SU369502A1 - DEVICE FOR MEASUREMENT OF SPECIFIC RESISTANCE OF SEMICONDUCTOR MATERIAL - Google Patents

Description

1one

Изобретение относитс  к области измерительной техники.The invention relates to the field of measurement technology.

В известных устройствах дл  измерени  удельного сопротивлени  полупроводникового материала, геометрические размеры которых не сказываютс  на результатах измерений, автоматизаци  процесса измерений осуществл етс  за счет автоматического перемещени  измерительной головки вдоль слитка, отвода и прижима головки к слитку и регистрации результатов измерени . При этом ввод поправок на геометрию образца не производитс  или осуществл етс  вручную.In the known devices for measuring the resistivity of a semiconductor material, the geometrical dimensions of which do not affect the measurement results, the measurement process is automated by automatically moving the measuring head along the ingot, removing and clamping the head to the ingot and recording the measurement results. At the same time, the introduction of corrections for the sample geometry is not performed or carried out manually.

Дл  повышени  точности измерени  за счет введени  автоматизированной коррекции на геометрию образца предлагаемое устройство дополнительно снабжено датчиком линейного перемещени  измерительной головки (например реостатом), электрически св занным с функциональным преобразователем, выход которого подключен к корректирующей цепи стабилизатора тока.To improve the measurement accuracy by introducing an automated correction for the sample geometry, the proposed device is additionally equipped with a linear displacement sensor of the measuring head (for example, a rheostat) electrically connected with a functional converter, the output of which is connected to a current stabilizer correction circuit.

На чертеже представлена функциональна  схема описываемого устройства, состо щего из четырехзондовой головки Л стабилизатора 2 посто нного тока, цифрового вольтметра 3, блока управлени  4, механизма 5 перемещени  зондовой головки, реостатного датчика 6, функционального преобразовател  7, корректирующего звена 8 стабилизатора тока.The drawing shows a functional diagram of the described device consisting of a four-probe head L of a DC stabilizer 2, a digital voltmeter 3, a control unit 4, a probe 5 movement mechanism 5, a rheostat sensor 6, a function converter 7, a current stabilizer link 8.

Через токовые зонды 9 и 10 измерительной головки Л прижатой к исследуемому образцу 11, пропускаетс  посто нный ток от стабилизируемого источника 2. Напр жение, снимаеThrough the current probes 9 and 10 of the measuring head L pressed to the sample under study 11, a direct current is passed from the stabilized source 2. The voltage is removed

мое с потенциальных зондов 12 и 13, подаетс  на вход измерительного прибора (например цифрового вольтметра) 3. Блок управлени  4 с помощью механизма 5 отводит и прижимает зондовую головку к образцу и перемещает ееMy potential probes 12 and 13 are fed to the input of a measuring device (for example, a digital voltmeter) 3. The control unit 4 by means of mechanism 5 draws and presses the probe head to the sample and moves it

вдоль торца. Перемещение фиксируетс  реостатным или другим датчиком 6 линейного перемещени . Электрический сигнал, пропорциональный смещению зондовой головки от центра образца, поступает на вход функционального преобразовател  7, реализующего нелинейную зависимость поправочного коэффициента F от величины смещени  х.along the butt. The movement is detected by a rheostatic or other linear movement sensor 6. An electrical signal proportional to the displacement of the probe head from the center of the sample is fed to the input of the functional converter 7, which realizes the nonlinear dependence of the correction factor F on the magnitude of the displacements.

Вход функционального преобразовател  св зан с корректирующим звеном 8 стабилизатора 2, которое устанавливает величину тока через токовые зонды дл  получени  непосредственного отсчета величины Здельного сопротивлени , т. е. .The input of the functional converter is connected to the correction link 8 of the stabilizer 2, which sets the amount of current through the current probes to obtain a direct reading of the building resistance value, i.e..

2525

Предмет изобретени Subject invention

Устройство дл  измерени  з дельного сопротивлени  полупроводникового материала, содержащее четырехзондовую измерительную го30 ловку, механизм перемещени  ее с блоком управлени , стабилизатор посто иного тока и цифровой вольтметр, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерени , оно снабжено датчиком линейного перемещени  измерительной головки (например реостатом), электрически св занным с функциональным преобразователем, выход которого подключен к корректирующей цепи стабилизатора тока.A device for measuring the resistivity of a semiconductor material, containing a four-probe measuring head, its movement mechanism with a control unit, a direct current stabilizer, and a digital voltmeter, characterized in that it is equipped with a sensor for linear movement of the measuring head (for example, a rheostat) electrically connected to a functional converter, the output of which is connected to a current stabilizer correction circuit.