SU1465710A1 - Устройство дл дозировани парогазовой смеси - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к технике дозировани  парогазовых смесей и может быть использовано в полупроводниковой и микроэлектронной технологии.

Цель изобретени  - повышение точности дозировани .

На чертеже схематически изображе- но предлагаемое устройство.

Устройство дл  дозировани  парогазовой смеси содержит герметичный сосуд 1 дл  жидкости с патрубком 2 подачи газа и закрепленной внутри него с зазорами вертикальной трубой 3, снабженной нагревателем 4, патрубком

5отвода парогазовой смеси, выполненным из теплоизол ционного материала

6температуры, причем патрубок:;подачи газа выполнен в виде дискового барботера с перфорированной верхней частью диска 7, в дне сосуда выполнено углубление 8.

(Л

с

Устройство работает следующим образом .

При отсутствии подачи газа в патрубок 2 подачи газа жвдкость (SiCl), заполн юща  часть объема сосуда 1 и патрубка 5 отвода парогазовой смеси, принимает температуру окружающей среды. Датчик 6 температуры выдает электрический сигнал о действительной температуре SiCl4, например 20°с , нагреватель 4 в это врем  отключен. Газ (Н) подаваемый в патрубок 2, выходит через перфорированную верхнюю часть диска 7 в виде р да пузырьков, которые проход т через слой жидкости, насыща сь парами SiCl4, и выход т в виде парогазовой смеси через патрубок 5. Расход SiCl в патрубке 5 Отвода парогазовой смеси компенсируетс  жидкостью, поступающей из сосуда 1 через зазор между углублением 8 и

а ел

патрубком 5 при вьфавнивании давлени  в двух полост х. При этом уровень жидкости измен етс  незначит ельно, ;а высота столба жвдкости, через которую барботирует газ, в основном определ етс  высотой углублени  8,

За счет испарени  жидкости (SiCl) внутри трубы 3 и затрачиваемой при этом теплоты парообразовани , температура жидкости здесь понижаетс  со скоростью около 0,5°С/мин (при расходе газа пор дка 200 л/мин и объеме жидкости в патрубке около 0,5 л), достига  заданной, например 18 С, за 3-4 мин. В момент достижени  заданной температуры по сигналу от датчика 6 .температуры включаетс  нагреватель 4. Падение температуры в

объеме жидкости, заключенной в трубе 3 замедл етс , а затем, нагрева сь, она вновь достигает заданной и нагреватель 4 отключаетс  по сигналу от датчика 6 температуры. Проста  система двухпозиционного регулировани  с нагревателем в виде инфракрасной лампы (100 Вт, 12 В), обладающей минимальной инертностью, позвол ет получить хорошую стабилизацию температуры Sipl (+0,) на уровне +18 С внутри трубы 3 при температуре SiCl в сосуде 1 на уровне +20°С.

Выполнение дна сосуда 1 с углублением 8 позвол ет свести к минимуму остаточный объем жидкости, в котором накапливаютс  неконтролируемые микропримеси , вли ющие на технологические

процессы..

-

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОВАНИЯ ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ, содержащее герметичный сосуд для жидкости с патрубком подачи газа и закрепленной внутри него с зазорами вертикальной трубой, снабженной нагревателем и пат-