SU351929A1 - THE METHOD OF OBTAINING COATINGS THROUGH EVAPORATION IN A VACUUMEAT ^^. ^^ - ':? RV', 'b ^ i ^ v ^^ *' ^] :: '^; -. - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий путем испарени  материалов в вакууме , в частности к способам нанесени  покрытий на выпуклые поверхности сферических и полусферических деталей.The invention relates to the field of coating by evaporating materials in vacuum, in particular, to methods of coating the convex surfaces of spherical and hemispherical parts.

Известен способ нанесени  покрытий путем испарени  в вакууме на вращагоищес  сферические поверхности. Однако этот способ св за; с целым р дом технологических и конструктивных трудностей.There is a known method of coating by evaporation in vacuum on rotary spherical surfaces. However, this method is due to; with a number of technological and design difficulties.

Предлагаемый способ повышает равномерность наносимых покрытий. Это достигаетс  тем, что источник испарени  располагают от нормали, проход щей через его центр, на рассто нии , равном 2-2,5 диаметра сферы (полусферы ), от оси, параллельной нормали и проход щей через центр сферы (полусферы) в точ.ке, удаленной на 2,5-3 диаметра от центра сферы (полусферы), и процесс ведут при вращении полусферы вокруг оси параллельной нормали, а сферы - вокруг двух взаимно перпендикул рных осей, одна из которых параллельна нормали.The proposed method improves the uniformity of the applied coatings. This is achieved by having the evaporation source positioned from the normal passing through its center at a distance of 2-2.5 times the diameter of the sphere (hemisphere), from the axis parallel to the normal and passing through the center of the sphere (hemisphere) to the point. Ke, a distance of 2.5-3 diameters from the center of the sphere (hemispheres), and the process is carried out when the hemisphere rotates around an axis parallel to the normal, and the sphere around two mutually perpendicular axes, one of which is parallel to the normal.

Равномерные покрыти  на сферических или полусферических поверхност х получают путем испарени  материалов в вакууме при расположении источника испарени  на нормали, проход щей через его центр на рассто нии, равном 2-2,5 диаметра сферы (полусферы).Uniform coatings on spherical or hemispherical surfaces are obtained by evaporating materials in a vacuum while the evaporation source is located on a normal passing through its center at a distance of 2-2.5 times the diameter of the sphere (hemisphere).

от оси, параллельной нормали и проход щей через центр сферы (полусферы) в точке, удаленной на 2,5-3 диаметра от центра покрываемой сферы (полусферы), при вращении последней , причем, полус(|)еру вращают вокруг оси, параллельной иормали, и сферу вокруг двух взаимно перпендикул рных осей, одна 1з которых параллельна нормали.from the axis parallel to the normal and passing through the center of the sphere (hemisphere) at a point at a distance of 2.5-3 diameters from the center of the covered sphere (hemisphere), while rotating the latter, moreover, the half-body (|) of rotation rotate around the axis parallel to , and a sphere around two mutually perpendicular axes, one of which is parallel to the normal.

При осуществлении способа может быть использован любой тип испарительного устройства . Полусферу располагают так, чтобы ось, проход ща  через центр полусферы и ее вершину , была параллельна нормали к поверхпостному источнику испарени . Центр источника испарени  располагают на рассто нии от указанной оси, равном 2-2,5 диаметра и рассто ние / 2,5-3 диаметра от центра сферы. Полусферу вращают вокруг оси, проход щеWhen implementing the method can be used any type of evaporative device. The hemisphere is positioned so that the axis, passing through the center of the hemisphere and its top, is parallel to the normal to the surface-evaporation source. The center of the evaporation source is located at a distance from the specified axis equal to 2-2.5 diameters and a distance / 2.5-3 diameters from the center of the sphere. The hemisphere is rotated around an axis

через ее центр вершину. Дл  напылени  покрытий на сферу расположен 1е источника испарени  не измен ют, но в процессе наиылеии  сферу вращают вокруг еще одной помимо вышеуказанной дл  вращени  полусферы, дополнительной оси, лежащей в плоскости, перпендикул рной нормали к поверхностпому источнику . 3 Предмет изобретени  Способ получени  покрытий путем испареНИИ в вакууме на вращающихс  сферических или полусферических выпуклых поверхност х, отличающийс  тем, что, с целью повышени  равномерности покрытий, источник испарени  располагают .на нормали, проход щей через его центр, на рассто нии, ра.вном 2-2,5 диа4 метра сферы (.полусферы), от оси, параллельной нормали и проход щей через центр сферы (полусферы) в точке, удаленной на 2,5-3 диаметра от центра сферы (полусферы), и процесс осуществл ют при полусферы вокруг оси параллельной нормали, а сферы -вокруг двух взаимно перпендикул рных осей, .одна из которых параллельна нормали.through its center top. For evaporation of coatings onto the sphere, the 1st evaporation source is not altered, but in the process of loosening, the sphere is rotated around yet another for the hemisphere, an additional axis lying in a plane, perpendicular to the normal to the surface source. 3 The subject of the invention. A method of producing coatings by evaporating in vacuum on rotating spherical or hemispherical convex surfaces, characterized in that, in order to improve the uniformity of coatings, the evaporation source is located in the normal passing through its center, at a distance of 2-2.5 diameters of the sphere (. Hemispheres) from the axis parallel to the normal and passing through the center of the sphere (hemispheres) at a point 2.5-3 times the diameter from the center of the sphere (hemispheres), and the process is carried out hemispheres around the axis of parallel normal, and the spheres are around two mutually perpendicular axes, one of which is parallel to the normal.