SU270432A1 - DEVICE FOR EVAPORATING MATERIALS IN VACUUM - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к вакуумному нанесению различных материалов, в частности к устройствам дл  испарени  материалов при вакуумном нанесении тонких пленок, покрытий и т. п.The invention relates to the vacuum deposition of various materials, in particular, to devices for the evaporation of materials during vacuum deposition of thin films, coatings, etc.

Известны устройства дл  испарени  материалов в вакууме, содержащие обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилиндрическим терморадизционным экраном . Однако использование известных устройств приводит к значительному ухудшению вакуума в камере за счет газовыделени  из нагреваемых деталей.Apparatuses for evaporating materials in vacuum are known, which contain a heated crucible surrounded by a coaxially arranged cylindrical thermoradiation screen. However, the use of known devices leads to a significant deterioration of the vacuum in the chamber due to the gassing of the heated parts.

Предложенное устройство позвол ет блокировать газовыделеиие из нагреваемых деталей, тем самым не измен   вакуума в камере. Это достигаетс  тем, что экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выдел ющихс  газов, и в верхней части снабжен диафрагмой.The proposed device allows blocking gas emission from heated parts, thereby not changing the vacuum in the chamber. This is achieved by the fact that the screen is made in the form of a set of removable cylinders made of materials that capture the evolved gases, and is provided with a diaphragm in the upper part.

На чертеже изображено предложенное устройство .The drawing shows the proposed device.

Тигель / дл  испар емого материала снабжен нагревателем 2 и окружен коаксиально расположенным экраном 3, выполненным в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеснечивающих улавливание выдел ющихс  газов. В верхней части расположена диафрагма .The crucible / for the evaporated material is provided with a heater 2 and is surrounded by a coaxially arranged screen 3, made in the form of a set of removable cylinders made of materials that trap the evolved gases. At the top is the diaphragm.

Набор съемных цилиндров, служ.ащий дл  локального улавливани  газов, может представл ть собой, например, геттерную, геттерно-ионную , криогенную, цеолитовую или другую откачную систему.A set of removable cylinders, which serves to locally trap gases, may be, for example, a getter, getter-ion, cryogenic, zeolite, or other pumping system.

При работе устройства набор цилиндров может быть заранее охлажден, например, в жидком азоте. Несмотр  на ограниченную теплоемкость последнего эта операци  целесообразна , так как основна  масса газов выдел етс  в течение первых 2-3 мин работы испарительного устройства. После закладки испар емого материала в тигель устанавливают предварительно охлажденныГ набор цилиндров и,When operating the set of cylinders can be pre-cooled, for example, in liquid nitrogen. In spite of the limited heat capacity of the latter, this operation is expedient, since the bulk of the gases is released during the first 2-3 minutes of operation of the evaporator. After laying the evaporated material, a set of cylinders is pre-cooled in the crucible and,

диафрагму. Далее осуществл ют откачку камеры до высокого вакуума, при котором набор цилиндров сохран ет евою температуру достаточно долго. При нагреве испар емого материала диафрагма способствует локализацииaperture. Next, the chamber is pumped to high vacuum, at which a set of cylinders maintains its temperature for a fairly long time. When heated, the vaporized material aperture contributes to the localization

выдел ющихс  из нагретых деталей газов, которые сорбируютс  внутренней поверхностью экрана.gases released from the heated parts that are sorbed by the inner surface of the screen.

25Предмет изобретени 25 of the invention

Устройство дл  испарени  материалов в вакууме , содержащее обогреваемый тигель, окруженный коакеиально расположенным цилин30 дрическим экраном, отличающеес  тем, что, сA device for evaporating materials in vacuum containing a heated crucible surrounded by a coaxial cylindrical screen, characterized in that

целью блокировани  газовыделени  из нагреваемых деталей, экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выдел ющихс  газов, и в Верхней части снабжен диафрагмой.the purpose of blocking gas evolution from heated parts, the screen is made in the form of a set of removable cylinders made of materials that capture the released gases, and in the upper part it is equipped with a diaphragm.