SU396636A1 - Электрометр - Google Patents

Description

Изобретение относитс  « области электронной техники и может быть исиользавано дл  исследовани  микрораспределен-и  поверхностного электрического лотенциала и его кинети1ки .в лолуироводниках и диэлектриках. Известны электрометры, содержащие емкостиой лреОбразователь, усилитель переменного тока и демодул тор. Однако такие электрометры не обеспечивают требуемой стабильной разрешающей опособности , т. е. заданного числа отдельных измеренных линий на погонную единицу длины. Этот параметр весьма важен лри исследовании микрораспределени  электрического потенциала . Изменение разрешающей способности электрометра происходит вследствие изменени  рассто ни  между вибрирующим электродом и И сследуемой ловерхностью при перемещении образца относительно электрода или наоборот. При освещении это рассто ние еще можно контролировать , но когда исследовани  провод тс  в темноте, контроль рассто ни  становитс  весьма затруднительным, а иногда и невозможным из-за неравномерной толщины исследуемого образца. Цель изобретени  - увеличение разрещающей спосо-бности и иовыщение точности измерени . Цель достигаетс  путем введени  в предлагаемый электрометр соединенных между собой нелинейного усилител  с де.модул тором, дифференциального усилител  и исполнительного механизма, причем выход исполнительного механизма св зан с преобразующим электродом через электрометрический повторитель, выход которого лодключен к в.чоду нелинейного усилител  с демодул тором, а выход усилител  с демодул тором соединен с одним из входов дифференциального усилител . На чертеже приведена блок-схема предлагаемого электрометра. Исследуемый образец / помещают под преобразующий электрод 2 электрометра, который содержит также электрометрический ловторитель 3, усилитель 4 с демодул тором, регистрирующий лрибор 5, нелинейный усилитель 6 с демодул тором, дифференциальный усилитель 7, исполнительный механизм 8. Действует электрометр следующим образом . Над исследуемым образцом электрод 2 преобразует потенциал в леременную составл ющую тока, котора  повтор етс  электрометрическид ловторителем 3, усиливаетс  и демодулируетс  усилителем 4 и поступает на изолированную лодложку исследуемого образца 1, на регистрирующий прибор 5 и дифференциальный усилитель 7.

Про л, мет изобретени 

Электрометр дл  исследоваии  микрораслределений электрического потенциала, -содержащий преобразующий электрод, электрометрический иовторитель, усилитель с демодул тором и регистрируюигий лрибор, соедииеииые гаоследовательно, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  разрешающей сиособиости,

в иего введены соединеиные собой нелИИей .цый уси,читель с демодул тором, дифференциальный усилитель и исиолнительный механизм , иричем выход исполиительного механизма -св заи с преобразующим электродом через электрометрический повторитель, выход которого цюдключен -к входу нелинейного усилител , выход .которого соединен с одним из входов дифференциального усилител .