SU1711270A1 - Трехкоординатное устройство дл прецизионного перемещени изделий - Google Patents
Трехкоординатное устройство дл прецизионного перемещени изделий Download PDFInfo
- Publication number
- SU1711270A1 SU1711270A1 SU894696131A SU4696131A SU1711270A1 SU 1711270 A1 SU1711270 A1 SU 1711270A1 SU 894696131 A SU894696131 A SU 894696131A SU 4696131 A SU4696131 A SU 4696131A SU 1711270 A1 SU1711270 A1 SU 1711270A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- drive
- coordinate
- sealed
- coordinates
- tubular elements
- Prior art date
Links
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл монтажа радиоэлектронной аппаратуры в услови х особо чистых технологических сред и в вакууме. Цель изобретени - расширение эксплуата- ционных возможностей, а также упрощение конструкции -достигаетс тем, что приводы по координатам X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечени , герметичных, заполненных жидкостью, привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечени , также герметичной и заполненной жидкостью. Все приводы соединены с узлом регулировани давлени . Зз.п.ф-лы, 1 ил. fe
Description
Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл монтажа радиоэлектронной .аппаратуры, в частности к устройствам ориентации и поштучной подачи на позиции обработки микроминиатюрных изделий, и может быть использовано дл производства микросхем в услови х технологических сред и в вакууме.
Цель изобретени - расширение эксплуатационных возможностей в особочи- стых технологических средах и упрощение конструкции.
На чертеже представлено трехкоорди- натное устройство дл прецизионного перемещени изделий, общий вид.
Устройство состоит из двух кареток, рабочего стола и независимых приводов перемещени по ос м X и Y, расположенных
одна к другой под пр мым углом, и поворотного устройства.
Привод перемещени по оси X содержит каретку 1, к которой жестко прикреплены две герметичные, параллельные, соединенные трубопроводом гибкие трубки 2 и 3 эллиптического сечени , св занные с узлом регулировани давлени , состо щим изсильфона4. Ктрубкам прикреплен столик 5 дл перемещени по оси X. Сильфон 4 св зан с источником внешнего перемещени , наход щимс вне рабочей среды или вакуума.
Привод перемещени по оси Y выпол- нен аналогично и состоит из каретки 6, прикрепленной к столику 5, трубок 7 и 8 и припа нного к ним рабочего стола 9 дл перемещени по оси Y. На рабочем столе находитс перемещаемое изделие.
N) VI О
Поворотное устройство состоит из винтовой , герметичной, упругодеформируемой, заполненной жидкостью трубки 10 эллиптического сечени , жестко закрепленной торцами к фланцу 11 и каретке 6. Узел регулировани давлени во всех случа х одинаков. Во всех случа х сильфом и трубки , соединенные трубопроводом, заполнены жидкостью.
Устройство работает следующим обра- зом.
При сжатии сильфона 4 от внешнего источника перемещени повышаетс давление внутри системы, состо щей из упругодеформируемых трубок 2 и 3, трубоп- ровода и сильфона 4. Увеличение давлени внутри системы вызывает изменение геометрической формы трубок 2 и 3 эллиптического сечени , при этом уменьшаетс больша ось эллипса и увеличиваетс мала , параллельна оси X, что вызывает пере- мещение по оси X. Поскольку жидкость малосжимаема, то все усилие идет на изменение геометрической формы трубок. Ана- логичным образом при повышении давлени внутри трубок 7 и 8 происходит перемещение по оси Y. Перемещение по угловой координате достигаетс путем повышени давлени внутри винтовой, упругодеформируемойтрубки10 эллиптического сечени , котора начинает раскручиватьс . При сн тии давлени система возвращаетс в исходное положение.
Последовательность, направление и величина перемещени по каждой координате могут задаватьс каким-либо программным устройством, например ЭВМ. Предлагаемое устройство дает возможность незави
0
5 0 5 0
5
симого перемещени по всем трем координатам .
Ф о рм ул а изобретен и 1 .Трехкоординатнбе устройство дл прецизионного перемещени изделий, содержащее рабочий стол, приводы дл перемещени соответствующих кареток по координатам X и Y и поворотный механизм с приводом, отличающеес тем, что, с целью расширени эксплуатационных возможностей в особочистых технологических средах и упрощени конструкции, приводы перемещени по ос м X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечени , герметичных , заполненных жидкостью и соединенных с узлом регулировани давлени посредством трубопровода, а каретка каждой координаты закреплена на боковых поверхност х каждой пары привода,соответствующей координаты.
