SU1672214A1 - Устройство дл измерени рассто ни до поверхности - Google Patents

Устройство дл измерени рассто ни до поверхности Download PDF

Info

Publication number
SU1672214A1
SU1672214A1 SU884448233A SU4448233A SU1672214A1 SU 1672214 A1 SU1672214 A1 SU 1672214A1 SU 884448233 A SU884448233 A SU 884448233A SU 4448233 A SU4448233 A SU 4448233A SU 1672214 A1 SU1672214 A1 SU 1672214A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
lens
photodetector
reflectors
prism
rhombus
Prior art date
Application number
SU884448233A
Other languages
English (en)
Inventor
Петр Алексеевич Санников
Руслан Иванович Сенюта
Михаил Валерьевич Мокринский
Original Assignee
Предприятие П/Я М-5120
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я М-5120 filed Critical Предприятие П/Я М-5120
Priority to SU884448233A priority Critical patent/SU1672214A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1672214A1 publication Critical patent/SU1672214A1/ru

Links

Landscapes

  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике. Цель изобретени  - повышение точности за счет формировани  двух световых меток и устранение вли ни  паразитных переотражений. Устройство состоит из оптически св занных источника 1 излучени , ромб-призмы 2 и объектива 3, оптически св занных с первой по ходу лучей от источника 1 гранью ромб-призмы 2, фокона 6 и фотоприемника 7. Лучи от источника 1, отража сь от поверхности объекта 11, формируют на фотоприемнике 7 две световые метки, положение которых зависит от положени  поверхности объекта 11 относительно фокальной плоскости объектива 3. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля профиля поверхности.
Цель изобретения - повышение точности за счет формирования двух световых меток и устранение влияния паразитных переотражений.
На чертеже представлена блок-схема устройства.
Устройство состоит из оптически связанных источника 1 излучения, ромб-призмы 2 и объектива 3, первая по ходу лучей от источника 1 грань ромб-призмы 2 выполнена полупрозрачной с соотношением коэффициентов пропускания и отражения не менее чем 1,5:1 и является первым отражателем, вторая грань ромб-призмы 2 выполнена отражающей и является вторым отражателем, грани ромб-призмы 2 расположены по различные стороны оси объектив 3, п рямоугол ьной п ризмы 4, наклеен ной со стороны первой грани на ромб-призму 2, оптически связанных объектива 5, оптически связанного с первой гранью ромб-призмы 2, фо кона 6 и координатно-чувствительного фотоприемника 7, последовательно соединенных блока 8 обработки сигналов фотоприемника, блока 9 управления исполнительным механизмом и исполнительного механизма 10, механически связанного с объективом 3.
Устройство работает следующим образом.
Поверхность исследуемого объекта 11 подсвечивается двумя лучами от источника 1, отраженными от двух граней ромб-призмы и сфокусированными объективом 3.
Отраженные поверхностью объекта 11 два луча проходят через объектив 3, ромбпризму 2, объектив 5, фокон 6 и формируют на поверхности фотоприемника 7 две световые метки по разные стороны от оси объектива 5, причем расстояние от оси объектива 5 зависит от расстояния от фокусной пло10 скости объектива 3 до поверхности объекта 11.
Фокон расположен таким образом, что лучи, отразившиеся от задней грани объектива 11, не попадают на его входную апертуру. Различие коэффициентов пропускания и отражения первой грани ромб-призмы 2 приводит к тому, что световые метки на фотоприемнике 7 имеют различные интенсивности, что дает возможность различить световые метки и определить знак смещения поверхности объекта 11. По сигналам от блока 8. обработанным в блоке 9, исполнительный механизм перемещает объектив 3 до совпадения световых меток, что соответствует расположению контролируемой части поверхности объектива 11 в фокусной плоскости объектива 3.

Claims (3)

Формула изобретения
1. Устройство для измерения расстояния до поверхности, содержащее источник излучения, два объектива, два отражателя и координатно-чувствительный фотоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, первый отражатель выполнен полупрозрачным, отражатели расположены по различные стороны от оси первого объектива, который оптически связан с источником подсвета через отражатели, а второй объектив и фотоприемник оптически связаны с первым объективом через первый отражатель.
2. Устройство п.1,отличающееся тем, что оно снабжено ромб-призмой, а первый и второй отражатели выполнены на гранях ромб-призмы.
3. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что оно снабжено фоконом, расположенным между фотоприемником и вторым объективом узким торцом к второму объективу.
Составитель М.Кузнецов Редактор Л.Гратилло Техред М.Моргентал Корректор Т.Малец
Заказ 2829 Тираж 366 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул.Гагарина. 101
SU884448233A 1988-06-27 1988-06-27 Устройство дл измерени рассто ни до поверхности SU1672214A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884448233A SU1672214A1 (ru) 1988-06-27 1988-06-27 Устройство дл измерени рассто ни до поверхности

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884448233A SU1672214A1 (ru) 1988-06-27 1988-06-27 Устройство дл измерени рассто ни до поверхности

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1672214A1 true SU1672214A1 (ru) 1991-08-23

Family

ID=21384616

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884448233A SU1672214A1 (ru) 1988-06-27 1988-06-27 Устройство дл измерени рассто ни до поверхности

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1672214A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4238891A1 (de) * 1992-11-19 1994-05-26 Optimess Ges Fuer Optoelektron Kamerasystem mit integrierter Entfernungsmeßeinrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
За вка JP № 60-36003, кл. G 01 В 11/30. 1985. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4238891A1 (de) * 1992-11-19 1994-05-26 Optimess Ges Fuer Optoelektron Kamerasystem mit integrierter Entfernungsmeßeinrichtung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1672214A1 (ru) Устройство дл измерени рассто ни до поверхности
SU1290233A2 (ru) Устройство дл контрол оптических световозвращателей
US5177356A (en) Optical encoder
CN213956280U (zh) 测量激光切割头光学元件装配平行度装置
SU578562A1 (ru) Интерферометр дл контрол прогибов кваз плоских поверхностей деталей
SU1441192A1 (ru) Устройство дл измерени поперечных размеров нитевидных объектов
SU1642427A1 (ru) Визирное автоколлимационное устройство
SU1312380A1 (ru) Устройство дл контрол шероховатости поверхности
SU1536194A1 (ru) Интерферометр
SU1409863A1 (ru) Устройство измерени геометрических параметров поверхности полупроводниковых пластин
SU1416865A1 (ru) Устройство дл контрол малых угловых смещений
SU1677506A1 (ru) Микроинтерферометр
SU1138642A1 (ru) Интерференционное устройство дл дистанционного измерени малых перемещений
RU1825418C (ru) Фотометр
SU1439392A1 (ru) Устройство дл контрол шероховатости поверхности
SU581272A1 (ru) Устройство контрол угловых положений самоходной машины
SU1755045A1 (ru) Световодный датчик углового положени
SU1413417A1 (ru) Микроинтерферометр дл измерени шероховатости поверхности
SU1315801A1 (ru) Устройство дл контрол шероховатости поверхности
SU1348641A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл измерени угловых отклонений объекта
SU1499115A2 (ru) Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности
SU1652853A1 (ru) Способ определени фокусного рассто ни зеркальных оптических элементов
SU1610270A1 (ru) Двухкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор
SU1132147A1 (ru) Лазерный интерферометр перемещений
SU1670410A1 (ru) Устройство дл измерени рассто ни до отражающей поверхности