SU1755103A1 - Способ получени образца кремни с косым шлифом - Google Patents
Способ получени образца кремни с косым шлифом Download PDFInfo
- Publication number
- SU1755103A1 SU1755103A1 SU914899493A SU4899493A SU1755103A1 SU 1755103 A1 SU1755103 A1 SU 1755103A1 SU 914899493 A SU914899493 A SU 914899493A SU 4899493 A SU4899493 A SU 4899493A SU 1755103 A1 SU1755103 A1 SU 1755103A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- sample
- etching
- cathode
- making
- oblique
- Prior art date
Links
Landscapes
- Weting (AREA)
Abstract
Использование: технологи препарировани образцов в микроэлектронике. Сущность изобретени : защищают одну плоскость образца химически инертным материалом . Размещают образец в электролитической ванне параллельно линейному катоду. Провод т анодное травление образца . Врем травлени определ ют из соотношени требуемого угла косого шлифа и размеров образца. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к микроэлектронике , а более конкретно к технологии препарировани образцов, и может быть использовано дл контрол параметров полупроводниковых материалов.
Известен способ получени образца с косым шлифом, включающий механическую шлифовку препарируемого образца под малым углом, К недостаткам данного способа относитс значительна шероховатость поверхности приготовл емого шлифа.
Наиболее близким к предлагаемому вл етс способ лолучени образца с косым шлифом, включающий постепенное погружение его в трав щий раствор.
Недостатком этого способа вл етс недостаточна линейность поверхности шлифа , св занна с неодинаковой смачиваемостью различных участков образца и колебани ми скорости перемещени границы травител по поверхности материала .
Целью изобретени вл етс улучшение качества поверхности и равномерности профил косого шлифа.
Указанна цель достигаетс тем, что в способе получени образца кремни с косым шлифом, включающем воздействие на его поверхность трав щим раствором, образец помещают в электролитическую ванну, снабженную линейным катодом, располагают катод в плоскости поверхности образца параллельно одной из его граней на некотором рассто нии, после чего удал ют материал образца методом электрохимического анодного растворени , при этом угол W получаемого косого шлифа определ ют из соотношени
Vl
сл ел
о
СлЭ
W
arctgJ -,
где t - врем травлени ;
К - электрохимический эквивалент;
R - рассто ние от кра образца до катода;
L- длина образца;
W - угол наклона косого шлифа.
На чертеже представлено поперечное сечение устройства, реализующего предлагаемый способ.
Устройство содержит электролитическую ванну 1 с линейным катодом 2 и держа- тель образца 3, снабженный тыловым контактом 4 и уплотнителем 5.
Устройство работает следующим образом .
Держатель с образцом б помещают в ванну, заполненную электролитом 7 дл анодного травлени , после чего линейный катод ориентируют таким образом, чтобы он лежал в плоскости поверхности образца параллельно одной из его граней на некотором рассто нии. Затем устройство подключают к источнику питани и трав т поверхность образца до получени шлифа с необходимой геометрией.
В пренебрежении относительно малыми изменени ми геометрии системы при травлении, не выход щими за пределы 0,1%, угол получаемого шлифа св зан с параметрами системы соотношением.
