SU1509694A1 - Устройство дл регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы - Google Patents
Устройство дл регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы Download PDFInfo
- Publication number
- SU1509694A1 SU1509694A1 SU874228968A SU4228968A SU1509694A1 SU 1509694 A1 SU1509694 A1 SU 1509694A1 SU 874228968 A SU874228968 A SU 874228968A SU 4228968 A SU4228968 A SU 4228968A SU 1509694 A1 SU1509694 A1 SU 1509694A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- output
- unit
- signal
- absolute
- scanning
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл регистрации дефектов на поверхности круглых объектов, например полупроводниковых пластин, оптических линз и т.п. Цель изобретени - повышение точности регистрации дефектов путем увеличени достоверности определени кра контролируемого объекта. Дл этого в устройстве, содержащем источник света, блок сканировани , фотоприемник, блок определени кра объекта, выходом подключенный к первому входу ключа, соединенного со счетчиком дефектов, фотоприемник подключен к второму входу ключа, а блок определени кра объекта содержит фазовращатель на 90°, первый и второй блоки выделени абсолютной величины сигнала, подключенные соответственно к первому и второму входам компаратора, выход которого вл етс выходом блока определени кра . Первый блок выделени абсолютной величины сигнала через фазовращатель подключен к выходу кадровой развертки блока сканировани , к выходу строчной развертки которого подключен второй блок выделени абсолютной величины сигнала. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл регистрации дефектов на поверхности круглых объектов, например полупроводниковых пластин, оптических линз и т.п.
Цель изобретени - повышение точности регистрации дефектов путем увеличени достоверности определени контролируемого объекта.
На чертеже представлена блок-схе- 1, ма устройства.
стройство содержит источник 1 свё- та, например лазер, установленный по
ходу луча, блок 2 сканировани , фотоприемник 3, размещенный над контролируемым объектом 4, блок 5 определени кра объекта, выходом подключенный к первому входу ключа 6, подключенного к счетчику 7 дефектов. Блок 5 определени кра объекта состоит из фазовращател 8 на 90°, блоков 9 и 10 выделени абсолютной величины сигнала, предназначенных дл определени модул переменного электрического сигнала, и компаратора II, выI
ход которого вл етс выходом блока 5 определени кра объекта. Второй
ел
О
;о
Од
со 4;
вход ключа 6 подключен к фотоприемнику 3, Вход блока 9 через фазовраща тель 8 подключен к первому выкоду (выход К кадровой развертки), блока 2 сканировани , к второму выходу (выход С строчной развертки), которого подключен вход блока 10, Выходы блоков 9 и 10 вьвделени абсолютной величины сигнала подключены со ответственно к первому и второму входам компаратора 11,
Устройство работает следующим образом.
Луч света от источника 1 отклон етс блоком 2 сканировани в двух взаимно перпендикул рных направлени х (по строке и по кадру) и попадает На объект 4, Рассе нный дефектами свет воспринимаетс фотоприемни- ком 3, который преобразует его в электрический сигнал Указанный сигнал через первый вход ключа 6 поступает на счетчик 7 дефектов. Блок 2 сканировани формирует квадратньй растр с величиной стороны квадрата, равной диаметру объекта 4, причем объект вписан в растр.
Кадровое сканирование осуществл ют по синусоидальному зако у, зада- ваемому напр жением кадровой развертки
к
(0.,t
9694
jg 5 20 25
f(t) - функци времени.
Отклонение луча от середины растра в направлении строки, обусловленное напр жением U., имеет вид
У -|-f(t).
Впок 5 определени кра объекта работает следующим образом,
С выхода кадровой развертки сигнал U|j поступает на фазовращатель 8 и блок 9 вьщелени абсолютной величины с
и.
сигнала, после чего преобразуетв
и;, и.
Дл А
положительных значений и . «j - n-costo t. Указанный сигнал поступает на первый вход компаратора . 1 1 , С выхода строчной развертки сигнал Up поступает на блок 10 вьщелени абсолютной величины сигнала и
преобразуетс в ных значений U,
и:
:и;
Дл положитель- j(. .Up A f(t). Указанный сигнал поступает на второй вход компаратора 11, Поскольку в момент времени t сигналы U Af (), ir, A-cosco tcpae , TO A f (tcppg ) A coso t pjjg. Положе ние луча на объекте в этот момент времени обусловлено соответствующими сигналами u и Ujl и определ етс от отклонением луча от середины растра:
в направлении кадра х в направлении строки у
-2 кtepa -|-СО кЬсроБ.
где А - амплитуда сигнала;
частота кадрового скани ровани ;
текущее врем . При выборе системы координат с центром, совпадающим с центром растра отклонение луча от середины растра в направлении кадра, обусловленное напр жением UM, имеет вид
X -T- SincO t,
где а - размер стороны растра (диаметр контролируемого объекта) Строчное сканирование осуществи л ют по любому периодическому закону, задаваемому напр жением строчной развертки
и, A.f(t),
где А - амплитуда сигнала, равна
амплитуде напр жени кадровой развертки;
Следовательно,координаты луча в момент срабатывани компаратора 11 имеют вид
у cosQ tcpoe
X - sino3Rtcpo(6 ..
