SU270432A1 - DEVICE FOR EVAPORATING MATERIALS IN VACUUM - Google Patents
DEVICE FOR EVAPORATING MATERIALS IN VACUUMInfo
- Publication number
- SU270432A1 SU270432A1 SU1288209A SU1288209A SU270432A1 SU 270432 A1 SU270432 A1 SU 270432A1 SU 1288209 A SU1288209 A SU 1288209A SU 1288209 A SU1288209 A SU 1288209A SU 270432 A1 SU270432 A1 SU 270432A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vacuum
- materials
- evaporating materials
- screen
- gases
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Изобретение относитс к вакуумному нанесению различных материалов, в частности к устройствам дл испарени материалов при вакуумном нанесении тонких пленок, покрытий и т. п.The invention relates to the vacuum deposition of various materials, in particular, to devices for the evaporation of materials during vacuum deposition of thin films, coatings, etc.
Известны устройства дл испарени материалов в вакууме, содержащие обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилиндрическим терморадизционным экраном . Однако использование известных устройств приводит к значительному ухудшению вакуума в камере за счет газовыделени из нагреваемых деталей.Apparatuses for evaporating materials in vacuum are known, which contain a heated crucible surrounded by a coaxially arranged cylindrical thermoradiation screen. However, the use of known devices leads to a significant deterioration of the vacuum in the chamber due to the gassing of the heated parts.
Предложенное устройство позвол ет блокировать газовыделеиие из нагреваемых деталей, тем самым не измен вакуума в камере. Это достигаетс тем, что экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выдел ющихс газов, и в верхней части снабжен диафрагмой.The proposed device allows blocking gas emission from heated parts, thereby not changing the vacuum in the chamber. This is achieved by the fact that the screen is made in the form of a set of removable cylinders made of materials that capture the evolved gases, and is provided with a diaphragm in the upper part.
На чертеже изображено предложенное устройство .The drawing shows the proposed device.
Тигель / дл испар емого материала снабжен нагревателем 2 и окружен коаксиально расположенным экраном 3, выполненным в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеснечивающих улавливание выдел ющихс газов. В верхней части расположена диафрагма .The crucible / for the evaporated material is provided with a heater 2 and is surrounded by a coaxially arranged screen 3, made in the form of a set of removable cylinders made of materials that trap the evolved gases. At the top is the diaphragm.
Набор съемных цилиндров, служ.ащий дл локального улавливани газов, может представл ть собой, например, геттерную, геттерно-ионную , криогенную, цеолитовую или другую откачную систему.A set of removable cylinders, which serves to locally trap gases, may be, for example, a getter, getter-ion, cryogenic, zeolite, or other pumping system.
При работе устройства набор цилиндров может быть заранее охлажден, например, в жидком азоте. Несмотр на ограниченную теплоемкость последнего эта операци целесообразна , так как основна масса газов выдел етс в течение первых 2-3 мин работы испарительного устройства. После закладки испар емого материала в тигель устанавливают предварительно охлажденныГ набор цилиндров и,When operating the set of cylinders can be pre-cooled, for example, in liquid nitrogen. In spite of the limited heat capacity of the latter, this operation is expedient, since the bulk of the gases is released during the first 2-3 minutes of operation of the evaporator. After laying the evaporated material, a set of cylinders is pre-cooled in the crucible and,
диафрагму. Далее осуществл ют откачку камеры до высокого вакуума, при котором набор цилиндров сохран ет евою температуру достаточно долго. При нагреве испар емого материала диафрагма способствует локализацииaperture. Next, the chamber is pumped to high vacuum, at which a set of cylinders maintains its temperature for a fairly long time. When heated, the vaporized material aperture contributes to the localization
выдел ющихс из нагретых деталей газов, которые сорбируютс внутренней поверхностью экрана.gases released from the heated parts that are sorbed by the inner surface of the screen.
