SU1627931A1 - Устройство дл испытани на адгезию токопровод щих пленок на диэлектрических подложках - Google Patents
Устройство дл испытани на адгезию токопровод щих пленок на диэлектрических подложках Download PDFInfo
- Publication number
- SU1627931A1 SU1627931A1 SU884638983A SU4638983A SU1627931A1 SU 1627931 A1 SU1627931 A1 SU 1627931A1 SU 884638983 A SU884638983 A SU 884638983A SU 4638983 A SU4638983 A SU 4638983A SU 1627931 A1 SU1627931 A1 SU 1627931A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- film
- probe
- adhesion
- permeable
- substrate
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N19/00—Investigating materials by mechanical methods
- G01N19/04—Measuring adhesive force between materials, e.g. of sealing tape, of coating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/003—Generation of the force
- G01N2203/005—Electromagnetic means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в процессе изготовлени микроэлектронных схем и оптических элементри. Целью изобретени вл етс повышение точности и производительности испытани и расширение диапазона контролируемых значений адгезии. Устройство содержит источник I напр жени , электростатический зонд 2, соединенный с приводом 3 его осевого перемещени , держатель 4, предназначенный дл размещени на нем подложки 5 с пленкой 6, и систему 7 контрол , выполненную в виде измерител электрической емкости между токопровод щей пленкой 6 и зондом 2. Принцип работы устройства заключаетс в создании электростатического пол , благодар которому зонд 2 прижимаетс к пленке 6. Привод 3 осевого перемещени онда обеспечивает усилие его отрыва в случае, когда сила прижати превышает адгезию пленки 6 с подложкой 5. 1 ил. & (Л
Description
28 .
СЯ Ю -vj
со со
4
7
3I /931d
,Ч К. П 1 ( ,) К 1H К ЧК ГШЦС НИ
t,P
i ш f i i if ,it ) H( чшс инметж er- осги в
ч iifhiuix L,, , и v щи ,, кгм.гр п ною усмроигтва за
i i н, i Голсс KOHKf.iHOг г-т ыио i цпенкн i и диг и .изво-п
i ) i i i с-кочны... Hi по 1капе прибора видуаи ю li ги
f ii 01чччс- MIA элененговать f омент oipbma пленки и сразу
,, ,,п 1}ч- ыгичм1 .же проводить or6paKOBKv негодных пот п { а ,}( ьозпшение точ 101Г П 1J абоч-,х Д( i п л., без при
i м , ,,0 ih исшм и Piciii jec- OBbix оьр мцов и приводит
i, Hi; ID in i ut i i нгролируе-к /гь°Р - чю м - ощ г делени
и ии1 м е ии i«.t« эььмт ним проитводи-
nj. i г м i ,га „ -iaгс 1Т ri n
, 1 ic i-101 i во oab M IP i cn -дающим ob«t 0 i И IU Г ) ШИ1
,, tl ir Hv-ьш OHMПР1 iium i або.м ,.1иис.ва аклю ,а
, чr, , , -,rf, нчм j r icTH e- KOic
i i i i , t Ki f вв заю ге
r i к i f 11 п ff ги ч n a
, , (u ii ( i t i ь т t i po
,,,-,,,J 1 И r IT iK 6л ПрИРОЧ -v
,, n -i. ч , j i bii гнл -1 «OTI ираег у
, ( ri о о r i r щ от ц т о i , тч u
,i i -i T i i i i JHJ e r
, , т ,,Ч 1 I n lj Пи Ч i I)1 t i П 1 l i
) TO JIT Hi ГГ) j lb I r U
T i I T П 1 I ЗОЧД Г v P
,nr ,тI f4 Г I П « И
L
in P-i j т i л - r iipnno eHHH
, i л t ))p r i ipl
i 141К ji ГС 1 ,
L1.
, Hr , , 0 1 rOJ. TpOC 1
i j ji i пир з i ui, пис нт т, оГ1 ад i t i i rrrr i nn i тгиьаю f i, с силом Га
JlOf,рО f Оd Ј„ L 2
- ,
ц ±а и i i i i. t1 н i т)
, i hi )1Д1 i u j -i д i ion
I i Ik. ) Ч 11 1 (- i ,
UIJ U ll 44 I Jh iL i gr 1ЧЯ i 4
III Ii l p IH I
и (1 41И 9I :-6o u L ,
r -т IK чин el 1) ,i J , y i
i и i i n in р ei H °
4 iuj i ппчч поднимал, В
i i1 f iiiM i iiOiejiЬри i ipiflp ыт jnb i v i ч цло/| и
м I ji ис кптческин TIL up июжсннй н if ки емьость
i i еф рча1шю иг OUTPUT т iора п ондтшенк i оста ге
i I J l i--uiiPM ч (о ыюи Jro прои ходит в случае,
it к;чн ii (.нгрол когда Рад Ј1 Рэс (Род адгези iei
о ii ни и ,. равныйi н к ir i i м Пщ Р РЭ(- jnr;
1 jjl lC ПО Г I lV , (J l n,MIJ Htij pV-КИ OrpHB-iPTH
it lit тиьх i in нь r ток i i (. воп цеи r-i м и емкост
l MIS и i i пт itohjtntbrimpripusio a.j
К i Ь i tT IHOBrIL ДОП ГТИМОс
f I -IL , I 1 i (.ЛОП , ) p С 1И Г J ЦОU К Г p I -t ГО i ГИМ1 И , pun 1 ЭР). Lll НЦИ 1 1 МОХ
r i fni ni vo эчнктриче ьл т прочность i
5i62/9
но производить с помощью устройства определение годных и негодных дета леи.
