SU1509694A1 - Устройство дл регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  регистрации дефектов на поверхности круглых объектов, например полупроводниковых пластин, оптических линз и т.п. Цель изобретени  - повышение точности регистрации дефектов путем увеличени  достоверности определени  кра  контролируемого объекта. Дл  этого в устройстве, содержащем источник света, блок сканировани , фотоприемник, блок определени  кра  объекта, выходом подключенный к первому входу ключа, соединенного со счетчиком дефектов, фотоприемник подключен к второму входу ключа, а блок определени  кра  объекта содержит фазовращатель на 90°, первый и второй блоки выделени  абсолютной величины сигнала, подключенные соответственно к первому и второму входам компаратора, выход которого  вл етс  выходом блока определени  кра . Первый блок выделени  абсолютной величины сигнала через фазовращатель подключен к выходу кадровой развертки блока сканировани , к выходу строчной развертки которого подключен второй блок выделени  абсолютной величины сигнала. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  регистрации дефектов на поверхности круглых объектов, например полупроводниковых пластин, оптических линз и т.п.

Цель изобретени  - повышение точности регистрации дефектов путем увеличени  достоверности определени  контролируемого объекта.

На чертеже представлена блок-схе- 1, ма устройства.

стройство содержит источник 1 свё- та, например лазер, установленный по

ходу луча, блок 2 сканировани , фотоприемник 3, размещенный над контролируемым объектом 4, блок 5 определени  кра  объекта, выходом подключенный к первому входу ключа 6, подключенного к счетчику 7 дефектов. Блок 5 определени  кра  объекта состоит из фазовращател  8 на 90°, блоков 9 и 10 выделени  абсолютной величины сигнала, предназначенных дл  определени  модул  переменного электрического сигнала, и компаратора II, выI

ход которого  вл етс  выходом блока 5 определени  кра  объекта. Второй

ел

О

;о

Од

со 4;

вход ключа 6 подключен к фотоприемнику 3, Вход блока 9 через фазовраща тель 8 подключен к первому выкоду (выход К кадровой развертки), блока 2 сканировани , к второму выходу (выход С строчной развертки), которого подключен вход блока 10, Выходы блоков 9 и 10 вьвделени  абсолютной величины сигнала подключены со ответственно к первому и второму входам компаратора 11,

Устройство работает следующим образом.

Луч света от источника 1 отклон етс  блоком 2 сканировани  в двух взаимно перпендикул рных направлени х (по строке и по кадру) и попадает На объект 4, Рассе нный дефектами свет воспринимаетс  фотоприемни- ком 3, который преобразует его в электрический сигнал Указанный сигнал через первый вход ключа 6 поступает на счетчик 7 дефектов. Блок 2 сканировани  формирует квадратньй растр с величиной стороны квадрата, равной диаметру объекта 4, причем объект вписан в растр.

Кадровое сканирование осуществл ют по синусоидальному зако у, зада- ваемому напр жением кадровой развертки

к

(0.,t

9694

jg 5 20 25

f(t) - функци  времени.

Отклонение луча от середины растра в направлении строки, обусловленное напр жением U., имеет вид

У -|-f(t).

Впок 5 определени  кра  объекта работает следующим образом,

С выхода кадровой развертки сигнал U|j поступает на фазовращатель 8 и блок 9 вьщелени  абсолютной величины с 

и.

сигнала, после чего преобразуетв

и;, и.

Дл  А

положительных значений и . «j - n-costo t. Указанный сигнал поступает на первый вход компаратора . 1 1 , С выхода строчной развертки сигнал Up поступает на блок 10 вьщелени  абсолютной величины сигнала и

преобразуетс  в ных значений U,

и:

:и;

Дл  положитель- j(. .Up A f(t). Указанный сигнал поступает на второй вход компаратора 11, Поскольку в момент времени t сигналы U Af (), ir, A-cosco tcpae , TO A f (tcppg ) A coso t pjjg. Положе ние луча на объекте в этот момент времени обусловлено соответствующими сигналами u и Ujl и определ етс  от отклонением луча от середины растра:

в направлении кадра х в направлении строки у

-2 кtepa -|-СО кЬсроБ.

где А - амплитуда сигнала;

частота кадрового скани ровани ;

текущее врем . При выборе системы координат с центром, совпадающим с центром растра отклонение луча от середины растра в направлении кадра, обусловленное напр жением UM, имеет вид

X -T- SincO t,

где а - размер стороны растра (диаметр контролируемого объекта) Строчное сканирование осуществи л ют по любому периодическому закону, задаваемому напр жением строчной развертки

и, A.f(t),

где А - амплитуда сигнала, равна 

амплитуде напр жени  кадровой развертки;

Следовательно,координаты луча в момент срабатывани  компаратора 11 имеют вид

у cosQ tcpoe

X - sino3Rtcpo(6 ..

Полученна  система уравнений  вл етс  параметрической записью окружности и характеризует все положени  луча на объекте, при которых срабатьюает компаратор,Причем эта окружность вписана в квадратный растр и соответствует кра м контролируемого объекта. Устройство работает аналогично и в случае, если первый выход блока сканировани  соответствует - строчной развертке, а второй - кадровой ,

С выхода компаратора 11 на вход

ключа 6 поступает сигнал, открьшающий ключ при нахождении сканирующего луч ча внутри .окружности (в пределах объекта) и закрывающий ключ npi{ на5 15096946

хождений луча вне ее (на Несущей norподключенный к первому входу ключа,

выход которого подключен к регистра- jTopy, отличающеес 

5

верхности,на которой размещен объект). В результате на регистратор 7 (счетчик дефектов) поступают сигналы , зарегистрированные фотоприемником при нахождении луча только внутри круглой контролируемой области, т.е. фактически на самом объекте.

тем,

что, с целью поВЕлпени  точности регистрации путем увеличени  достоверности определени  кра  контролируемого объекта, фотоприемник подключен к второму входу ключа, блок определени 

Устройство позвол ет повысить точ- о кра  содержит фазовращатель на 90

ность регистрации дефектов путем повышени  достоверности определени  кра  объекта и исключить ложное сра-- батывание при наличии дефектов вне объекта на несущей поверхности, так как на счетчик 7 дефектов поступают только сигналы, полученные от конт- ролируёмого объекта, а сигналы деектов поверхности;, на которой размещен объект, исключаютс  из рассмотрени  .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  регистрации дефектов на поверхности объектов круглой формы, содержащее источник света,.блок сканировани , фотопри- емник, ключ, регистратор и блок определени  кра  объекта, своим выходом

   выход которого подключен к регистра- Topy, отличающеес 

   тем,

   что, с целью поВЕлпени  точности регистрации путем увеличени  достоверности определени  кра  контролируемого объекта, фотоприемник подключен к второму входу ключа, блок определени 

   первый и второй блоки вьщелени  абсолютной величииы сигнала и компаратор выход которого  вл етс  выходом блока определени  кра , причем вход первого

   блока вьщелени  абсолютной величины сигнала через фазовращатель подключен к первому выходу блока сканировани , к второму выходу которого подключен вход второго блока вьщелеии  абсолютной величины сигнала, при этом выхо-, ды первого и второго блоков вьщелени  абсолютной величины сигнала подключены соответственно к первому и второму входам компаратора, а сканировани  вьптолнен с возможностью

   синусоидального от времени скаиирова ни  по координате, соЪтветствующей первому его выходу, и любого периодического сканировани  по координате, соответствующей второму его выходу.