SU1545197A1 - Method of interference resolution measurements - Google Patents

Method of interference resolution measurements Download PDF

Info

Publication number
SU1545197A1
SU1545197A1 SU874243160A SU4243160A SU1545197A1 SU 1545197 A1 SU1545197 A1 SU 1545197A1 SU 874243160 A SU874243160 A SU 874243160A SU 4243160 A SU4243160 A SU 4243160A SU 1545197 A1 SU1545197 A1 SU 1545197A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
beams
interference
interference pattern
radiation source
interference resolution
Prior art date
Application number
SU874243160A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Михайлович Михайлов
Павел Михайлович Подвигалкин
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4671
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4671 filed Critical Предприятие П/Я Г-4671
Priority to SU874243160A priority Critical patent/SU1545197A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1545197A1 publication Critical patent/SU1545197A1/en

Links

Landscapes

  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к способам измерени  характеристик светочувствительных материалов и позвол ет повысить точность определени  оптимальной экспозиции за счет использовани  растра, соответствующего реальному изображению. Дл  этого световой поток от источника излучени  дел т на две пары интерферирующих пучков во взаимно перпендикул рных плоскост х, которые затем свод т вместе на поверхности исследуемого материала с образованием интерференционной картины в виде точечного растра, соответствующего услови м наилучшей передачи изображени . 1 ил.The invention relates to methods for measuring the characteristics of photosensitive materials and improves the accuracy of determining the optimal exposure by using a raster corresponding to the actual image. For this, the light flux from the radiation source is divided into two pairs of interfering beams in mutually perpendicular planes, which are then brought together on the surface of the material under study to form an interference pattern in the form of a dot pattern corresponding to the conditions of the best image transmission. 1 il.

Description

Изобретение относитс  к области фотометрии и может быть использовано при исследовании характеристик светочувствительных материалов.The invention relates to the field of photometry and can be used to study the characteristics of photosensitive materials.

Цель изобретени  - повышение точности измерений.The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy.

На чертеже изображено устройство, реализующее способ.The drawing shows a device that implements the method.

Устройство содержит источник 1 излучени , три светоделител  2, зеркала 3 дл  выравнивани  длины оптических путей, объективы 4 с диафрагмами 5, плоскопараллельную пластину 6, выполненную с возможностью поворота вокруг оси 7, зеркало 8, выполненное в виде четырехгранной призмы,и зеркала 9-12 системы сведени  интерферирующих пучков в плоскости испытуемого материала 13.The device contains a radiation source 1, three beam splitters 2, mirrors 3 for aligning the length of optical paths, lenses 4 with diaphragms 5, a plane-parallel plate 6 rotatable around axis 7, a mirror 8 made in the form of a tetrahedral prism, and a mirror 9-12 systems for converting interfering beams in the plane of the test material 13.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Световой поток источника 1 излучени  раздел ют с помощью светоделителей 2 на четыре пучка. ВыравниваютThe luminous flux of the radiation source 1 is divided by the beam splitters 2 into four beams. Level out

длины оптических путей с помощью зеркал 3 и направл ют световые пучки через объективы 4 на плоскопараллельную пластину 6, на выходе которой образуютс  наборы пучков с различными интенсивност ми. Степень изменени  интенсивности в пучках выбирают поворотом плоскопараллельной пластины 6 вокруг оси 7. С помощью зеркал 8- 12 все четыре пучка свод т в плоскости испытываемого материала 13, где они образуют точечный интерференционный растр.optical path lengths using mirrors 3 and direct the light beams through lenses 4 to a plane-parallel plate 6, at the output of which sets of beams are formed with different intensities. The degree of intensity change in the beams is chosen by rotating the plane-parallel plate 6 around the axis 7. With the help of mirrors 8-12, all four beams are brought into the plane of the test material 13, where they form a dotted interference pattern.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Способ интерференционной резоль- вометрии, заключающийс  в разделении светового потока от источника излучени  на пучки, которые затем свод т вместе с получением интерференционной картины, ..регистрируемой фотоматериалом , фотометрировании полученного изображени  и определении функции передачи модул ции, о т л и (ЛThe method of interference resolution, which consists in dividing the luminous flux from the radiation source into beams, which are then combined together to obtain an interference pattern recorded by the photographic material, photometry the resulting image and determine the modulation transfer function, about l and (L % сл% cl со with чающийс  тем, что, с целью повышени  точности определени  оптимальной экспозиции, деление светового потока осуществл ют на две парыdue to the fact that, in order to increase the accuracy of determining the optimal exposure, the division of the light flux is carried out into two pairs интерферирующих пучков во взаимно перпендикул рных плоскост х, а после сведени  интерференционную картину получают в виде точечного растра.interfering beams in mutually perpendicular planes, and after mixing, the interference pattern is obtained in the form of a dot pattern.
SU874243160A 1987-05-13 1987-05-13 Method of interference resolution measurements SU1545197A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874243160A SU1545197A1 (en) 1987-05-13 1987-05-13 Method of interference resolution measurements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874243160A SU1545197A1 (en) 1987-05-13 1987-05-13 Method of interference resolution measurements

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1545197A1 true SU1545197A1 (en) 1990-02-23

Family

ID=21303553

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874243160A SU1545197A1 (en) 1987-05-13 1987-05-13 Method of interference resolution measurements

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1545197A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 423089, кл. G 03 С 5/02, 15.08.74. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1545197A1 (en) Method of interference resolution measurements
SU1370456A1 (en) Method of fixing position of object outlines
JPH0118371B2 (en)
JPS60247133A (en) Focal-length measuring method of lens by using moire fringe
KR100275617B1 (en) Phase difference measuring device to easily align the optical axis
SU600388A1 (en) Plane simulator for specifying planenes meters
SU1326879A1 (en) Interferometer
SU1275248A1 (en) Method of measuring optical system distortions
RU2159406C2 (en) Multiple-beam interferometer to measure parameters of parameters of spherical shell
SU1486781A1 (en) Device for measuring deformation of object surface by method of spectrum shift interferometry
SU1130747A2 (en) Raster spectrometer having selective modulation
SU1656356A1 (en) Method of measuring acoustic pressure fluctuations
SU823852A1 (en) Device for measuring element sizes on planar objests
SU1265468A1 (en) Device for measuring geometrical parameters of laser radiation beam
SU1620832A1 (en) Optical device for measuring roughness of surface
SU409118A1 (en) DEVICE FOR RESEARCH OF TRANSPARENT INHOMOGENEITIES
SU953892A1 (en) Device for measuring transverse velocity of rotation of plasma cord
SU1458779A1 (en) Autocollimation method of determining refraction indexes of wedge-shaped specimens
SU1067449A1 (en) Two-dimensional signal spatial spectrum coherent optical analyzer
SU1509688A1 (en) Device for measuring reflection factor of mirror
SU1531690A1 (en) Method and meter for measuring radiation wavelength
SU892399A1 (en) Monochromatic lens for projection photolithography
SU1612273A1 (en) Interference resolution meter
SU1095057A1 (en) Spatial spectrum analyzer
RU2039948C1 (en) Device for polarization measurement of characteristic of clear object