SU1587328A1 - Интерферометр дл измерени рассто ний - Google Patents
Интерферометр дл измерени рассто ний Download PDFInfo
- Publication number
- SU1587328A1 SU1587328A1 SU884499586A SU4499586A SU1587328A1 SU 1587328 A1 SU1587328 A1 SU 1587328A1 SU 884499586 A SU884499586 A SU 884499586A SU 4499586 A SU4499586 A SU 4499586A SU 1587328 A1 SU1587328 A1 SU 1587328A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- radiation
- quarter
- additional
- birefringent crystal
- crystal
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в прецизионных измерени х на основе лазерной интерферометрии. Целью изобретени вл етс расширение диапазона измерений за счет исключени вли ни ограниченности длины когерентности источника света. Излучение от лазера 1, пройд через первую четвертьволновую пластинку 2, становитс циркул рно пол ризованным, и двулучепреломл ющий кристалл 3, работающий в четвертьволновом режиме, под воздействием гармонического сигнала от СВЧ-генератора 10 трансформирует пол ризацию в линейную, ориентаци которой поворачиваетс по гармоническому закону. Отразившись от зеркала 6, закрепленного на контролируемом объекте, излучение попадает на дополнительный двулучепреломл ющий кристалл 8, после чего расщепл етс призмой Волластона. 1 ил.
Description
Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано при прецизионных измерениях расстояний на основе лазерной интерферометрии.
Цель изобретения - расширение диапазона измерений за счет исключения влияния ограниченности длины когерентности источника света.
На чертеже изображена функциональная схема интерферометра.
Интерферометр содержит источник света, выполненный в виде лазера 1, первую четвертьволновую пластинку 2, первый двулучепреломляющий кристалл 3, полупрозрачное зеркало 4, коллиматор 5, зеркала 6 и 7, дополнительный двулучепреломляющий кристалл 8. вторую четвертьволновую пластинку 9, СВЧ-генератор 10, выход которого соединен с кристаллами 3 и 8, призму 11 Валастона, фотоприемники 12 и 13, выходы которых подключены к входу фазового детектора 14, являющегося блоком измерения отношения сигналов.
Интерферометр работает следующим образом.
Плоскополяризованное излучение лазера 1 после прохождения первой четвертьволновой пластинки 2, установленной под углом 45° к плоскости поляризации лазера 1, становится циркулярно поляризованным. Кристалл 3, работающий в четвертьволновом режиме, под воздействием гармонического сигнала генератора 10 трансформирует циркулярную поляризацию падающего на него излучения в линейную поляризацию, ориентация которой поворачивается по гармоническому закону с частотой, равной удвоенной частоте СВЧколебаний генератора 10. Далее лазерное излучение с вращающейся плоскостью поляризации проходит полупрозрачное делительное зеркало 4 . и сквозь коллиматор 5 падает на подвижное зеркало 6.
После отражения от зеркала 6, пройдя через коллиматор 5 и отразившись последовательно от зеркал 4 и 7, излучение проходит через дополнительный кристалл 8, работающий в четвертьволновом режиме. Состояние поляризации излучения на выходе из кристалла 8 определяется с помощью второй четверьволновой пластинки 9 и призмой 11 Валастона излучение расщепляется на две взаимные ортогональные ли1 нейно поляризованные компоненты, интенсивность которых измеряется двумя фотоприемниками 12 и 13. Фаза между сигналами с фотоприемников 12 и 13 определяется с помощью фазового детектора 14, представляющего собой электронное уст ройство для измерения отношения интенсивности двух сигналов.
Максимальное отношение двух сигналов с фотоприемников 12 и 13 будет при 5 длине оптического пути коллиматор 5 - зеркало 6 - коллиматор 5. кратной длине волны вращения плоскости поляризации лазерного излучения. Измеряемое расстояние L определяется соотношением 10 L =4Т— (N +-£-) + К.