0
5
0
Эксперименты показали, что предлагаемый способ позвол ет получать образцы кремни с косым шлифом, имеющие поверхность высокого качества, при этом отклоне- ние формы шлифа от линейной не превышает 0,5%,
Claims (1)
- Формула изобретени Способ получени образца кремни с косым шли,фом, включающий травление поверхности образца, отличающийс тем, что, с целью улучшени качества поверхности и равномерности профил косого шлифа, защищают одну плоскость образца химически стойким материалом, помещают образец в электрическую ванну с линейным катодом так, чтобы открыта плоскость образца была параллельна катоду, провод т анодное травление образца, причем врем травлени t определ ют из соотношени :R +LК -tg Wгде R - рассто ние от кра образца до като- да;L- длина образца;К - электрохимический эквивалент;W - угол наклона косого шлифа.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914899493A SU1755103A1 (ru) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | Способ получени образца кремни с косым шлифом |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914899493A SU1755103A1 (ru) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | Способ получени образца кремни с косым шлифом |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1755103A1 true SU1755103A1 (ru) | 1992-08-15 |
Family
ID=21553843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU914899493A SU1755103A1 (ru) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | Способ получени образца кремни с косым шлифом |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1755103A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU175485U1 (ru) * | 2017-06-13 | 2017-12-06 | Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" | Устройство для изготовления косого шлифа |
RU2698004C1 (ru) * | 2016-02-18 | 2019-08-21 | Ниппон Стил Корпорейшн | Устройство для электролитического травления и растворения и способ для экстракции частиц металлического соединения |
-
1991
- 1991-01-08 SU SU914899493A patent/SU1755103A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
А.И, Курносое и др. Технологи производства полупроводниковых приборов. М.: Высша школа, 1974, с.170. Авторское свидетельство СССР №994959, кл. G 01 N 1/32, 1981. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2698004C1 (ru) * | 2016-02-18 | 2019-08-21 | Ниппон Стил Корпорейшн | Устройство для электролитического травления и растворения и способ для экстракции частиц металлического соединения |
US11111595B2 (en) | 2016-02-18 | 2021-09-07 | Nippon Steel Corporation | Apparatus for electrolytic etching and dissolution and method for extracting metal compound particles |
RU175485U1 (ru) * | 2017-06-13 | 2017-12-06 | Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" | Устройство для изготовления косого шлифа |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2457912A1 (fr) | Procede d'electro-deposition d'un metal sur un substrat | |
Sugimoto et al. | Microscopic Ellipsometric Observation of the Change in Passive Film on 18Cr‐8Ni Stainless Steel with the Initiation and Growth of Pit | |
SU1755103A1 (ru) | Способ получени образца кремни с косым шлифом | |
Kestel | Polishing methods for metallic and ceramic transmission electron microscopy specimens: Revision 1 | |
Farmer et al. | The experimental production of small tensile specimens by electrolytic solution (electro-turning) | |
KR100371310B1 (ko) | 전류밀도 제어를 이용한 전해가공방법 | |
RU1775507C (ru) | Способ микродугового оксидировани алюминиевых сплавов | |
SU805116A1 (ru) | Способ определени износа режущегоиНСТРуМЕНТА | |
SU926084A1 (ru) | Способ анодировани металлов и их сплавов | |
JPH07138793A (ja) | 酸化物薄膜の製造方法 | |
Venkataraman et al. | A method for rapid electropolishing of metals for optical metallography | |
Irgolič et al. | Microstructural characterization of laser cladded AISI 316 stainless steel on a carbon steel substrate | |
Eisenberg et al. | Anodic polarization of titanium in nonaqueous base etching solutions | |
SU1260821A1 (ru) | Способ контрол качества электрохимической обработки поверхности электрода | |
RU1800309C (ru) | Способ подготовки образца кремни дл определени дефектности структуры | |
SU1098736A1 (ru) | Способ электрохимической обработки | |
RU2110624C1 (ru) | Способ получения оксидных пленок на алюминии и его сплавах | |
JPH06128800A (ja) | 走査型顕微鏡用金属探針の製造方法 | |
SU485889A1 (ru) | Способ изготовлени клиньев-датчиков | |
SU1362577A1 (ru) | Способ электроэрозионного нанесени покрытий | |
SU1015004A1 (ru) | Способ электрохимического полировани серебра | |
SU1646730A1 (ru) | Способ управлени процессом электрохимической обработки | |
SU670607A1 (ru) | Раствор дл электрополировани металлов | |
SU831476A1 (ru) | Устройство дл электрохимическойОбРАбОТКи шЕСТЕРЕН | |
JPS61152022A (ja) | 丸形シリコンダイアフラムの製造方法 |