SU1466028A1 - Apparatus for positioning articles, particularly secondary process holders - Google Patents

Abstract

Изобретение может быть использовано в автоматических лини х дл  изготовлени  интегральных схем. Устройство позиционировани  (П) изделий, преимущественно вторичных технологических кассет (ВТК), содержит механизм П в виде штоков 11 с роликами 10 на свободных концах, контактирующих с роликами базовых элементов изделий , и приводы 7 возвратно-поступательного перемещени  штоков 11. Базовые элементы изделий выполнены в виде двух планок 5, закрепленных параллельно друг другу на днище ВТК и ортогонально их плоскости П. На боковых поверхност х планок 5 под роликами 10 имеютс  направл ющие гнезда (ИГ) 8 треугольной формы, грани которых параллельны оси роликов 10 и ортогональны плоскости П. НГ 8 могут быть выполнены как на внешней, так и на внутренней боковой поверхности планок 5. Штоки 11 вьщвигаютс , ролики 10 вход т в НГ 8 и, опира сь на их грани, осуществл ют П. Устройство имеет повьш1енные технологические возможности. 6 ил. о (ЛThe invention can be used in automatic lines for the manufacture of integrated circuits. The device for positioning (P) products, mainly secondary technological cassettes (VTK), contains mechanism P in the form of rods 11 with rollers 10 at free ends in contact with the rollers of the base elements of the products, and actuators 7 of reciprocating movement of the rods 11. in the form of two strips 5 fixed parallel to each other on the bottom of the CTA and orthogonal to their plane P. On the side surfaces of the strips 5 under the rollers 10 there are triangular shaped guide slots (IG) 8 whose faces are parallel The axes of the rollers 10 are orthogonal to the planes P. NG 8 can be made both on the outer and on the inner side surface of the laths 5. The rods 11 are moved, the rollers 10 are included in the NG 8 and, resting on their faces, P. The device has increased technological capabilities. 6 Il. o (l

Description

4four

О О5About O5

о toabout to

0000

.2.2

1 313

ff

1one

ФигFig

Фиг.55

Фиг.66

Claims (1)

Формула изобретения Устройство позиционирования изделий, преимущественно вторичных технологических кассет, содержащее механизм позиционирования в виде штоков с роликами на свободных концах, установленных с возможностью контактирования роликов с базовыми элементами изделий, ортогональными плоскости позиционирования кассет, приводы возвратно-поступательного перемещения штоков, отличающеес я тем, что, с целью повышения технологических возможностей, базовые элементы выполнены в виде двух планок, закрепленных одна параллельно другой на днище кассет, а на боковых поверхностях планок под роликами штоков выполнены направляющие гнезда треугольной призматической φορ№ΐ, грани которых параллельны оси роликов и ортогональны плоскости позиционирования кассет.SUMMARY OF THE INVENTION A device for positioning products, primarily secondary process cassettes, comprising a positioning mechanism in the form of rods with rollers at free ends, mounted to contact the rollers with the basic elements of the products orthogonal to the plane of positioning of the cassettes, reciprocating rod drives, characterized in that , in order to increase technological capabilities, the basic elements are made in the form of two strips fixed one parallel to the other on the bottom of the cassettes, and on the lateral surfaces of the strips under the rod rollers, there are made guiding sockets of a triangular prismatic φορ№ΐ, the faces of which are parallel to the axis of the rollers and orthogonal to the plane of positioning of the cassettes. фиг 2fig 2