SU1659955A1 - Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ - Google Patents
Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ Download PDFInfo
- Publication number
- SU1659955A1 SU1659955A1 SU894724685A SU4724685A SU1659955A1 SU 1659955 A1 SU1659955 A1 SU 1659955A1 SU 894724685 A SU894724685 A SU 894724685A SU 4724685 A SU4724685 A SU 4724685A SU 1659955 A1 SU1659955 A1 SU 1659955A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- convex
- positive
- component
- meniscus
- Prior art date
Links
Landscapes
- Lenses (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к оптическому приборостроению и м.б. использовано в микроэлектронике. Цель изобретени - увеличение числовой апертуры и пол зрени при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов. Объектив содержит положительные мениски 1, 3, 9,10,13, 18, отрицательные мениски 4, 6, 11, 12, дво ковыпуклые линзы 2, 7, 8, 14-16. Числова апертура 0,35; поле зрени 21,2 мм. 2 ил.
Description
Ј
Плоскость 2 J предметов I I
5$
У
Плоскость изображений
Os СЛ Ч) Ч) СЛ СЛ
Фиг. 1
Изобретение относитс к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонировани дл изготовлени полупроводниковых приборов.
Цель изобретени - увеличение числовой апертуры и пол зрени при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов.
На фиг.1 приведена оптическа схема предложенного объектива; на фиг.2 - ЧКХ объектива.
Объектив состоит из восемнадцати линз, собранных в четырнадцать компонентов , и апертурной диафрагмы.
Первый компонент состоит из положительного мениска 1 и дво ковыпуклой линзы 2 и положительного мениска 3.
Положительный мениск 1, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, выполнен из крона и имеет соотношение радиусов 3,17:1. Дво ковыпукла линза 2 выполнена из крона с соотношением радиусом 1:2,59. Положительный мениск 3, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из крона и имеет соотношение радиусов 1:5,24.
Второй компонент - отрицательный мениск 4, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из легкого флинта, с соотношением радиусов 19,36:1.
Третий компонент - дво ковогнута линза 5, выполненна из легкого флинта с соотношением радиусов 1:2,23.
Четвертый компонент - отрицательный мениск 6, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, выполнен из крона с соотношением радиусов 1:1,26.
П тый компонент - дво ковыпукла линза 7, выполненна из особого крона с соотношением радиусов 12,02:1, расположенный за четвертым компонентом на рассто нии от него, равном 0,035 фокусного рассто ни объектива.
Шестой компонент - дво ковыпукла линза 8, выполненна из особого крона с соотношением радиусов 1:1,30.
Седьмой компонент - положительный мениск 9, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из особого крона с соотношением радиусов 1:6,71.
Восьмой компонент - положительный мениск 10, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из т желого крона с соотношением радиусов 1:1,6.
Дев тый компонент - отрицательный мениск 11, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из легкого флинта с соотношением радиусов 12,18:1.
Дес тый компонент - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из отрицательного 12 и положительного 13 менисков,
выполненных из легкого флинта и крона соответственно , разность показателей преломлени линз, вход щих в компонент, составл ет 0,07. Разность дисперсии 22,65, а соотношение наружных радиусов 1:1,4t.
0 Одиннадцатый компонент - дво ковы-. пукла линза 14, выполненна из особого крона с соотношением радиусов 4,72:1.
Двенадцатый компонент - дво ковыпукла линза 15, выполненна из особого
5 крона с соотношением радиусов 1:2,64.
Тринадцатый компонент - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, и склеенный из дво ковыпуклой 16 и дво ковогнутой 17 линз,
0 выполненных из легкого крона и легкого
флинта; разность показателей преломлени
линз составл ет 0,12, разность дисперсий
- 25,5, а соотношение наружных радиусов
1,24:1; расположен за двенадцатым компо5 нентом на рассто нии от него, равном 0,032 фокусного рассто ни объектива.
Четырнадцатый компонент - положительный мениск 18, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из
0 легкого флинта с соотношением радиусов 1:3,46.
Объектив имеет высокую степень коррекции аберрации дл области спектра 365,0±4 мм. Увеличение объектива -
5 Апертура 0,35, поле зрени 21,2 мм.
Продольна сферическа аберраци не более - 0,00727, астигматическа разность не более 0,003 мм, дисперси не более - 0,0004%, хроматизм увеличени не более
0 0,00037 мм, аберрации широких меридиональных пучков не более 0,00252 мм.
