SU1654258A1 - Method of producing ultradispersed aluminium nitride powder - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к способу получени  ультрадисперсного порошка нитрида алюмини , примен емому в радиотехнической и электронной промышленности в каче стве материала дл  подложек интегральных схем, и позвол ет путем карботермическою восстановлени  азотировани  при 1200 1400°С гранул у АЬ Оз с размером частиц 0,01 - 0,1 мкм, полученных криохимическим методом с последующей сублимационной и вакуумной сушкой при 200 500°С и давлении 4 Па в течение 5 ч и пропиткой их водным раствором сахара, получать ультрадисперсные частицы нитрида алюмини  высокой чистоты , использование которых в технике позвол ет снизить температуру спекани  и повысить качество керамических подложек интегральных схем. 1 з.п.ф-лы, 1 табл.The invention relates to a method for producing ultrafine aluminum nitride powder used in the radio engineering and electronics industry as a material for integrated circuit substrates, and allows 0.01 to 1400 ° C granules at AB Oz with a particle size reduction by carbothermic reduction. - 0.1 µm, obtained by the cryochemical method, followed by freeze-drying and vacuum drying at 200,500 ° C and a pressure of 4 Pa for 5 hours and impregnating them with an aqueous solution of sugar, to obtain ultrafine nitride particles Luminy high purity, the use of which in the technique allows to reduce the sintering temperature and improve the quality of the ceramic substrates of integrated circuits. 1 hp ff, 1 tab.

Description

Изобретение относитс  к порошковой металлургии, в частности к получению порошков нитрида алюмини , имеющих широкое применение в радиотехнической и электронно й промышленности в качестве подложек дл  гибридных интегральных схем.The invention relates to powder metallurgy, in particular, to the production of aluminum nitride powders, which are widely used in the radio engineering and electronic industry as substrates for hybrid integrated circuits.

Целью изобретени   вл етс  получение ультрадисперсного порошка нитрида алюмини  высокой чистоты.The aim of the invention is to obtain ultrafine powder of high purity aluminum nitride.

Пример. Смешивают углеродсодер- жащее вещество в виде водного раствора сахара с частицами у АЬ Оз размером 0,01 - 0,1 мкм и проведением процесса кар- ботермического восстановлени  - азотировани  в атмосфере азота высокой чистоты при 1200 - 1400°С. Гранулы оксида алюмини  готов т диспергированием водного раствора соли сернокислого алюмини  в жидкий азот с размером капель 400 - 800 мкм с последующей сублимационной и вакуумной сушкой при 200 - 500°С при давлении 4 Па в течение 5 ч.Example. The carbon-containing substance is mixed in the form of an aqueous solution of sugar with particles of AB Oz with a size of 0.01–0.1 µm and the process of cartothermal reduction — nitration in a high purity nitrogen atmosphere at 1200–1400 ° C. The alumina granules are prepared by dispersing an aqueous solution of aluminum sulphate salt into liquid nitrogen with a droplet size of 400-800 µm, followed by freeze-drying and vacuum drying at 200-500 ° C at a pressure of 4 Pa for 5 h.

В таблице приведены сравнительные данные по дисперсности и чистоте получаемого продукта предлагаемым способом по сравнению с известнымThe table shows the comparative data on the dispersion and purity of the product obtained by the proposed method in comparison with the known

Видно, что предложенное техническое решение обеспечивает получение ультрадисперсного порошка нитрида алюмини  с размером частиц 0,01 - 0,1 мкм и содержанием св занного азота, близким к стехио- метрическому составу, в то врем  как по известному способу не достигаетс  полное насыщение алюмини  азотом и получаютс  более крупные (1-3 мкм) частицы конечного продукта.It can be seen that the proposed technical solution provides for obtaining an ultrafine powder of aluminum nitride with a particle size of 0.01-0.1 μm and a content of bound nitrogen close to the stoichiometric composition, while the known method does not achieve complete saturation of aluminum with nitrogen and larger (1-3 µm) particles of the final product are obtained.

Claims (2)

Формула изобретени  1. Способ получени  ультрадисперсного порошка AIN, включающий смешение частиц у - А)2 Оз с углеродсодержащим веществом, с последующим карботермическим восстановлением - азотированием при температурах 1200 - 1400°С в потоке азота высокой чистоты, отличающийс  тем, что, сClaim 1. A method of producing an ultrafine powder AIN, which includes mixing particles y-A) 2 oz with a carbon-containing substance, followed by carbothermic reduction — nitriding at temperatures of 1200-1400 ° C in a stream of high-purity nitrogen, characterized in that (Л(L СWITH ОABOUT елate ЈьЈ К СП 00K SP 00 целью повышени  дисперсности и чистоты получаемого продукта, смешение частиц у - Ala Оз с углеродсодержащим веществом ведут пропиткой пористых гранул из частиц у - А1гОз раствором углеродсодержащего органического вещества, используют частицы у - Ala Оз размером 0.01 - 0,1 мкм, полученные из раствора AlztSOiO, в процессе егоIn order to increase the dispersion and purity of the obtained product, mixing y-Ala Oz particles with a carbon-containing substance is impregnated with porous granules of y-Al2O3 particles with a solution of carbon-containing organic matter, using y-Ala Oz particles of 0.01-0.1 micron, in the process of it диспергировани  в среде жидкого азота, сублимационной и вакуумной сушки при нагревании полученных криогранул размером 400 - 800 мкм и термообработки.dispersion in liquid nitrogen, freeze-drying and vacuum drying by heating the resulting cryogranules of 400-800 microns in size and heat treatment. 2. Способ по п.1,отличающийс  тем, что процесс вакуумной сушки ведут при температуре 200 - 500°С и давлении 4 Па в течение 5 ч.2. The method according to claim 1, characterized in that the vacuum drying process is carried out at a temperature of 200-500 ° C and a pressure of 4 Pa for 5 hours.