Claims (1)
- Формула изобретени Устройство дп испытани на зию токопоовод щих пленок на диэлект- рических подложках, содержащее источник напр жени , электростатический зонд, соединенный с источником, дер1- жатель, предназначенный дл размеще - ни подложки с покрытием, и систему контрол адгезии, отличаю - щ е е с тем, что, с целью повышени точности и производительности05; и 1 1 п i j агширенчн ,;uiiiiaiona коктролир емып значении ащ i ии, о n,af 7ie О rij. и ком . OPFOI о переп ц, ни зоилт, посаеднии выполнен и ни металлическиги стержн г нанесиины на его рабочую поверчн ггь vaoi окиста металла, гочщнна, ди пекг1)н чес а проницаемость и -чце к про ногть которого BbiC)ijiii в ди л.а зонах coo iBt-i с гвенчо oi I I d м ю 10-10 7м( от ( до 10) В/-1 ч от / д 9-I06 Б/м а П стема кон рп н полненс б )-нде пзм.нт-1 IIJKIPH ческой емкости 1окоцрлвод щеи пленкой и электрос га1 H4L f чп зондо
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884638983A SU1627931A1 (ru) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | Устройство дл испытани на адгезию токопровод щих пленок на диэлектрических подложках |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884638983A SU1627931A1 (ru) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | Устройство дл испытани на адгезию токопровод щих пленок на диэлектрических подложках |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1627931A1 true SU1627931A1 (ru) | 1991-02-15 |
Family
ID=21423528
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884638983A SU1627931A1 (ru) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | Устройство дл испытани на адгезию токопровод щих пленок на диэлектрических подложках |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1627931A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998044334A1 (en) * | 1997-03-31 | 1998-10-08 | Rice University | Electrostatic adhesion tester for thin film conductors |
-
1988
- 1988-11-16 SU SU884638983A patent/SU1627931A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Заводска лаборатори , 1974, № 4,с. 433-434. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998044334A1 (en) * | 1997-03-31 | 1998-10-08 | Rice University | Electrostatic adhesion tester for thin film conductors |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3185869A (en) | Transducer | |
Drougard et al. | Domain clamping effect in barium titanate single crystals | |
US3365593A (en) | Piezoelectric transducers | |
SU1627931A1 (ru) | Устройство дл испытани на адгезию токопровод щих пленок на диэлектрических подложках | |
US4466289A (en) | Capacitance manometer with digital output | |
US3286171A (en) | Transformerless a.c. bridge having a d.c. output | |
SU1186935A1 (ru) | Устройство дл контрол толщины диэлектрического покрыти на диэлектрической основе | |
GB811669A (en) | Improvements relating to displacement measuring devices | |
KR850006635A (ko) | 과도한 환경을 위한 수동 멀티 플렉서 | |
SU1364976A1 (ru) | Ультразвуковой преобразователь | |
GB597705A (en) | An improved electronic comparator for effecting fine measurements and other comparisons | |
RU94032785A (ru) | Устройство для определения тангенса угла диэлектрических потерь | |
JPS6324501A (ja) | 油入電気機器 | |
US2337973A (en) | Constant inductance, continuously variable, resistor | |
SU1610330A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
SU461377A1 (ru) | Прибор дл измерени тангенса угла диэлектрических потерь | |
RU2211456C1 (ru) | Устройство для испытания изоляции силового кабеля и твердого диэлектрика | |
SU468154A1 (ru) | Виброметр | |
SU909604A1 (ru) | Преобразователь давлени | |
SU1758456A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
SU1170532A1 (ru) | Устройство для контроля емкости химического источника тока | |
SU617731A1 (ru) | Устройство дл измерени высоких напр жений | |
SU1273822A1 (ru) | Измерительный преобразователь переменного напр жени в пульсирующее | |
SU842631A1 (ru) | Диэлектрометр | |
SU1728758A1 (ru) | Датчик контрол влаги |