По предложенной принципиальной схеме рассчитан также объектив со спектральным диапазоном работы 404,66±5 мм.
5
Claims (1)
- Формула изобретени Проекционный объектив с увеличением - 1 /5х, содержащий одиннадцать компонентов и апертурную диафрагму, причем пер0 вый компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, второй - отрицательный мениск, третий - дво ковыпукла линза, четвертый положительна линза, п тый - положитель5 ный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, шестой - мениск, обращенный выпуклостью к предмету, седьмой - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, восьмой - отрицательный мениск , обращенный вогнутостью к предмету.дев тый - положительна линза, дес тый - дво ковыпукла линза, одиннадцатый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к предмету и склеенный из положительной и отрицательной линз, о т л и чающийс тем, что, с целью увеличени числовой апертуры и пол зрени при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов, перед первым компонентом установлен положительный компонент из двух положительных менисков, обращенных выпуклостью друг к другу, и дво ковыпуклой линзы между ними, между первым и вторым компонентами установлена дво ковогнута линза, второй компонент обращен вогнутостью к предмету, четвертый выполнен в виде дво ковыпуклой линзы, шестой выполнен положительным, восьмой выполнен склеенным из отрицательного и положительного менисков, дев тый выполнен в 5 виде дво ковыпуклой линзы, за одиннадцатым компонентом установлен положитель- ный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, при этом апертурна диафрагма размещена за седьмым компонентом на10 удалении от него, равном 0,01 фокусного рассто ни объектива, рассто ние между вторым и третьим компонентами составл ет 0,035 фокусного рассто ни объектива, а рассто ние между дес тым и одиннадцатым15 компонентами составл ет 0,032 фокусного рассто ни объектива.750 э 1000Фиг. 21,/ UH/MM
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894724685A SU1659955A1 (ru) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894724685A SU1659955A1 (ru) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1659955A1 true SU1659955A1 (ru) | 1991-06-30 |
Family
ID=21463679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU894724685A SU1659955A1 (ru) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1659955A1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0803755A2 (en) † | 1996-04-25 | 1997-10-29 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus with the same |
| US6349005B1 (en) | 1998-11-30 | 2002-02-19 | Carl-Zeiss-Stiftung | Microlithographic reduction objective, projection exposure equipment and process |
| EP0770895B1 (en) * | 1995-10-12 | 2003-06-25 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus provided therewith |
-
1989
- 1989-07-31 SU SU894724685A patent/SU1659955A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 1303972, кл. G 02 В 13/24, 1985. * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0770895B1 (en) * | 1995-10-12 | 2003-06-25 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus provided therewith |
| EP0803755A2 (en) † | 1996-04-25 | 1997-10-29 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus with the same |
| US6349005B1 (en) | 1998-11-30 | 2002-02-19 | Carl-Zeiss-Stiftung | Microlithographic reduction objective, projection exposure equipment and process |
| EP1686405A1 (de) | 1998-11-30 | 2006-08-02 | Carl Zeiss SMT AG | Mikrolithographisches Reduktionsobjektiv mit fünf Linsengruppen |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107085280B (zh) | 光学成像*** | |
| CN106468820B (zh) | 光学成像*** | |
| CN107678147B (zh) | 一种透镜***、鱼眼镜头及图像采集装置 | |
| CN107045182B (zh) | 光学成像*** | |
| CN107085281A (zh) | 光学成像*** | |
| CN106483631A (zh) | 光学成像*** | |
| CN107272147B (zh) | 光学成像*** | |
| CN106154497A (zh) | 光学成像*** | |
| CN107817577A (zh) | 光学成像*** | |
| CN107045181A (zh) | 光学成像*** | |
| CN205844608U (zh) | 光学成像*** | |
| CN110515176A (zh) | 光学成像*** | |
| CN107765395A (zh) | 光学成像*** | |
| CN107085277A (zh) | 光学成像*** | |
| CN109307923A (zh) | 光学成像*** | |
| US10845571B2 (en) | Optical lens | |
| CN107797227A (zh) | 光学成像*** | |
| CN107229102A (zh) | 光学成像*** | |
| CN107085278A (zh) | 光学成像*** | |
| CN107589534A (zh) | 一种透镜***及镜头 | |
| CN206863320U (zh) | 光学成像*** | |
| JPH0358087B2 (ru) | ||
| SU1659955A1 (ru) | Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ | |
| CN107272148B (zh) | 光学成像*** | |
| JP6666592B2 (ja) | 観察光学系 |