SU1730531A1 - Two-axis displacement meter - Google Patents
Two-axis displacement meter Download PDFInfo
- Publication number
- SU1730531A1 SU1730531A1 SU874207990A SU4207990A SU1730531A1 SU 1730531 A1 SU1730531 A1 SU 1730531A1 SU 874207990 A SU874207990 A SU 874207990A SU 4207990 A SU4207990 A SU 4207990A SU 1730531 A1 SU1730531 A1 SU 1730531A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- coating
- beam splitter
- angle
- reflectors
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к измерению линейных перемещений по двум координатам. Цель изобретени - повышение точности измерени линейных перемещений. Это достигаетс за счет повышени стабильности интерференционной картины. Пучок света от лазера расшир етс телескопической системой и делитс на два пучка, которые направл ютс на вход двух интерферометров, измер ющих перемещени в ортогональных направлени х. Подвижные отражатели в каждом интерферометре выполнены в виде двух крышеобразных зеркал, а другие отражатели в каждом интерферометре выполнены в виде единого блока, имеющего форму пр моугольного параллелепипеда, на одну из граней которого, располагаемую под углом 45° к направлению измер емого перемещени , нанесено полупрозрачное покрытие на половину ширины ее поверхности , а на параллельную ей грань - зеркальное покрытие на 3/4 ширины ее поверхности, и с отношением сторон равным 2tgi, где I - угол преломлени луча на грани с полупрозрачным покрытием. На выходах каждого интерферометра установлены цилиндрические линзы, формирующие интерференционные отрезки на диафрагмах перед фотоприемниками. 1 ил. 4W1 ёThe invention relates to a measurement technique, namely to measuring linear displacements in two coordinates. The purpose of the invention is to improve the accuracy of measuring linear displacements. This is achieved by increasing the stability of the interference pattern. The beam of light from the laser is expanded by a telescopic system and is divided into two beams, which are directed to the input of two interferometers that measure movements in orthogonal directions. The movable reflectors in each interferometer are made in the form of two roof-shaped mirrors, and the other reflectors in each interferometer are made in the form of a single unit, having the shape of a rectangular parallelepiped, on one of the faces of which is located at an angle of 45 ° amp; to the direction of the measured displacement, a semitransparent coating is applied at half the width of its surface, and a parallel coating at it is a mirror coating at 3/4 the width of its surface, and with an aspect ratio of 2tgi, where I is the angle of refraction of the beam on the face with a translucent coating. At the outputs of each interferometer, cylindrical lenses are mounted, forming interference segments on the diaphragms in front of the photodetectors. 1 il. 4W1 g
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к измерению линейных перемещений.The invention relates to a measurement technique, in particular to the measurement of linear displacements.
Цель изобретени - повышение точности измерени за счет повышени стабильности интерференционной картины.The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy by increasing the stability of the interference pattern.
На чертеже изображена принципиальна схема двухкоординатного измерител перемещений.The drawing shows a schematic diagram of a two-coordinate displacement meter.
Двухкоординатный измеритель перемещений содержит последовательно расположенные и оптически св занные лазер 1, телескопическую систему 2, светоделитель 3, два интерферометра, расположенных в отраженном и проход щем пучках послеThe two-coordinate displacement meter contains successively located and optically coupled laser 1, a telescopic system 2, a beam splitter 3, two interferometers located in the reflected and transmitted beams after
светоделител 3. включающие светоделители 4 и 5, подвижные крышеобразные зеркала 6 и 7, установленные на каретке 8. На выходе каждого интерферометра установлены цилиндрические линзы 9, 10 и 11, 12 с возможностью вращени вокруг оптической оси, а в фокальной плоскости их - точечные диафрагмы 13,14 и 15,16 и фотоприемники, соответственно, 17,18 и 19, 20. Длина входной грани а параллелепипеда выбираетс равной 2D/sin 45°, ширина b - D/sin 45° tgl, высота - 2D, где D - диаметр входного пучка; I - угол преломдени пучка на входной грани.beam splitter 3. including beam splitters 4 and 5, movable roof-shaped mirrors 6 and 7 mounted on the carriage 8. At the output of each interferometer cylindrical lenses 9, 10 and 11, 12 are installed with the possibility of rotation around the optical axis, and in the focal plane they are point apertures 13,14 and 15,16 and photodetectors, respectively, 17,18 and 19, 20. The length of the input face of the parallelepiped is chosen equal to 2D / sin 45 °, width b - D / sin 45 ° tgl, height - 2D, where D - diameter of the input beam; I is the angle of refraction of the beam at the entrance face.
