробных веществ газов, склонных к образованию отрицательных ионов (электроотрицательных газов).

Известные вакуумметры, содержащие магнитный электроразр дный манометр, включенный в измерительную схему, не позвол ю.т одновременно измер ть общее давление в системе и парциальное давление электроотри .цательного газа.

Цель изобретени  - обеспечить одновре .менное измерение парциального давлени  электроотрицательного газа и общего давлени  газа в системе.

Это достигаетс  тем, что в вакуумметре манометрический преобразователь, содержащий иилиндрический анод и катод, снабжен вторым анодом, выполненным в виде сетчатого цилиндра, размещенным внутри цилиндрического анода, при этом в цепь сетчатого анода или катода включен регистратор тока положительных ионов, а в цепь цилиндрического анода - регистратор тока отрицательных ионов

Введение сетчатого электрода (анода) позвол ет отделить электронную компоненту от компоненты отрицательных ионов при движении общего отрицательного зар да к цилиндрическому аноду путем воздействи  магнитного пол  на отрицательно зар женные частицы , имеющие одинаковую энергию, но разные массы. Поэтому величины токов, приход щих на разные электроды, дают возможность судить об общем давлении газа и парциальном давлении электроотрицательных газов .

На чертеже изображен предлагаемый вакуумметр-течеискатель .

Рабочее пространство газового разр да представл ет собой камеру между катодом I и сетчатым аноДом 2. За сетчатым анодом 2 расположен цилиндрический анод 3. Вс  система помещаетс  в корпус 4 и находитс  в

магнитном поле магнита 5. Электроды и корпус 4 выполнены из немагнитного материала. На катод 1 от источника питани  6 подаетс  отрицательное напр жение. Сетчатый анод 2 и цилиндрический анод 3 наход тс  под потенциалом земли. Ток в цеп х анодов 2 и 3 измер етс  с помощью регистраторов 7 и 8. Предлагаемый вакуумметр-течеискатель работает следующим образом. При попадании газовой смеси или газа в

пространство разр да между катодом 1 и

сетчатым анодом 2 образуютс  положительные ионы, отрицательные ионы (ели имеютс  газы, склонные к образованию отрицательных ионов) и электроны. Положительные ионы движутс  под действием электрического пол  к катоду 1 (на траекторию их движени  магнитное поле практически не действует) и создают в его цепи ток. Электроны и отрицательные ионы, движутс  к сетчатому аноду 2. На траекторию движени  отрицательных ионов магнитное поле тоже действует слабо, а траектори  движени  электронов под действием магнитного пол  искривл етс  значительно (имеет вид циклоиды). Часть этого общего потока отрицательно зар женных частиц , определ ема  проницаемостью сетчатого анода 2, попадает в пространство между сетчатым анодом 2 и цилиндрическим анодом 3. Так как в этом пространстве отсутствует электрическое поле, то электроны и отрицательные ионы движутс  с теми скорост ми , которые они приобрели между катодом 1 и сетчатым анодом 2. Под действием магнитного пол  электроны возвращаютс  на анод 2, а отрицательные ионы достигают цилиндрического анода 3. Таким образом, осуществл етс  разделение электронной компоненты от потока отрицательных ионов. Рассто ние h между сетчатым анодом 2 и цилиндрическим анодом 3 должно быть

2Um

Предмет изобретени 

Вакуумметр-течеискатель, содержащий манометрический преобразователь, состо щий

из цилиндрического анода и катода, которые размещены в магнитном пол.е, и электрическую схему--измерени  с регистратором тока положительных ионов, отличающийс  тем, что, с целью одновременного измерени 

парциального давлени  электроотрицательного газа и общего давлени  газа в системе, в нем преобразователь снабжен вторым анодом, выполненным в виде сетчатого цилиндра, размещенным внутри цилиндрического анода,

при этом в цепь сетчатого анода или катода включен регистратор тока положительных ионов, а в цепь цилиндрического анода - регистратор тока отрицательных ионов.

3

,1

где В-магнитна  индукци  (тл);

и - разность потенциалов, проходима  электроном при попадании в пространство сетка-анод (в); т - масса электрона (кг); е - зар д электрона (к). Измер   ток в цепи цилиндрического анода 3, можно судить о наличии в газовой смеси примеси электроотрицательного газа, о его парциальном давлении. Измер   ток в цепи катода и сетчатого анода 2, можно судить об общем давлении в системе. Вакуумметр-течеискатель может определ ть величину давлени  электроотрицательного газа и тогда, когда молекулы этого газа попали в рабочий объем извне, например, через течь.

14

с