SU1711270A1

SU1711270A1 - Трехкоординатное устройство дл прецизионного перемещени изделий

Info

Publication number: SU1711270A1
Application number: SU894696131A
Authority: SU
Inventors: Ариадна Тимофеевна Александрова; Ирина Георгиевна Гуськова
Original assignee: Московский Институт Электронного Машиностроения
Priority date: 1989-02-16
Filing date: 1989-02-16
Publication date: 1992-02-07

Abstract

Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл монтажа радиоэлектронной аппаратуры в услови х особо чистых технологических сред и в вакууме. Цель изобретени - расширение эксплуата- ционных возможностей, а также упрощение конструкции -достигаетс тем, что приводы по координатам X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечени , герметичных, заполненных жидкостью, привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечени , также герметичной и заполненной жидкостью. Все приводы соединены с узлом регулировани давлени . Зз.п.ф-лы, 1 ил. fe

Description

Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл монтажа радиоэлектронной .аппаратуры, в частности к устройствам ориентации и поштучной подачи на позиции обработки микроминиатюрных изделий, и может быть использовано дл производства микросхем в услови х технологических сред и в вакууме.

Цель изобретени - расширение эксплуатационных возможностей в особочи- стых технологических средах и упрощение конструкции.

На чертеже представлено трехкоорди- натное устройство дл прецизионного перемещени изделий, общий вид.

Устройство состоит из двух кареток, рабочего стола и независимых приводов перемещени по ос м X и Y, расположенных

одна к другой под пр мым углом, и поворотного устройства.

Привод перемещени по оси X содержит каретку 1, к которой жестко прикреплены две герметичные, параллельные, соединенные трубопроводом гибкие трубки 2 и 3 эллиптического сечени , св занные с узлом регулировани давлени , состо щим изсильфона4. Ктрубкам прикреплен столик 5 дл перемещени по оси X. Сильфон 4 св зан с источником внешнего перемещени , наход щимс вне рабочей среды или вакуума.

Привод перемещени по оси Y выпол- нен аналогично и состоит из каретки 6, прикрепленной к столику 5, трубок 7 и 8 и припа нного к ним рабочего стола 9 дл перемещени по оси Y. На рабочем столе находитс перемещаемое изделие.

N) VI О

Поворотное устройство состоит из винтовой , герметичной, упругодеформируемой, заполненной жидкостью трубки 10 эллиптического сечени , жестко закрепленной торцами к фланцу 11 и каретке 6. Узел регулировани давлени во всех случа х одинаков. Во всех случа х сильфом и трубки , соединенные трубопроводом, заполнены жидкостью.

Устройство работает следующим обра- зом.

При сжатии сильфона 4 от внешнего источника перемещени повышаетс давление внутри системы, состо щей из упругодеформируемых трубок 2 и 3, трубоп- ровода и сильфона 4. Увеличение давлени внутри системы вызывает изменение геометрической формы трубок 2 и 3 эллиптического сечени , при этом уменьшаетс больша ось эллипса и увеличиваетс мала , параллельна оси X, что вызывает пере- мещение по оси X. Поскольку жидкость малосжимаема, то все усилие идет на изменение геометрической формы трубок. Ана- логичным образом при повышении давлени внутри трубок 7 и 8 происходит перемещение по оси Y. Перемещение по угловой координате достигаетс путем повышени давлени внутри винтовой, упругодеформируемойтрубки10 эллиптического сечени , котора начинает раскручиватьс . При сн тии давлени система возвращаетс в исходное положение.

Последовательность, направление и величина перемещени по каждой координате могут задаватьс каким-либо программным устройством, например ЭВМ. Предлагаемое устройство дает возможность незави

0

5 0 5 0

5

симого перемещени по всем трем координатам .

Ф о рм ул а изобретен и 1 .Трехкоординатнбе устройство дл прецизионного перемещени изделий, содержащее рабочий стол, приводы дл перемещени соответствующих кареток по координатам X и Y и поворотный механизм с приводом, отличающеес тем, что, с целью расширени эксплуатационных возможностей в особочистых технологических средах и упрощени конструкции, приводы перемещени по ос м X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечени , герметичных , заполненных жидкостью и соединенных с узлом регулировани давлени посредством трубопровода, а каретка каждой координаты закреплена на боковых поверхност х каждой пары привода,соответствующей координаты.

2.Устройство по п.1. о т л и ч а ю щ е е- с тем, что привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечени , герметичной , заполненной жидкостью, соединенной с узлом регулировани давлени .

3.Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с тем, что длина герметичных трубчатых элементов эллиптического сечени в приводах перемещени по координатам X и Y превышает максимальную ширину в шесть- дес ть раз.

4.Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с тем, что гибкие, герметичные трубчатые элементы в приводах перемещени по координатам X и Y выполнены с ромбовидным сечением.

11

Claims

Формула изобретения·

1. Трехкоординатное устройство для прецизионного перемещения изделий, содержащее рабочий стол, приводы для перемещения соответствующих кареток по координатам X и Y и поворотный механизм с приводом, отличающееся тем, что, с

10 целью расширения эксплуатационных возможностей в особочистых технологических средах и упрощения конструкции, приводы перемещения по осям X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых эле15 ментов эллиптического сечения, герметичных, заполненных жидкостью и соединенных с узлом регулирования давления посредством трубопровода, а каретка каждой координаты закреплена на боковых поверхностях каждой пары привода,соответствующей координаты.
2. Устройство по п.1. о т л и ч а ю щ е ес я тем, что привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечения, гер-

25 метичной, заполненной жидкостью, соединенной с узлом регулирования давления.
3. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что длина герметичных трубчатых элементов эллиптического сечения в приводах перемещения по координатам X и Y превышает максимальную ширину в шестьдесять раз.
4. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что гибкие, герметичные трубчатые элементы в приводах перемещения по координатам X и Y выполнены с ромбовидным сечением.

Составитель В.Сутормин Редактор И.Шулла Техред М.Моргентал Корректор М.Демчик

Заказ 346 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул.Гагарина, 101