SU1675703A1 - Capacitive pressure transducer - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к емкостным датчикам давлени  и может быть использовано дл  измерени  статического и динамического давлений жидких и газообразных сред. Цель изобретени  - увеличение точности измерени . Достигают это за счет того, что в датчике давлени , содержащем корпус 1, мембрану 2 и колпачок 4 с установленными на их поверхност х электродами измерительного и эталонного конденсаторов, в верхней части кол ачка устанавливаетс  с нат гом диск-герморазъем 6, а по периферии дна колпачок жестко соединен с утол- щенным периферийным участком 3 мембраны 2. 3 ил.The invention relates to capacitive pressure sensors and can be used to measure the static and dynamic pressures of liquid and gaseous media. The purpose of the invention is to increase the measurement accuracy. This is achieved due to the fact that in the pressure sensor containing the housing 1, the membrane 2 and the cap 4 with the measuring and reference capacitor electrodes installed on their surfaces, in the upper part of the collar is mounted with a pressure-strain relief 6, and along the bottom periphery the cap is rigidly connected to the thickened peripheral section 3 of the membrane 2. 3 Il.

Description

Фиг. 2.FIG. 2

JLAJla

ФигЗFigz

/3/ 3

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Емкостный датчик давления, содержа55 щий корпус, упругую мембрану с утолщенным периферийным участком и изолированными центральным и периферийным электродами, измерительного и эталонного конденсаторов, герморазъем с токоподводами и расположенный с зазором относительно мембраны монтажный элемент с зеркально-симметричными изолированными неподвижными электродами измерительного и эталонного конденсато- 5 ров, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности измерения, в нем монтажный элемент выполнен в виде тонкостенного колпачка с вогнутым дном, а герморазъем - в виде диска, установленного с натягом внутри колпачка, при этом колпачок жестко соединен по контуру дна с утолщенным периферийным участком мембраны и соориентирован его вогнутостью в сторону мембраны, причем в периферийной части дна выполнены сквозные проточки для вывода монтажных проводов, а неподвижные электроды измерительного и эталонного конденсаторов расположены на 10 вогнутой поверхности дна колпачка.A capacitive pressure sensor containing a housing, an elastic membrane with a thickened peripheral section and isolated central and peripheral electrodes, a measuring and reference capacitors, a pressure seal with current leads and a mounting element located with a gap relative to the membrane, with mirror-symmetric insulated fixed electrodes of the measuring and reference condensate ditch, characterized in that, in order to increase the accuracy of measurement, in it the mounting element is made in the form of a thin-walled cap with a bottom, and the pressure seal is in the form of a disk mounted with an interference fit inside the cap, while the cap is rigidly connected along the contour of the bottom with a thickened peripheral portion of the membrane and is oriented by its concavity towards the membrane, through holes being made in the peripheral part of the bottom for outputting the mounting wires, and the fixed electrodes of the measuring and reference capacitors are located on the 10 concave surface of the bottom of the cap. А-АAa