SU1590145A1 - Apparatus for ultrasonic machining of microwire - Google Patents

Abstract

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике и направлено на расширение его функциональных возможностей за счет обеспечени  очистки микропроволоки 6 в жидкой среде 2. Дл  этого в устройстве, включающем ультразвуковой преобразователь 4 с волноводом 3 и инструментом, выполненным в виде цилиндроконической трубки 5, в коническом участке инструмента выполн ют сквозные отверсти , которые обеспечивают интенсивные жидкостные потоки внутри трубки как за счет акустических течений, так и за счет турбулизации жидкости, например, лопастным винтом 8. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.The invention can be used in microelectronics and is aimed at expanding its functionality by providing cleaning of microwire 6 in liquid medium 2. For this purpose, in a device including an ultrasonic transducer 4 with a waveguide 3 and a tool made in the form of a cylindrical tube 5, in the conical section of the instrument through holes are made that provide intense liquid flows inside the tube due to both acoustic flows and liquid turbulization, for example, a blade m ZP screw 8. 1 f-ly, 4 ill.

Description

Фиг.1 1

Изобретение может быть применено в микроэлектронике- дл  обработки микропроволоки .The invention can be applied in microelectronics for processing microwires.

Целью изобретени   вл етс  расши- рение функциональных возможностей устройства за счет обеспечени  очистки микропроволоки в жидкой среде.The aim of the invention is to expand the functionality of the device by ensuring the cleaning of the microwire in a liquid medium.

На фиг.1 приведено устройство при его работе дл  очистки микропроволоки с сохранением функции ее калибровки, общий вид; на фиг.2-4 - присадки расположени  отверстий на коническом участке инструмента.Figure 1 shows the device when it is working to clean the microwire while maintaining the function of its calibration, general view; Figures 2 to 4 show the additive positions of the holes in the conical portion of the tool.

Устройство содержит ванну 1 дл  рабочей жидкости 2, в которую опуш,ен волновод 3 ультразвукового преобразовател  4. К волноводу 3 присоедине инструмент, выполненный в ви,е цилин дроконической трубки 5, -внутр енн   полость которой предназначена, дл  обработки микропроволоки 6, подаваемой с помощью роликов 7 . В Ве ННу 1The device contains a bath 1 for the working fluid 2, in which the edge of the waveguide 3 of the ultrasonic transducer 4. To the waveguide 3 attach the instrument, made in the shape of a cylindrical tube 5, - the inner cavity of which is intended to process the microwire 6 supplied with using rollers 7. In be nnu 1

помещен лопастньш винт 8, который обеспечивает устранение загр знений из области очистки. Трубка 5 снабжена р дом радиальных отверстий 9.The blade screw 8 is placed, which ensures the elimination of contaminants from the cleaning area. The tube 5 is provided with a series of radial holes 9.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Микропроволока 6 подаетс  посредством роликов 7 в .полость цилинд- роконической трубки 5, наход щейс  в ванне 1с рабочей жидкостью 2;. Посредством ультр азвукового преобразовател  4 создаютс  ультразвуковые колебани , передающиес  через волновод 3 на трубку 5. Вследствие этого микрпроволока 6 вовлекаетс  в колебательный процесс, что позвол ет в .трубке 5 концентрировать каёитационные про- цессы, интенсифицирующие очистку, чтThe microwire 6 is fed by the rollers 7 into the cavity of the cylindro-conical tube 5 contained in the bath 1c with the working fluid 2 ;. Ultrasonic transducer 4 is created by ultrasonic vibrations transmitted through waveguide 3 to tube 5. As a result, microwire 6 is involved in an oscillatory process, which allows concentrating cleaning processes to intensify in tube 5

5five

Q Q

д d

00

5five

30thirty

3535

одновременно с колебани ми микропро- волоцси 6 относительно стенок трубки 5 обеспечивает проведение ее калибровки путем сглаживани  выступов на поверхности микропроволоки 6. Наличие в трубке 5 радиальных отверстий 9 обеспечивает увеличение доступа рабочей жидкости 2 в зону очистки с помощью лопастного винта 8.at the same time with the oscillations of microvoltage 6 relative to the walls of the tube 5, it is calibrated by smoothing the protrusions on the surface of the microwire 6. The presence in the tube 5 of the radial holes 9 provides an increase in the access of the working fluid 2 to the cleaning zone using the propeller screw 8.

В трубке 5 цилиндрический участок чистовой обработки выбирают диаметром ,2-1,7 диаметра микропроволоки 6. Трубка 5 изготавливаетс  из материала твердостью 88,5-91 HRA.In tube 5, the cylindrical finishing section is chosen with a diameter of 2-1.7 microwire 6 diameters. Tube 5 is made of a material with a hardness of 88.5-91 HRA.

Выполнение -участка трубки 5 в виде конуса обеспечивает удобство в загрузке микропроволоки 6 в трубку 5.The execution of the section of the tube 5 in the form of a cone provides ease of loading the microwire 6 into the tube 5.

Формула и 3 о б р е. т е и и  Formula and 3 about b e. T e and and

1.Устройство дл  ультразвуковой обработки микропроволоки, включающее ультразвуковой преобразователь с волноводом и инструментом, выполенным1. A device for ultrasonic processing of microwires, including an ultrasonic transducer with a waveguide and a tool made

в виде цилиндроконической трубки с конической частью в виде конфуэора из материала твердостью 88-91 HRA, отличающеес  тем, что, с целью расширени  функциональных возможностей устройства путем обеспечени  очистки микропроволоки в жидкой, среде, конический участок инструмента имеет сквозные отверсти , смещенные относительно друг друга в диаметральной плоскости трубки.in the form of a cylindrical tube with a conical part in the form of a confueor of material with a hardness of 88-91 HRA, characterized in that, in order to expand the functional capabilities of the device by ensuring the cleaning of the microwire in a liquid medium, the conical section of the tool has through holes that are offset relative to each other in diametral plane of the tube.

2.Устройство по П.1, отличающеес  тем, что отверсти  смещены относительно друг друга по образующей трубки.2. A device according to Claim 1, characterized in that the apertures are offset relative to each other along the generator tube.

Фие.З ЛНе MSffse oi Phie.Z LNe MSffse oi

Фив.2 h не Ю1Thebes.2 h not U1

ФтЛFtl

Claims (2)

Формула изобретенияClaim 1. Устройство для ультразвуковой обработки микропроволоки, включающее ультразвуковой преобразователь с волноводом и инструментом, выполенным в виде цилиндроконической трубки с конической частью в виде конфузора из материала твердостью 88-91 HRA, о т л ич ающе е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства путем обеспечения очистки микропроволоки в жидкой/ среде, конический участок инструмента имеет сквозные отверстия, смещенные относительно друг друга в диаметральной плоскости трубки.1. A device for ultrasonic processing of microwires, including an ultrasonic transducer with a waveguide and an instrument made in the form of a cylindrical conical tube with a conical part in the form of a confuser made of material with a hardness of 88-91 HRA, which requires expansion the device’s functionality by providing microwire cleaning in a liquid / medium, the conical section of the tool has through holes displaced relative to each other in the diametrical plane of the tube. 2. Устройство по п.Г, отличающееся тем, что отверстия смещены относительно друг друга по образующей трубки.2. The device according to p. G, characterized in that the holes are offset relative to each other along the generatrix of the tube. Фие.2Fie. 2