SU1437680A1 - Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта - Google Patents

Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1437680A1
SU1437680A1 SU874215505A SU4215505A SU1437680A1 SU 1437680 A1 SU1437680 A1 SU 1437680A1 SU 874215505 A SU874215505 A SU 874215505A SU 4215505 A SU4215505 A SU 4215505A SU 1437680 A1 SU1437680 A1 SU 1437680A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mirror
interferometer
angular position
cube
information
Prior art date
Application number
SU874215505A
Other languages
English (en)
Inventor
Геннадий Георгиевич Добровольский
Виктор Петрович Носов
Игорь Григорьевич Стеблин
Original Assignee
Институт сверхтвердых материалов АН УССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт сверхтвердых материалов АН УССР filed Critical Институт сверхтвердых материалов АН УССР
Priority to SU874215505A priority Critical patent/SU1437680A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1437680A1 publication Critical patent/SU1437680A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение позвол ет контролировать нулевое угловое положение зер- ката, св занного с объектом. Целью изобретени   вл етс  повьш1ение точности измерени  за счет умножени  величины углового разворота контролируемого зеркала. Световой пучок от лазера 1 направл ют в двулучевой интерферометр Майкельсона, одно из концевых зеркал 5 которого установлено с возможностью углового поворота и предназначено дл  скреплени  с объектом. В информационной ветви интерферометра между светоделителем (призмой-кубом) и зеркалом 5, скрепл емым с объектом, расположена двух- компонентна  телесистема 6, котора - увеличивает угол отклонени  отраженного от зеркала пучка относительно направлени  пучка лазера 1 , увеличива  чувствительность устройства на выходе интерферометра, фотоприемником 9 регистрируют изменение интерференционной картины и по ее значению с помощью регистратора суд т об угловом положении контролируемого зеркала .5. 1 ил. (С (Л

Description

4 со
Од
00
Изобретение относитс  к измеритель |ной технике и может быть использовано :дл  контрол  углового положе ш  3ер- кап в приборостроении 5 астрономии и геодезии
Цель изобретени  - повьщение точности измерени  путем y шoжeни  ве- :личииы углового отклонени  контрол - руемого информсщионного зеркала. I На чертеже приведена принципиаль- |на  схема предоагаемого устройства. Устройство содер жт лазер 1, формирующий параллельньй пучок света., двулучевой интерферометр Майкельсона :включаюищй гфИ5му-куб 2 со светодели- - тельным .по5урытием 3 и два концевых зеркала 4 и 5, телесиетеку 6 состо - щ. из короткофокусного компонента 7 и длиннофов:усного компонента 8, фо- топриемник 9 с. диафрагмой (не показана ) и регистратор 10,, состо щий из yci-ыгителк посто т ного тока и компаратора .
Концевое зеркало 4 нанесено на бо- КОБОЙ грани призмь куба 2, а зеркало 5 установлено с возможносггыо углового перемеще1ш „
На чертеже обозначены; ol. - угол наклона контролируемого концевого зеркала интерферометра; ft- угол мвйсду направлением излучени  опорно™ го и измерительного пучков света после их отражени  от концевых зеркал 4 и 5с
Устройство работает следующим об- разом
Направл ют световой пучок от лазера i иа при;;му куб 2 в котора  делит его на два пучка - информацион- ньй и опортй, Икформационньй пучок света после призмы-куба 2, пройд  двухкомпонентзтую телесистему б., -попадает на концевое зеркапо 5 интерферометра Отразившись от него он вновь проходит телесистему б и, отразившись от евВТоделительного покрыти 3 приз ; ы-куба 2, ск адьшаетск с опор tmM пучкоме При сложении опорного и информа,ционного пучков света они интерферируют; в результате чего на фотоприемнике 9. возникает поле интерференции g представл ющее собой последовательность- темных и светлых:
0
ij 0
5
0
ного пучка через телесистем 6 его угол отклонени  относительно направлени  падающего пучка ft увеличиваетс  на величину, равную увеличению телесистемы 6, и определ етс  из зависимости
/J 2ofr, где Г - угловое увеличение телесистеMblj
что,в свою очередь, приводит к изменению периода нтерференционной картины . С приближением концевого зеркала 5 к его нулевому положению период и нтерференционной картины приближаетс  к действительной ширине диафрагмы фотоприемш ка 9. При этом возрастает амплитуда модул ции сигнала фотоприемника 9 о Изменение величины сигнала с фотоприемника 9 фиксируетс  регистратором lOj который и вырабатывает сигнал при прохождении концевого зеркала 5 через его нулевое угловое положение
Введение в информационную ветвь интерферометра телескопической сие-, темы,  вл ющейс  в данном случае умножителем позвол ет повысить чувствительность устройства на величину пропорциональную значению ее углового увеличени ..
а
где Л - длина волны интерферирующих
лучей;
и - период интерференционной картины.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Интерференционное устройство дл  регистрации углового положени  объекта , содержащее последовательно установленные лазер J, двулучевой интерферометр Майкельсона, включающий свето- делительную призму-куб и информационное и опорное концевые зеркала, первое из которых установлено с возможностью углового поворота и предназначено дл  скреплени  с объектом, фотоприемник , оптически св занный с интерферометром, и регистратор, элект
    полоср паралленьньп: оси вращени  кон- „ рически соединенный с фотоприемником.
    цевого зеркала 5,
    При развороте ко1щевого зеркала 5 на угол,, равньа о( j после прохожде- ни  oTpsjKeKHGTO от него информационотличающеес  тем, что, с целью повышени  точности путем определени  нулевого углового положени , информационного зеркала интерферометра.
    отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности путем определени  нулевого углового положени , информационного зеркала интерферометра.
    314376804
    оно снабжено двухкомпонентной теле-ционным зеркалом и ориентированной
    скопической . системой, установлен-так, что ее короткофокусный компоной между призмой-кубом и информа-нент обращен к призме-кубу.
SU874215505A 1987-03-26 1987-03-26 Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта SU1437680A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874215505A SU1437680A1 (ru) 1987-03-26 1987-03-26 Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874215505A SU1437680A1 (ru) 1987-03-26 1987-03-26 Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1437680A1 true SU1437680A1 (ru) 1988-11-15