25Предмет изобретени 25 of the invention
Устройство дл испарени материалов в вакууме , содержащее обогреваемый тигель, окруженный коакеиально расположенным цилин30 дрическим экраном, отличающеес тем, что, сA device for evaporating materials in vacuum containing a heated crucible surrounded by a coaxial cylindrical screen, characterized in that
целью блокировани газовыделени из нагреваемых деталей, экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выдел ющихс газов, и в Верхней части снабжен диафрагмой.the purpose of blocking gas evolution from heated parts, the screen is made in the form of a set of removable cylinders made of materials that capture the released gases, and in the upper part it is equipped with a diaphragm.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1288209A SU270432A1 (en) | 1968-12-08 | 1968-12-08 | DEVICE FOR EVAPORATING MATERIALS IN VACUUM |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1288209A SU270432A1 (en) | 1968-12-08 | 1968-12-08 | DEVICE FOR EVAPORATING MATERIALS IN VACUUM |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864149563A Addition SU1390261A2 (en) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | Device for preventing warp-ups on a roll of installation for treating chemical fibre |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU270432A1 true SU270432A1 (en) | 1970-05-08 |
Family
ID=39156138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1288209A SU270432A1 (en) | 1968-12-08 | 1968-12-08 | DEVICE FOR EVAPORATING MATERIALS IN VACUUM |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU270432A1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1986000092A1 (en) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporator for vacuum deposition of films |
RU2530073C1 (en) * | 2013-09-23 | 2014-10-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт лазерной физики Сибирского отделения Российской академии наук | Metal vacuum arc evaporator |
-
1968
- 1968-12-08 SU SU1288209A patent/SU270432A1/en active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1986000092A1 (en) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporator for vacuum deposition of films |
GB2172015A (en) * | 1984-06-12 | 1986-09-10 | Ki Polt I | Evaporator for vacuum deposition of films |
US4700660A (en) * | 1984-06-12 | 1987-10-20 | Kievsky Politekhnichesky Institut | Evaporator for depositing films in a vacuum |
AT387239B (en) * | 1984-06-12 | 1988-12-27 | Ki Polt I | EVAPORATOR FOR APPLYING THICK FILMS BY VACUUM VACUUM |
RU2530073C1 (en) * | 2013-09-23 | 2014-10-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт лазерной физики Сибирского отделения Российской академии наук | Metal vacuum arc evaporator |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5354433A (en) | Method for producing a flow of triisobutylaluminum from liquid triisobutylaluminum containing isobutene | |
US3110156A (en) | Insulation of containers for the storage of liquids which boil at atmospheric or slightly superatmospheric pressure | |
RU2010125813A (en) | VACUUM PROCESSING DEVICE | |
US1970956A (en) | Method of desiccating liquids and semisolids | |
ES8604346A1 (en) | Method of drying a solid and device therefor. | |
SU270432A1 (en) | DEVICE FOR EVAPORATING MATERIALS IN VACUUM | |
US3385420A (en) | Getter devices | |
GB929748A (en) | Apparatus for performing fractional distillation in a vacuum | |
US2885997A (en) | Vacuum coating | |
US3281954A (en) | Freeze-drying apparatus | |
US3228756A (en) | Method of growing single crystal silicon carbide | |
US3447333A (en) | Helium film refrigerator | |
US4159737A (en) | Heat pipe | |
Herzfeld | On the speed of sublimation and condensation | |
US2818656A (en) | Process of separating volatile components from less volatile components by distillation or sublimation at a low pressure | |
US2465793A (en) | Freezing trap for vacuum systems | |
JP3773587B2 (en) | Purification method for organic compound monomers | |
JPS58197270A (en) | Crucible for evaporating source | |
ES419169A1 (en) | Gettering devices | |
US3308551A (en) | Freeze-drying apparatus and method | |
SU367755A1 (en) | Arc evaporator metals | |
GB931965A (en) | Process and means for defrosting absorption refrigerators | |
SU129338A1 (en) | The method of obtaining semiconductor materials containing several volatile components | |
USRE17045E (en) | of oslo | |
US2735659A (en) | Condenser for |