2.Устройство по п.1. о т л и ч а ю щ е е- с тем, что привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечени , герметичной , заполненной жидкостью, соединенной с узлом регулировани давлени .
3.Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с тем, что длина герметичных трубчатых элементов эллиптического сечени в приводах перемещени по координатам X и Y превышает максимальную ширину в шесть- дес ть раз.
4.Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с тем, что гибкие, герметичные трубчатые элементы в приводах перемещени по координатам X и Y выполнены с ромбовидным сечением.
11
Claims (4)
- Формула изобретения·1. Трехкоординатное устройство для прецизионного перемещения изделий, содержащее рабочий стол, приводы для перемещения соответствующих кареток по координатам X и Y и поворотный механизм с приводом, отличающееся тем, что, с10 целью расширения эксплуатационных возможностей в особочистых технологических средах и упрощения конструкции, приводы перемещения по осям X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых эле15 ментов эллиптического сечения, герметичных, заполненных жидкостью и соединенных с узлом регулирования давления посредством трубопровода, а каретка каждой координаты закреплена на боковых поверхностях каждой пары привода,соответствующей координаты.
- 2. Устройство по п.1. о т л и ч а ю щ е ес я тем, что привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечения, гер-25 метичной, заполненной жидкостью, соединенной с узлом регулирования давления.
- 3. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что длина герметичных трубчатых элементов эллиптического сечения в приводах перемещения по координатам X и Y превышает максимальную ширину в шестьдесять раз.
- 4. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что гибкие, герметичные трубчатые элементы в приводах перемещения по координатам X и Y выполнены с ромбовидным сечением.
Составитель В.Сутормин Редактор И.Шулла Техред М.Моргентал Корректор М.Демчик Заказ 346 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894696131A SU1711270A1 (ru) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | Трехкоординатное устройство дл прецизионного перемещени изделий |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894696131A SU1711270A1 (ru) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | Трехкоординатное устройство дл прецизионного перемещени изделий |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1711270A1 true SU1711270A1 (ru) | 1992-02-07 |
Family
ID=21449863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894696131A SU1711270A1 (ru) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | Трехкоординатное устройство дл прецизионного перемещени изделий |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1711270A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2548163C1 (ru) * | 2013-11-20 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Устройство трехкоординатных перемещений |
-
1989
- 1989-02-16 SU SU894696131A patent/SU1711270A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Иванов А.А. Проектирование систем автоматического манипулировани микроми- ниатюрными издели ми. - М.: Машиностроение, 1981, с. 220 Там же, с. 221-222. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2548163C1 (ru) * | 2013-11-20 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Устройство трехкоординатных перемещений |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6669434B2 (en) | Double arm substrate transport unit | |
US10030695B2 (en) | Multi-degree-of-freedom adjustment mechanism | |
JP2006049879A (ja) | 超精密位置制御システム | |
JPS60150981A (ja) | ロボツト装置 | |
SU1711270A1 (ru) | Трехкоординатное устройство дл прецизионного перемещени изделий | |
SU1378793A3 (ru) | Измерительна консоль координатной измерительной машины | |
KR102133109B1 (ko) | 확장된 작업영역을 갖는 병렬로봇 | |
KR20020089159A (ko) | 장척재의 굽힘 가공장치 | |
JP2002011680A (ja) | パラレルメカニズムロボットアーム | |
CN111331630B (zh) | 一种用于机械臂的气控式可调距伸缩机构 | |
CN109514532A (zh) | 含弧形移动副的2r1t对称并联机构 | |
JPS62266490A (ja) | 精密位置決め装置 | |
US7284459B2 (en) | Remote center of rotation positioning device | |
CN100364724C (zh) | 单层结构六自由度微动工作台及其并行控制方法 | |
CN111702745B (zh) | 一种仿生象鼻机械臂 | |
SU1495111A1 (ru) | L- координатный манипул тор | |
RU2817276C1 (ru) | Пятиподвижный пространственный механизм с приводной избыточностью | |
RU2078673C1 (ru) | Устройство многокоординатного перемещения шпиндельного узла гибкого производственного модуля | |
Rasoulzadeh et al. | Linear pentapods with a simple singularity variety | |
SU1366389A1 (ru) | Механизм дл перемещени и ориентации деталей | |
KR20230028161A (ko) | 형상 적응 기구 및 형상 적응 장치 | |
RU2706904C1 (ru) | Захват манипулятора | |
SU1484725A1 (ru) | Манипулятор, работающий в герметизированном объеме | |
SU1372121A1 (ru) | Направл юща поступательного перемещени | |
JPH01312264A (ja) | 平行移動装置 |