Полученна система уравнений вл етс параметрической записью окружности и характеризует все положени луча на объекте, при которых срабатьюает компаратор,Причем эта окружность вписана в квадратный растр и соответствует кра м контролируемого объекта. Устройство работает аналогично и в случае, если первый выход блока сканировани соответствует - строчной развертке, а второй - кадровой ,
С выхода компаратора 11 на вход
ключа 6 поступает сигнал, открьшающий ключ при нахождении сканирующего луч ча внутри .окружности (в пределах объекта) и закрывающий ключ npi{ на5 15096946
хождений луча вне ее (на Несущей norподключенный к первому входу ключа,
выход которого подключен к регистра- jTopy, отличающеес
5
верхности,на которой размещен объект). В результате на регистратор 7 (счетчик дефектов) поступают сигналы , зарегистрированные фотоприемником при нахождении луча только внутри круглой контролируемой области, т.е. фактически на самом объекте.
тем,
что, с целью поВЕлпени точности регистрации путем увеличени достоверности определени кра контролируемого объекта, фотоприемник подключен к второму входу ключа, блок определени
Устройство позвол ет повысить точ- о кра содержит фазовращатель на 90
ность регистрации дефектов путем повышени достоверности определени кра объекта и исключить ложное сра-- батывание при наличии дефектов вне объекта на несущей поверхности, так как на счетчик 7 дефектов поступают только сигналы, полученные от конт- ролируёмого объекта, а сигналы деектов поверхности;, на которой размещен объект, исключаютс из рассмотрени .
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы, содержащее источник света,.блок сканировани , фотопри- емник, ключ, регистратор и блок определени кра объекта, своим выходомвыход которого подключен к регистра- Topy, отличающеестем,что, с целью поВЕлпени точности регистрации путем увеличени достоверности определени кра контролируемого объекта, фотоприемник подключен к второму входу ключа, блок определенипервый и второй блоки вьщелени абсолютной величииы сигнала и компаратор выход которого вл етс выходом блока определени кра , причем вход первогоблока вьщелени абсолютной величины сигнала через фазовращатель подключен к первому выходу блока сканировани , к второму выходу которого подключен вход второго блока вьщелеии абсолютной величины сигнала, при этом выхо-, ды первого и второго блоков вьщелени абсолютной величины сигнала подключены соответственно к первому и второму входам компаратора, а сканировани вьптолнен с возможностьюсинусоидального от времени скаиирова ни по координате, соЪтветствующей первому его выходу, и любого периодического сканировани по координате, соответствующей второму его выходу.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874228968A SU1509694A1 (ru) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | Устройство дл регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874228968A SU1509694A1 (ru) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | Устройство дл регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1509694A1 true SU1509694A1 (ru) | 1989-09-23 |
Family
ID=21297968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874228968A SU1509694A1 (ru) | 1987-04-13 | 1987-04-13 | Устройство дл регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1509694A1 (ru) |
-
1987
- 1987-04-13 SU SU874228968A patent/SU1509694A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
За вка GB JP 1507548, кл. С 01 N 21/48, 1978. За вка GB № 1502948, кл. G 01 N 21/32, 1978. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7965384B2 (en) | Clutter rejection in active object detection systems | |
US4676634A (en) | Detector device for a rotating light beam | |
Adams et al. | The interpretation of phase and intensity data from AMCW light detection sensors for reliable ranging | |
US4652765A (en) | Edge detecting device in optical measuring instrument | |
KR960016171B1 (ko) | 병의 측벽 검사장치 | |
SU1509694A1 (ru) | Устройство дл регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы | |
GB1399298A (en) | Photoelectric surface scanning device | |
US4045140A (en) | Means for near real time C-W laser source characterization | |
JP3280742B2 (ja) | ガラス基板用欠陥検査装置 | |
US3357298A (en) | Star tracker including angularly disposed photoelectric strip surfaces | |
JPH03102249A (ja) | 異物検出方法およびその装置 | |
GB2070877A (en) | Range finding apparatus | |
GB2070879A (en) | Range finding apparatus | |
JPH07113757A (ja) | 透光性物体の欠点検出方法 | |
JPH09264727A (ja) | 検査装置 | |
SU1137296A1 (ru) | Устройство дл контрол положени объекта | |
JPH0827238B2 (ja) | 表面検査装置 | |
SU1767478A2 (ru) | Устройство дл контрол положени мобильного объекта относительно ориентирующей линии | |
JPH0239737B2 (ru) | ||
SU1446549A1 (ru) | Устройство дл вихретокового контрол | |
JPS61198008A (ja) | 画像検出装置 | |
RU2096810C1 (ru) | Устройство определения дальности | |
DE3331552A1 (de) | Optisches einweg-entfernungsmessverfahren | |
SU1339441A1 (ru) | Способ измерени размеров и концентрации взвешенных частиц и устройство дл его осуществлени | |
SU1200172A1 (ru) | Устройство дл определени краевого угла |