SU1638409A1 - Back-pressure valve - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к элементам газовой арматуры дл  физико-термического оборудовани  и может быть использовано в эпитаксиальном, диффузионном, п/;ззмохи- мическом и вакуумном оборудовании. Целью изобретени   вл етс  повышение надежности работы путем обеспечени  равномерности распределени  усили  герметизации и устранени  самовозбуждени  затвора. Обратный клапан обеспечивает герметизацию затвора 4 при перекосах за счет расположени  в одной плоскости точки приложени  силы от пружины 5 и запирающей поверхности затвора. В клапане отсутствует эффект самовозбуждени  за счет наличи  в зкостного трени  стакана 6 по направл ющей поверхности корпуса, а также имеетс  компенсаци  несоосности элементов клапана за счет передачи усили  в паре сфера толкател  8 - коническа  поверхность 10 затвора 4. 1 ил. И & Ј О Сл) 00 Јь о ю ю прThe invention relates to gas fittings for physico-thermal equipment and can be used in epitaxial, diffusion, semiconductor and vacuum equipment. The aim of the invention is to increase the reliability of operation by ensuring uniform distribution of the sealing force and eliminating self-excitation of the gate. The check valve seals the bolt 4 at skews due to the position in the same plane of the point of application of force from the spring 5 and the locking surface of the bolt. There is no self-excitation effect in the valve due to the presence in the viscous friction of the glass 6 along the guide surface of the housing, and there is compensation for the misalignment of the valve elements due to the transmission of force in the pair of the pusher sphere 8 — the conical surface 10 of the gate 4. 1 ill. And & Ј About Sl) 00 о about yu pr

Description

Изобретение относитс  к элементам газовой арматуры дл  физико-термического оборудовани  и может быть использовано в эпитаксиальном, диффузионном, плазмохи- мическом и вакуумном оборудовании.The invention relates to gas fittings for physical-thermal equipment and can be used in epitaxial, diffusion, plasma-chemical and vacuum equipment.

Целью изобретени   вл етс  повышение надежности работы клапана, путем обеспечени  равномерности распределени  усили  клапана, путем обеспечени  рав- номерности распределени  усили  герметизации и устранени  самовозбуждени  затвора.The aim of the invention is to improve the reliability of the valve, by ensuring uniform distribution of the valve force, by ensuring uniform distribution of the sealing force and eliminating the self-excitation of the valve.

На чертеже схематично представлен предлагаемый обратный клапан.The drawing schematically shows the proposed check valve.

Клапан состоит из корпуса 1 с седлом 2 и закрепленного на мембране 3 затвора 4, нагруженного пружиной 5 через промежуточный элемент, который выполнен в виде соосно установленных стакана 6 с проходными отверсти ми 7 и толкател  8 со сфери- ческими концами 9. На затворе 4 поверхность контакта 10с толкателем 8 выполнена конической, а их контактна  лини  расположена в плоскости седла 2. Мембрана 3 имеет отверсти  11 дл  прохода газа. The valve consists of a body 1 with a saddle 2 and a bolt 4 fixed on the membrane 3, loaded with a spring 5 through an intermediate element, which is made in the form of coaxially mounted glass 6 with through holes 7 and a pusher 8 with spherical ends 9. On the bolt 4 the surface The contact 10c with the pusher 8 is made conical, and their contact line is located in the plane of the saddle 2. The membrane 3 has openings 11 for the passage of gas.

Обратный клапан работает следующим образом.The check valve operates as follows.

Газ подаетс  на вход обратного клапана . Под действием давлени  затвор 4 открываетс  и через отверсти  7 и 11 газ подаетс  Gas is supplied to the inlet of the check valve. Under the action of pressure, the shutter 4 opens and through the openings 7 and 11 the gas is supplied

на выход клапана. При подаче газа на выход обратного клапана затвор 4 под действием пружины 5 и поданного давлени  герметизируетс  на седле 2, т. е. газ в обратном направлении не проходит. Герметизаци  затвора обеспечиваетс  при перекосах за счет расположени  в одной плоскости точки приложени  силы от пружины и запирающей поверхности затвора.at the valve outlet. When gas is supplied to the outlet of the check valve, the shutter 4 is sealed by the action of the spring 5 and the applied pressure on the seat 2, i.e. the gas does not pass in the opposite direction. The sealing of the bolt is provided with skews due to the location in the same plane of the point of application of force from the spring and the locking surface of the bolt.

В клапане отсутствует эффект самовозбуждени  за счет наличи  в зкостного трени  стакана по направл ющей поверхности корпуса, а также имеетс  компенсаци  несоосности элемента клапана за счет передачи усили  в паре сфера толкател  - коническа  поверхность затвора.There is no self-excitation effect in the valve due to the presence in the viscous friction of the glass along the guide surface of the housing, and there is compensation for the misalignment of the valve element due to the transmission of force in the pair of the pusher sphere — the conical surface of the gate.

Claims (1)

Формула изобретени  Обратный клапан, содержащий корпус с седлом и закрепленный.в нем на мембране затвор, нагруженный через промежуточный элемент пружиной, отличающийс  тем, что, с целью повышени  надежности работы, промежуточный элемент выполнен в виде соосно установленных стакана с проходными отверсти ми и толкател  со сферическими концами, причем на затворе поверхность контакта с толкателем выполнена конической, а их контактна  лини  расположена в плоскости седла.Claims of Invention A check valve comprising a housing with a saddle and a bolt loaded on the diaphragm loaded through an intermediate element with a spring, characterized in that, in order to increase reliability of operation, the intermediate element is designed as a coaxially mounted glass with through holes and pusher with spherical ends, and at the gate the contact surface with the pusher is made conical, and their contact line is located in the plane of the seat.