SU362263A1 - ALL-UNION ' - Google Patents

Description

1one

Изобретение относитс  к области электрических измерений параметров полупроводниковых приборов.The invention relates to the field of electrical measurements of semiconductor devices.

Известен способ измерени  производной нелинейной емкости по напр жению, согласно которому исследуемую емкость включают в контур автогенератора, подают на него внешнее модулирующее напр жение и измер ют изменение частоты относительно неизменной собственной частоты автогенератора, которое пропорционально производной нелинейной емкости по напр жению.A known method for measuring the derivative of a nonlinear capacitance with respect to voltage, according to which the capacitance under investigation is included in the circuit of the oscillator, an external modulating voltage is applied to it and the frequency change is measured relative to the constant oscillator frequency of the oscillator, which is proportional to the derived nonlinear capacitance with respect to voltage.

Однако этот способ не обеспечивает возможности проведени  массовых испытаний приборов, так как при подключении разных исследуемых приборов необходимо перестраивать емкость в контуре автогенератора. Кроме того, при измерении производной нелинейной емкости ло напр жению данным способом не наблюдаетс  пр мо пропорциональной зависимости величины выходного сигнала от значени  производной, что вносит дополнительную погрешность в измерени  за счет сложности градуировки выходного индикатора.However, this method does not provide the possibility of conducting mass tests of devices, since when connecting different devices under study, it is necessary to rebuild the capacitance in the circuit of the oscillator. In addition, when measuring the derivative of a nonlinear capacitance with this method, there is no directly proportional dependence of the output signal value on the derivative value, which introduces additional error in the measurements due to the graduation complexity of the output indicator.

По предлагаемому способу дл  повышени  точности и обеспечени  возможности проведени  массовых измерений нар ду с посто нным напр жением смещени  на исследуемую емкость подают низкочастотное напр жение пр моугольной формы, и последующим двукратным детектированием выдел ют посто нное напр жение, пр мопропорциональное величине производной нелинейной емкости по напр жению исследуемого прибора. Описываемый способ может быть осуществлен с помощью устройства, приведенного на чертеже.According to the proposed method, in order to increase the accuracy and enable mass measurements along with a constant bias voltage, a low-frequency square-shaped voltage is applied to the capacitance under investigation, and a subsequent voltage is detected that is proportional to the magnitude of the non-linear capacitance derived from the voltage. the device under study. The described method can be carried out using the device shown in the drawing.

Устройство cocTOHJ из генератора /, датчика 2, генератора 3, усилител  4, первого детектора 5, второго детектора 6, измерительного прибора 7, резистора 8 и клемм 9 дл  под ключени  исследуемого прибора.The cocTOHJ device from generator /, sensor 2, generator 3, amplifier 4, first detector 5, second detector 6, measuring device 7, resistor 8 and terminals 9 for switching the device under study.

При измерении производной нелинейнойWhen measuring the derivative of a nonlinear

емкости по напр жению на исследуемый прибор подаетс  посто нное напр жение от датчика 2, высокочастотное напр жение синусоидальной формы от генератора 3 и напр жение пр моугольной формы от генератора /.The capacitance on the device under study is supplied with a constant voltage from sensor 2, a high-frequency voltage of sinusoidal form from generator 3 and a voltage of rectangular form from generator.

Частота импульсов пр моугольной формы выбираетс  на два или более пор дков меньше частоты генератора 3. На резисторе 8 выдел етс  модулированное высокочастотное напр жение . Полученное напр жение успливаетс  усилителем и детектируетс  детектором 5. На выходе детектора 6 возникает посто нное напр жение, 1ПрЯ|М|01Пр01ПОрцИ0,нальное ДС. П.рИ известной величине амплитуды низкочастотного напр жени  AL от генератора 1 измерительный прибор 7 градуируетс  в единицахThe frequency of the square-wave pulses is selected by two or more orders less than the frequency of the generator 3. On the resistor 8, the modulated high-frequency voltage is extracted. The voltage obtained is amplified by the amplifier and detected by detector 5. At the output of detector 6, a constant voltage arises, RR | M | 01Rr01Rr0, 0, DC. The PI of the known magnitude of the low-frequency voltage amplitude AL from the generator 1, the measuring device 7 is graduated in units

величины производной нелинейной емкости по напр жению.magnitude of the derivative of nonlinear capacity with respect to voltage.

На данном участке может производитс  измерение емкости исследуемого прибора путем отключени  генератора / и подключени  измерительного прибора 7 на выходе детектора 5.In this area, the capacitance of the device under study can be measured by disconnecting the generator / and connecting the measuring device 7 at the output of the detector 5.

Предмет изобретени Subject invention

Способ измерени  производной нелинейной емкости р-п перехода по напр жению путемThe method of measuring the derivative of the nonlinear capacitance of the pn junction by voltage

подачи на исследуемый прибор высокочастотного синусоидального напр жени  малой амплитуды, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности и обеспечени  возможности массовых измерений, нар ду с посто нным напр жением смещени  на исследуемый прибор подают низкочастотное напр жение пр моугольной формы и последующим двукратным детектированием выдел ют посто нное напр жение, пр мопропорциональное величине производной нелинейной емкости по напр жению исследуемого прибора.supplying a high-frequency sinusoidal voltage of small amplitude to the device under investigation, characterized in that, in order to increase the accuracy and ensure the possibility of mass measurements, along with a constant bias voltage, low-frequency rectangular voltage is applied to the device under study and the subsequent two-fold detection constant voltage, proportional to the magnitude of the derivative of the nonlinear capacitance of the voltage of the device under study.