Family

ID=21292932

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874215505A SU1437680A1 (ru) 1987-03-26 1987-03-26 Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1437680A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Измерительна техника, 1976 № 7, с. 29-39. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4969744A (en) Optical angle-measuring device
JPS63111489A (ja) 基準位置から動いている再帰反射ターゲットの変位を測定する装置
US5141317A (en) Method of optoelectronically measuring distances and angles
US5910840A (en) Apparatus and method for interferometric measurements
JP2732849B2 (ja) 干渉測長器
JPH0652170B2 (ja) 光結像式非接触位置測定装置
US5541729A (en) Measuring apparatus utilizing diffraction of reflected and transmitted light
US5519491A (en) Process for measuring the inclination of boundary areas in an optical system using interferometry to extract reflections from disturbance-generating boundary areas
SU1437680A1 (ru) Интерференционное устройство дл регистрации углового положени объекта
EP0851210B1 (en) Non-contact strain meter
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
SU916976A1 (ru) Устройство дл контрол углового положени объекта
SU1043486A1 (ru) Устройство дл измерени углового перемещени объекта
RU2010236C1 (ru) Устройство для градуировки средств измерений угловых параметров движения
SU1693369A1 (ru) Устройство дл определени нулевого положени объекта
SU853589A1 (ru) Интерференционный автоколлиматор
SU1714515A1 (ru) Волоконно-оптический гироскоп
SU406180A1 (ru) Двухкоординатный автоколлиматор
JPS6225232A (ja) 光フアイバの波長分散測定方法および装置
SU1262321A1 (ru) Устройство дл измерени скорости звука в гиперзвуковом газовом потоке
SU958852A1 (ru) Устройство дл измерени углового перемещени объекта
RU1770739C (ru) Устройство дл измерени угловых перемещений объекта
SU731283A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор
SU1619021A1 (ru) Устройство дл измерени углового отклонени объекта
RU1770741C (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений