SU1755103A1 - Способ получени образца кремни с косым шлифом - Google Patents

Abstract

Использование: технологи  препарировани  образцов в микроэлектронике. Сущность изобретени : защищают одну плоскость образца химически инертным материалом . Размещают образец в электролитической ванне параллельно линейному катоду. Провод т анодное травление образца . Врем  травлени  определ ют из соотношени  требуемого угла косого шлифа и размеров образца. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к микроэлектронике , а более конкретно к технологии препарировани  образцов, и может быть использовано дл  контрол  параметров полупроводниковых материалов.

Известен способ получени  образца с косым шлифом, включающий механическую шлифовку препарируемого образца под малым углом, К недостаткам данного способа относитс  значительна  шероховатость поверхности приготовл емого шлифа.

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  способ лолучени  образца с косым шлифом, включающий постепенное погружение его в трав щий раствор.

Недостатком этого способа  вл етс  недостаточна  линейность поверхности шлифа , св занна  с неодинаковой смачиваемостью различных участков образца и колебани ми скорости перемещени  границы травител  по поверхности материала .

Целью изобретени   вл етс  улучшение качества поверхности и равномерности профил  косого шлифа.

Указанна  цель достигаетс  тем, что в способе получени  образца кремни  с косым шлифом, включающем воздействие на его поверхность трав щим раствором, образец помещают в электролитическую ванну, снабженную линейным катодом, располагают катод в плоскости поверхности образца параллельно одной из его граней на некотором рассто нии, после чего удал ют материал образца методом электрохимического анодного растворени , при этом угол W получаемого косого шлифа определ ют из соотношени 

Vl

сл ел

о

СлЭ

W

arctgJ -,

где t - врем  травлени ;

К - электрохимический эквивалент;

R - рассто ние от кра  образца до катода;

L- длина образца;

W - угол наклона косого шлифа.

На чертеже представлено поперечное сечение устройства, реализующего предлагаемый способ.

Устройство содержит электролитическую ванну 1 с линейным катодом 2 и держа- тель образца 3, снабженный тыловым контактом 4 и уплотнителем 5.

Устройство работает следующим образом .

Держатель с образцом б помещают в ванну, заполненную электролитом 7 дл  анодного травлени , после чего линейный катод ориентируют таким образом, чтобы он лежал в плоскости поверхности образца параллельно одной из его граней на некотором рассто нии. Затем устройство подключают к источнику питани  и трав т поверхность образца до получени  шлифа с необходимой геометрией.

В пренебрежении относительно малыми изменени ми геометрии системы при травлении, не выход щими за пределы 0,1%, угол получаемого шлифа св зан с параметрами системы соотношением.

0

5

0

Эксперименты показали, что предлагаемый способ позвол ет получать образцы кремни  с косым шлифом, имеющие поверхность высокого качества, при этом отклоне- ние формы шлифа от линейной не превышает 0,5%,

Claims (1)

1. Формула изобретени  Способ получени  образца кремни  с косым шли,фом, включающий травление поверхности образца, отличающийс  тем, что, с целью улучшени  качества поверхности и равномерности профил  косого шлифа, защищают одну плоскость образца химически стойким материалом, помещают образец в электрическую ванну с линейным катодом так, чтобы открыта  плоскость образца была параллельна катоду, провод т анодное травление образца, причем врем  травлени  t определ ют из соотношени :

   R +L

   К -tg W

   где R - рассто ние от кра  образца до като- да;

   L- длина образца;

   К - электрохимический эквивалент;

   W - угол наклона косого шлифа.