SU1478007A1 - Установка дл тепловой обработки изделий - Google Patents

Abstract

Изобретение может быть использовано при сушке плоских изделий, полупроводниковых микроплат в микроэлектронике дл  инфракрасной термообработки. Цель изобретени  - повышение качества термообработки и уменьшение габаритов установки. Лента 9 транспортера выполнена в виде нескольких р дов стальных тросиков, соединенных между собой сборными клеммовыми зажимами. Каждый ролик транспортера выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводном и нат жных роликах меньшими основани ми, а в нажимных роликах - большими основани ми. Под рабочей ветвью транспортера перпендикул рно его оси размещен перфорированный газораспределитель 20, а над ветвью установлены продольные трубопроводы 21, снабженные эжекторами. Сборные клеммовые зажимы м.б. выполнены в виде планок с канавками и установлены в шахматном пор дке. Охлажденный газообразный азот проходит через транспортер и охлаждает микроплаты и нагретый отбрасываетс  трубопроводом 21. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Description

тера перпендикул рно его оси дополни- 40 р дов стальных тросиков, соединенных

тельно размещен газораспределитель 20, а над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы 21, снабженные эжекторами. На обращенной в сторону транспортера поверхности газораспределител  20 выполнены отверсти  22 перфорации. Обрабатываемы издели  23 например, полупроводниковые микроплаты устанавливаютс  в кассетах 24 на загрузку. Приводной ролик св зан цепной передачей 25 с приводом 26, управление которым осуществл етс  от блока 27 электроавтоматики . Каждый ролик 6-8 выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводных 6 и нат жных 8 роликах меньшими основани ми , а в нажимных 7 роликах - большими основани ми, Сборные клеммежду собой сборными клеммовыми зажимами , и каждый ролик транспортера выполнен в виде пары усеченных конусов , соединенных друг с другом в приводном и нат жных роликах меньшими основани ми, а в нажимных роликах - большими основани ми, при этом под рабочей ветвью транспортера перпендикул рно его оси дополнительно размеЩен перфорированный газораспределитель , а над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы, снабженные эжекторами,

2. Установка по п. 1, о т л и чающа с  тем, что сборный клеммовый зажим выполнен в виде планок с канавками, соединенных посредством двух штифтов со сферическими головками, и винта.

3 14780074

3. Установка по пп, 1 и 2, от-клеммовые рлспо-юлопы в пыхличающа с  тем, что сборныематном пор дке.

/ Z3

.2

/1 ,и

/

Фаг.З

19

Ъ

Фиг.б

478007

Claims (3)

1. Установка для тепловой обработки изделий, преимущественно микроплат, содержащая многозонную камеру с последовательно соединенными зона30 ми предварительной обработки, сушки . с ИК-излучателями и окончательной обработки, и ленточный транспортер с приводным и натяжным роликами, о тличающаяся тем, что, с це35 лью повышения качества термообработки и уменьшения габаритов, транспортер снабжен нажимными и дополнительным натяжным роликами, лента транспортера выполнена в виде нескольких 40 рядов стальных тросиков, соединенных между собой сборными клеммовыми зажимами, и каждый ролик транспортера выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в при45 водном и натяжных роликах мёньшими основаниями, а в нажимных роликах большими основаниями, при этом под рабочей ветвью транспортера перпендикулярно его оси дополнительно разме50 щен перфорированный газораспределитель, а-над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы, снабженные эжекторами,

2. Установка по π. 1, о т л и -

55 чающаяся тем, что сборный клеммовый зажим выполнен в виде планок с канавками, соединенных посредством двух штифтов со сферическими головками, и винта.

3. Установка по пп, 1 и 2, отличающаяся тем, что сборные клеимовые зажимы расположены в шах· матном порядке.