η \ 2л/ где N - целое число, известное из приближенного значения расстояния L;
Т = 1 /f, f - частота колебаний СВЧ-гене15 ратора:
η - показатель преломления среды (например, воздуха):
с - скорость света в вакууме:
φ= arctg I1/I2, h и I2 - интенсивности 20 сигналов с фотоприемников 12 и 13:
К- постоянная интерферометра.
При использовании интерферометра отпадает необходимость в применении высокостабилизированных источников лазер25 ного излучения с длиной когерентности порядка длин базы интерферометра. Точность измерения зависит только от точности частоты СВЧ-генератора и точности регистрации фазы φ и может составлять порядок 30 10'5 относительных единиц.
Claims (1)
- Формула изобретенияИнтерферометр для измерения расстояний, содержащий источник света, последовательно установленные по ходу излучения 35 двулучепреломляющий кристалл, полупрозрачное зеркало, коллиматор, зеркало, установленное с возможностью перемещения вдоль направления излучения, и фотоприемник. блок измерения отношения сигналов 40 и СВЧ-генератор, выход которого электрически соединен с кристаллом, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерений, интерферометр снабжен первой и второй четвертьволновыми 45 пластинками, дополнительным двулучепреломляющим кристаллом, дополнительным фотоприемником и призмой Валастона, первая четвертьволновая пластинка размещена между источником света и двулучепреломляющим 50 кристаллом, дополнительный двулучепреломляющий кристалл, вторая четвертьволновад пластинка и призма Валастона установлены последовательно по ходу излучения между полупрозрачным зеркалом и фотоприемником, 55 дополнительный фотоприемник размещен по ходу дополнительно разделенного призмой Валастона излучения, а дополнительный двулучепреломляющий кристалл электрически соединен с выходом СВЧ-генератора.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884499586A SU1587328A1 (ru) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | Интерферометр дл измерени рассто ний |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884499586A SU1587328A1 (ru) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | Интерферометр дл измерени рассто ний |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1587328A1 true SU1587328A1 (ru) | 1990-08-23 |
Family
ID=21406544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884499586A SU1587328A1 (ru) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | Интерферометр дл измерени рассто ний |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1587328A1 (ru) |
-
1988
- 1988-10-31 SU SU884499586A patent/SU1587328A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР N 1179103. кл. G 01 В 9/02. 1985. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4746216A (en) | Angle measuring interferometer | |
US4688940A (en) | Heterodyne interferometer system | |
EP0281385B1 (en) | Plane mirror interferometer | |
US4859066A (en) | Linear and angular displacement measuring interferometer | |
US4717250A (en) | Angle measuring interferometer | |
US4752133A (en) | Differential plane mirror interferometer | |
US5583638A (en) | Angular michelson interferometer and optical wavemeter based on a rotating periscope | |
US3584959A (en) | Shaft position encoders | |
US5493395A (en) | Wavelength variation measuring apparatus | |
US5374991A (en) | Compact distance measuring interferometer | |
EP0433008B1 (en) | Laser interferometric measuring apparatus | |
US5767971A (en) | Apparatus for measuring refractive index of medium using light, displacement measuring system using the same apparatus, and direction-of-polarization rotating unit | |
US3708229A (en) | System for measuring optical path length across layers of small thickness | |
SU1587328A1 (ru) | Интерферометр дл измерени рассто ний | |
JPH02115701A (ja) | レーザー干渉測長計 | |
JPH03269302A (ja) | アブソリュート測長器 | |
WO2004003526A1 (en) | Heterodyne laser interferometer using heterogeneous mode helium-neon laser and super heterodyne phase measuring method | |
RU2147728C1 (ru) | Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины | |
GB1428813A (en) | Polarization interferometer with beam polarizing and retarding mea ns | |
SU765666A1 (ru) | Устройство дл измерени фазочастотных характеристик механических колебаний | |
SU932219A1 (ru) | Двухлучевой интерферометр | |
GB1375091A (ru) | ||
SU1721437A1 (ru) | Способ измерени угловых смещений объекта и устройство дл его осуществлени | |
RU2059198C1 (ru) | Устройство для измерения перемещений | |
Shudong | Optical FM heterodyne interferometry for range and displacement measurements |