SU1545197A1 - Method of interference resolution measurements - Google Patents
Method of interference resolution measurements Download PDFInfo
- Publication number
- SU1545197A1 SU1545197A1 SU874243160A SU4243160A SU1545197A1 SU 1545197 A1 SU1545197 A1 SU 1545197A1 SU 874243160 A SU874243160 A SU 874243160A SU 4243160 A SU4243160 A SU 4243160A SU 1545197 A1 SU1545197 A1 SU 1545197A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- beams
- interference
- interference pattern
- radiation source
- interference resolution
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к способам измерени характеристик светочувствительных материалов и позвол ет повысить точность определени оптимальной экспозиции за счет использовани растра, соответствующего реальному изображению. Дл этого световой поток от источника излучени дел т на две пары интерферирующих пучков во взаимно перпендикул рных плоскост х, которые затем свод т вместе на поверхности исследуемого материала с образованием интерференционной картины в виде точечного растра, соответствующего услови м наилучшей передачи изображени . 1 ил.The invention relates to methods for measuring the characteristics of photosensitive materials and improves the accuracy of determining the optimal exposure by using a raster corresponding to the actual image. For this, the light flux from the radiation source is divided into two pairs of interfering beams in mutually perpendicular planes, which are then brought together on the surface of the material under study to form an interference pattern in the form of a dot pattern corresponding to the conditions of the best image transmission. 1 il.
Description
Изобретение относитс к области фотометрии и может быть использовано при исследовании характеристик светочувствительных материалов.The invention relates to the field of photometry and can be used to study the characteristics of photosensitive materials.
Цель изобретени - повышение точности измерений.The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy.
На чертеже изображено устройство, реализующее способ.The drawing shows a device that implements the method.
Устройство содержит источник 1 излучени , три светоделител 2, зеркала 3 дл выравнивани длины оптических путей, объективы 4 с диафрагмами 5, плоскопараллельную пластину 6, выполненную с возможностью поворота вокруг оси 7, зеркало 8, выполненное в виде четырехгранной призмы,и зеркала 9-12 системы сведени интерферирующих пучков в плоскости испытуемого материала 13.The device contains a radiation source 1, three beam splitters 2, mirrors 3 for aligning the length of optical paths, lenses 4 with diaphragms 5, a plane-parallel plate 6 rotatable around axis 7, a mirror 8 made in the form of a tetrahedral prism, and a mirror 9-12 systems for converting interfering beams in the plane of the test material 13.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Световой поток источника 1 излучени раздел ют с помощью светоделителей 2 на четыре пучка. ВыравниваютThe luminous flux of the radiation source 1 is divided by the beam splitters 2 into four beams. Level out
длины оптических путей с помощью зеркал 3 и направл ют световые пучки через объективы 4 на плоскопараллельную пластину 6, на выходе которой образуютс наборы пучков с различными интенсивност ми. Степень изменени интенсивности в пучках выбирают поворотом плоскопараллельной пластины 6 вокруг оси 7. С помощью зеркал 8- 12 все четыре пучка свод т в плоскости испытываемого материала 13, где они образуют точечный интерференционный растр.optical path lengths using mirrors 3 and direct the light beams through lenses 4 to a plane-parallel plate 6, at the output of which sets of beams are formed with different intensities. The degree of intensity change in the beams is chosen by rotating the plane-parallel plate 6 around the axis 7. With the help of mirrors 8-12, all four beams are brought into the plane of the test material 13, where they form a dotted interference pattern.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874243160A SU1545197A1 (en) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | Method of interference resolution measurements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874243160A SU1545197A1 (en) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | Method of interference resolution measurements |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1545197A1 true SU1545197A1 (en) | 1990-02-23 |
Family
ID=21303553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874243160A SU1545197A1 (en) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | Method of interference resolution measurements |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1545197A1 (en) |
-
1987
- 1987-05-13 SU SU874243160A patent/SU1545197A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 423089, кл. G 03 С 5/02, 15.08.74. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1545197A1 (en) | Method of interference resolution measurements | |
SU1370456A1 (en) | Method of fixing position of object outlines | |
JPH0118371B2 (en) | ||
JPS60247133A (en) | Focal-length measuring method of lens by using moire fringe | |
KR100275617B1 (en) | Phase difference measuring device to easily align the optical axis | |
SU600388A1 (en) | Plane simulator for specifying planenes meters | |
SU1326879A1 (en) | Interferometer | |
SU1275248A1 (en) | Method of measuring optical system distortions | |
RU2159406C2 (en) | Multiple-beam interferometer to measure parameters of parameters of spherical shell | |
SU1486781A1 (en) | Device for measuring deformation of object surface by method of spectrum shift interferometry | |
SU1130747A2 (en) | Raster spectrometer having selective modulation | |
SU1656356A1 (en) | Method of measuring acoustic pressure fluctuations | |
SU823852A1 (en) | Device for measuring element sizes on planar objests | |
SU1265468A1 (en) | Device for measuring geometrical parameters of laser radiation beam | |
SU1620832A1 (en) | Optical device for measuring roughness of surface | |
SU409118A1 (en) | DEVICE FOR RESEARCH OF TRANSPARENT INHOMOGENEITIES | |
SU953892A1 (en) | Device for measuring transverse velocity of rotation of plasma cord | |
SU1458779A1 (en) | Autocollimation method of determining refraction indexes of wedge-shaped specimens | |
SU1067449A1 (en) | Two-dimensional signal spatial spectrum coherent optical analyzer | |
SU1509688A1 (en) | Device for measuring reflection factor of mirror | |
SU1531690A1 (en) | Method and meter for measuring radiation wavelength | |
SU892399A1 (en) | Monochromatic lens for projection photolithography | |
SU1612273A1 (en) | Interference resolution meter | |
SU1095057A1 (en) | Spatial spectrum analyzer | |
RU2039948C1 (en) | Device for polarization measurement of characteristic of clear object |