Двухкоординатный измеритель перемещений работает следующим образом.The two-coordinate displacement meter works as follows.
v4 Сл) О СЛ OJv4 SL) About SL OJ
Пучок света от лазера 1 расшир етс телескопической системой 2 и делитс по амплитуде светоделителем 3 на два пучка: отраженный и проход щий. Отраженный пучок падает на светоделитель 4, где делитс входной гранью а на опорный (преломленный ) и измерительный (отраженный). Опорный пучок отражаетс гран ми b и с, возвращаетс вновь на грань а, где делитс полупрозрачным покрытием на два равных по амплитуде пучка.The beam of light from laser 1 is expanded by a telescopic system 2 and is divided in amplitude by beam splitter 3 into two beams: reflected and transmitted. The reflected beam falls on the beam splitter 4, where it is divided by the entrance face a into a reference (refracted) and measuring (reflected). The reference beam is reflected by faces b and c, and returns again to face a, where it is divided by a semi-transparent coating into two equal amplitudes of the beam.
Измерительный пучок направл етс вдоль оси X на двухгранное зеркало 6, отражаетс от него и возвращаетс на светоделитель А,на грань а, где нет полупрозрачного покрыти . На грани а пучок преломл етс , отражаетс гран ми end, проходит в светоделителе одинаковый путь с опорным пучком и направл етс на двухгранное зеркало 6, где, отразившись от него, возвращаетс обратно на светоделитель 4, в точку делени опорного пучка. После делени измерительный и опорный пучки попарно интерферируют и создают две системы интерференционных полос на цилиндрических линзах 9-12. Цилиндрические линзы 9 -12 ориентируютс ,своими образующими перпендикул рно интерференционным полосам, что позвол ет трансформировать интерференционные полосы в интерференционные отрезки на диафрагмах, увеличить выходной сигнал с фотоприемников и уменьшить вли ние неточностей изготовлени двухгранных зеркал. Величина перемещени каретки 8 по оси X или Y равна 0,25 N А, где N - число полос (отрезков), проход щих относительно диафрагмы; А- длина волны излучени лазера в воздухе.The measuring beam is directed along the X axis to the two-sided mirror 6, is reflected from it and returns to beam splitter A, to face a, where there is no translucent coating. On the face A, the beam is refracted, reflected by the end faces, passes the same path with the reference beam in the beam splitter and is directed to a two-sided mirror 6, where, reflected from it, returns back to the beam splitter 4 to the dividing point of the reference beam. After division, the measuring and reference beams interfere in pairs and create two systems of interference fringes on cylindrical lenses 9-12. The cylindrical lenses 9-12 are oriented with their perpendicularly forming fringes, which transform the fringes into interference segments on the diaphragms, increase the output signal from the photodetectors, and reduce the effect of inaccuracies in the manufacture of double-faced mirrors. The amount of movement of the carriage 8 along the X or Y axis is equal to 0.25 N A, where N is the number of bands (segments) passing relative to the diaphragm; A is the wavelength of the laser radiation in the air.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874207990A SU1730531A1 (en) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | Two-axis displacement meter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874207990A SU1730531A1 (en) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | Two-axis displacement meter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1730531A1 true SU1730531A1 (en) | 1992-04-30 |
Family
ID=21290021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874207990A SU1730531A1 (en) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | Two-axis displacement meter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1730531A1 (en) |
-
1987
- 1987-03-09 SU SU874207990A patent/SU1730531A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Коропкевич В. П. и др. Современные лазерные интерферометры. Новосибирск: Наука, 1985, с. 147. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2579226B2 (en) | Optical device for interferometer | |
JP2755757B2 (en) | Measuring method of displacement and angle | |
US4334778A (en) | Dual surface interferometer | |
JP5786270B2 (en) | Two-color interference measuring device | |
SU1730531A1 (en) | Two-axis displacement meter | |
CN111121614A (en) | Two-dimensional straightness and linear displacement simultaneous measurement interference device | |
SU1364866A1 (en) | Interference device for measuring angular displacements | |
JPH11108614A (en) | Light-wave interference measuring instrument | |
SU352479A1 (en) | ||
SU947636A1 (en) | Interferometer for measuring displacement | |
SU1506269A1 (en) | Interferometer for measuring angular and linear position of object | |
SU1425435A1 (en) | Interferometer for measuring linear displacements of object | |
SU1132147A1 (en) | Laser displacement interferometer | |
SU983450A1 (en) | Itnerferometer for measuring object displacement | |
SU756194A1 (en) | Device for measuring object motion parameters | |
SU1052852A1 (en) | Double-reflecting interferometer for measuring object displacement in low-diameter pipe | |
SU1499113A1 (en) | Apparatus for measuring displacements of an object | |
SU1288498A1 (en) | Interferometer | |
SU1113671A1 (en) | Device for measuring angular displacements | |
RU2047085C1 (en) | Interferometer for measurement of translations of two-coordinate table | |
SU921305A1 (en) | Distance measuring interferometer | |
SU1416864A1 (en) | Device for measuring angular displacements of object | |
RU1779913C (en) | Interferometer for measuring motions of object | |
SU1518663A1 (en) | Interferometer for measuring transverse displacements | |
SU1008615A1 (en) | Device for measuring object displacement |