SU1518670A1 - Устройство дл контрол шероховатости поверхности - Google Patents
Устройство дл контрол шероховатости поверхности Download PDFInfo
- Publication number
- SU1518670A1 SU1518670A1 SU884376519A SU4376519A SU1518670A1 SU 1518670 A1 SU1518670 A1 SU 1518670A1 SU 884376519 A SU884376519 A SU 884376519A SU 4376519 A SU4376519 A SU 4376519A SU 1518670 A1 SU1518670 A1 SU 1518670A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- photodetector
- radiation
- photoreceiver
- radiation source
- sensitive area
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к приборам, предназначенным дл исследовани и контрол шероховатости поверхности по методу темного пол . Цель изобретени - уменьшение габаритов устройства за счет исключени из конструкции световода большой длины и диафрагм (зон нечувствительности). Устройство содержит точечный монохроматический источник 1 излучени , установленный в отверстии фотоприемника 2, подключенного к регистратору 3. На чувствительную площадку фотоприемника 2 нанесено интерференционное покрытие 4 переменной толщины, определ емой из услови максимального отражени зеркальной составл ющей лучистого потока. 3 ил.
Description
СП
00 05
О
Ф1/г.7
Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к приборам , предназначенным дл исследовани и контрол шероховатости поверхности по методу темного пол .
Цель изобретени - улучшение габаритов устройства за счет ис1 люче- ни из конструкции световоДа большой длины и диафрагм (зон нечувствительности ) .
ita фиг.) показана принципиальна схема устройства; на фиг.2 и 3 - ход лучей в покрытии при вьщелении рассе нной составл ющей отраженного от контролируемой поверхности потока излучени ,
Устройство состоит из монохроматического точечного источника 1 излучени , установленного в отверстии чувствительной площадки фотоприемника 2, подключен}юго к регистратору 3. На чувствительную площадку на- Hecefio интерференционное покрытие 4 переменной толщины, определ емой по формуле
k
hXx)
где n - показатель преломлени пленочного покрыти ; 1 - длина волны излучени ; h - толщина покрыти ; k - 1, 2, 3 - .. - целое число; X - рассто ние от центра отверсти фотоприемника до точки падени луча.
Источник 1 излучени , фотоприемник 2 и электр1-г1еские выводы к ним установлены в корпусе 5. Устройство удалено от контролируемой поверхности 6 на заданное рассто ние 1.
Устройство работает следующим образом .
От источника 1 излучение падает на кoнтpoлиpye ryю поверхность 6, отражаетс от нее и попадает на интер- фере 1ционное покрытие 4. При зтом отраженный поток содержит две составл ющие: зеркальную, интенсивностью I,, попадающую на фотоприемник 2 под углом падени б и рассе нную, интенсивностью IP, котора попадает на фотоприемник 2 под углами, отличными от б .
Если в точке, удаленной от центра отверсти фотоприемника 2 на рассто - ние X, толщина пленки будет такой,
что оптическа разность хода между интерферирующими лучами а и b кратна длине волны, то попадающа в эту точку под углом 8 зеркальна составл юща будет максимально усилена
при отражении и не проходит через пленку. В то же врем рассе нна составл юща (лучи е, f),попадаю- ща D зту же точку от других участков контролируемой поверхности 6, имеет
углы падени , отличные от 0 . Вследствие этого интерферирующие на границе покрыти лучи е , е и f , f имеют разность фаз, не кратную , и рассе нна составл юща (лучи е, Г)
поступает на чувствительную площадку фотоприемника 2. По величине электру - ческого сигнала фотопр 1емн1 ка 2, пропорционального рассе нной составл ющей , в регистраторе 3 оцениваетс lueроховатость контролируемой поверхности 6 .
I
В качестве источника 1 излучени с устройстве могут быть использованы бескорпусные полупроводниковые свето- диоды (например, арсенид-галлиевые типа ЛЛ 109), отличающиес узким спектром излучен11Я, фотоприемником 2 могут служить чувствительные площадки фотодиодов на основе кремни , обеспечивающие хорошее согласование по спектру с арсенид-галлиевыми све- тодиодами.
40
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл контрол шероховатости поверхности, содержащее источник злучени , фотоприемник с отверстием , в котором установлен источник излучени , и регистратор, подключен- ньм к фотоприемнику, отличающеес тем, что, с целью уменьшени габаритов устройства, на чувствительную площадку фотоприемника нанесено интерференционное покрытие переменной толщины, определ емой из услови максимального отражени зеркальной составл ющей потока излучени .lif VvOi//e fr/ /// // // f/CD иг. гШиг.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884376519A SU1518670A1 (ru) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | Устройство дл контрол шероховатости поверхности |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884376519A SU1518670A1 (ru) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | Устройство дл контрол шероховатости поверхности |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1518670A1 true SU1518670A1 (ru) | 1989-10-30 |
Family
ID=21354903
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884376519A SU1518670A1 (ru) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | Устройство дл контрол шероховатости поверхности |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1518670A1 (ru) |
-
1988
- 1988-02-12 SU SU884376519A patent/SU1518670A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетелг ство СССР if 1374045,кл. G 01 В 11/30, 28.04.86. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5154512A (en) | Non-contact techniques for measuring temperature or radiation-heated objects | |
US6130753A (en) | Laser optical density measurement system | |
EP0214040B1 (en) | Fiber-optic sensor | |
US4451147A (en) | Refractometer | |
US4371785A (en) | Method and apparatus for detection and analysis of fluids | |
US4671651A (en) | Solid-state optical temperature measuring device | |
US6836330B2 (en) | Optical beamsplitter for a polarization insensitive wavelength detector and a polarization sensor | |
SU1518670A1 (ru) | Устройство дл контрол шероховатости поверхности | |
FR2594556A1 (fr) | Procede et dispositif de determination de la position d'un objet | |
SU1686321A1 (ru) | Устройство дл измерени звукового давлени | |
SU538220A1 (ru) | Датчик углового положени | |
SU1753271A1 (ru) | Способ определени параметров вибрации | |
SU523303A1 (ru) | Фотометрическое устройство | |
RU2179304C2 (ru) | Фоторегистратор движущейся метки | |
RU1768967C (ru) | Устройство дл контрол шероховатости поверхности | |
RU2033603C1 (ru) | Способ измерения коэффициента отражения | |
SU1483286A1 (ru) | Интерференционный спектральный прибор | |
SU1733923A1 (ru) | Фотоэлектрический способ контрол углового положени излучател и устройство дл его осуществлени | |
RU1824594C (ru) | Устройство оптического спектрального анализа двумерных сигналов | |
RU1768973C (ru) | Устройство измерени геометрических параметров поверхностей | |
SU1716360A1 (ru) | Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объектива | |
SU1286965A1 (ru) | Устройство дл определени отражательной способности материалов | |
SU1027510A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров малых объектов | |
SU1330463A1 (ru) | Бесконтактный оптический способ определени высоты шероховатости поверхности | |
RU2077753C1 (ru) | Способ и устройство определения электрофизических параметров полупроводниковой пластины |