SU1509791A1 - Achromatic anti-reflecting coating - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к интерференционным покрыти м дл  оптических деталей, примен емых в оптическом приборостроении и лазерной технике, и позвол ет снизить коэффициент отражени  и повысить его равномерность по спектру дл  оптических элементов из материалов с измен ющимс  по закону нормальной дисперсии от значени  2,44 до 2,2 показателем преломлени . Покрытие состоит из трех слоев, оптические толщины которых, счита  от подложки, составл ют соответственно (0,56 ± 0,04) λ₀/4, (0,68 ± 0,02) λ₀/4, (0,88 ± 0,02) λ₀/4, а показатели преломлени  N₁ = 2,09 ± 0,03, N₂ = 1,86 ± 0,02, N₃ = 1,37 ± 0,02.The invention relates to interference coatings for optical components used in optical instrumentation and laser technology, and reduces the reflection coefficient and improves its spectrum uniformity for optical elements made of materials with a normal dispersion variable from 2.44 to 2. , 2 refractive index. The coating is composed of three layers whose optical thicknesses, counting from the substrate, constitute respectively (0,56 ± 0,04) λ _0/4, (0,68 ± 0,02) λ _0/4, (0,88 ± 0,02) λ _0/4, and the refractive indices N = ₁ 2.09 ± 0.03, N = ₂ 1.86 ± 0.02, N ₃ = 1,37 ± 0,02.

Description

Изобретение относитс  к интерференционным покрыти м, примен емым в оптическом приборостроении и лазерной технике.The invention relates to interference coatings used in optical instrumentation and laser technology.

Целью изобретени   вл етс  снижение коэффициента отражени  и повьше- ние его равномерности по спектру дл  оптических элементов из материалов с измен ющимс  по закону нормальной дисперсии от значени  2,44 до 2,2 показателем преломлени .The aim of the invention is to reduce the reflection coefficient and increase its spectral uniformity for optical elements made of materials with a varied refractive index according to the law of normal dispersion.

На чертеже приведены спектральные зависимости коэффициента отражени  оптических элементов из парателлури- та (TeO,j) и ниобата лити  (LiNbOj) с предлагаемым трехслойным просветл ющим покрытием.The drawing shows the spectral dependences of the reflection coefficient of optical elements from paratellurite (TeO, j) and lithium niobate (LiNbOj) with the proposed three-layer anti-reflective coating.

Терхслойное просветл ющее интерференционное покрытие изготавливают путем вакуумного осаждени  на оптические элементы из кристаллов парател- лурита (ТеО) или ниобата лити  (NiNbOj) слоев испар емых электронно-лучевым способом веществ из двуокиси циркони  в качестве пленкооб- раззтощего вещества с наибольшим значением показател  преломпени  п,, окиси иттри  - в качестве пленкообразующего вещества со средним показателем преломлени  п и фтористого магни  - в качестве пленкообразующего вещества с низким показателем преломлени  Hj. При этом используют фото- метрический контроль оптической толСПThe interlayer antireflection coating is made by vacuum deposition onto optical elements from paratellurite (TeO) or lithium niobate (NiNbOj) crystals of the zirconium dioxide vaporized material as the film-forming agent with the highest value of the indicator , yttrium oxides - as a film-forming substance with an average refractive index η and magnesium fluoride - as a film-forming substance with a low refractive index Hj. At the same time, photometric control of optical toreboard is used.

о со vlabout with vl

соwith

10ten

гg

гg

г.2d.2

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Ахроматическое просветляющее покрытие, нанесенное на оптический эле- 20 мент, состоящее из трех слоев, последний из которых, считая от оптического элемента, выполнен из материала с наименьшим показателем преломления·, отличающееся тем, что, с целью снижения коэффициента отражения и повышения его равномерности по спектру для оптических элементов из материалов с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,44 до 2,2 показателем преломления, оптические толщины слоев, считая от подложки, составляют соответственно (0,56±0,04) , (0,68t0,02) , (0,88+0,02) , а показатели преломления п,=2,О9+О,ОЗ, п₂=1,86+0,02, п_э = 1 ,37+0,02', где Д_о - длина волны середины спектральной области про-¹ светления.An achromatic antireflection coating applied to an optical element, consisting of three layers, the last of which, counting from the optical element, is made of a material with the lowest refractive index ·, characterized in that, in order to reduce the reflection coefficient and increase its uniformity in spectrum for optical elements made of materials with a normal refractive index varying from 2.44 to 2.2 the refractive index, the optical thicknesses of the layers, counting from the substrate, are respectively (0.56 ± 0.04), (0.68t0.02 ), (0, 88 + 0.02), and the refractive indices n, = 2, O9 + O, OZ, n ₂ = 1.86 + 0.02, n _e = 1, 37 + 0.02 ', where D _o is the wavelength the middle of the spectral region ^of illumination.