SU1439279A1 - Способ криооткачки - Google Patents

Abstract

Изобретение позвол ет повысить быстроту криооткачки. Криопанель Э и экраны 2 охлаждают и в камеру 1 подают рабочий газ. Газ образует на криопанели 3 десублимат (Д). По мере роста сло  Д температура его поверхности растет и быстрота действи  падает. Б этом случае десублимацию прекращают, нагревают Д лучистым тепловым потоком от излучател  7 и отвод т образующиес  пары насосом 5, После разогрева средней части сло  Д включают излучатель 7. Д охлаждают путем охлаждени  криопанели 3 и десублим1 руют новую порцию газа. При увеличении теапо- проводности Д вследствие действи  сублимационно-фильтрационного меха- низма теплопереноса ст1жаетс  ратура наружной поверхности Дс t ил.

Description

JL.

хч

ХЧ

хч

Ь

Изобретение относист  к вакуумной технике, а именно к способам откачки объемов при помощи криогенных средств

Цель изобретени  - повышение быстроты криооткачки.

На чертеже представлена схема устройства , реализующего предлагаемый способ.

Устройство содержит камеру 1 и раз мещенную в ней внутри экранов 2 крио- .панель 3, охлаждаемую при помощи кри- огенератора 4. К камере 1 подсоединены внешний насос 5 и напускной вентиль 6, а напротив криопанели 3 установлен излучатель 7.

Способ осуществл ют следук цим об- .

Криопанель 3 и экраны 2 охлаждаютс  и в камеру 1 через вентиль 6 подает- с  рабочий газ, который десублдашруе тс  на криопанели 3 с образованием десублимата. По мере роста сло  де- сублимата температзфа его поверхности увеличиваетс  и быстрота действи  падает. В этом случае десублимацию : прекращают путем перекрыти  вентил  6, нагревают десублимат лучистым тепг ловым потоком от излучател  7 и одновременно принудительно отвод т об- разук циес  пары путем откачки их внешним насосом 5. Посла разогрева

средней части сло  десублимата выклю- |Чают излучатель 7, вновь охлаждают десублимат путем охлаждени  криопанели 3 и десублимируют новую порцию газа , напускаемого через вентиль 6.

Таким образом, путем нагрева среднего сл:о  десублимата лучистым потоком , привод щего к увеличению теплопроводности десублимата вследствие действи ; сублимационно-фильтрацион- ного механизма теплопереноса, снижаетс  температура наружной поверхности десублимата и увелйгчив.аетс  быстрота криооткачки.

Фор, мула изобретени 

Способ криооткачки, включающий охлаждение криопанели, десублимацию откачиваемого газа с образованием десублимата, нагрев последнего с одновременным прекращением криопанели и повторное охлаждение ее и десублимата с последующей десублимацией новой порции газа, о тличающий- с   тем, что, с целью повьшени  быстроты криооткачки, нагрев десублимата осуществл ют лзгчистым тепловым потоком с одновременным принудительным отводом образующихс  паров.

Составитель В.Кр ковкин Редактор М..Бланар Техред М.Дидык, Корректор Э.Лончакова

Заказ 6053/33

Тираж 574

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д, 4/5

Подписное

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Способ криооткачки, включающий охлаждение криопанели, десублимацию откачиваемого газа с образованием десублимата, нагрев последнего с одновременным прекращением криопанели и повторное охлаждение ее и десублимата с последующей десублимацией новой порции газа, о тличающийс я тем, что, с целью повышения быстроты криооткачки, нагрев деСублимата осуществляют лучистым тепловым потоком с одновременным принудительным отводом образующихся паров.