SU1352411A1 - Способ определени плотности зар да в плоских диэлектриках - Google Patents
Способ определени плотности зар да в плоских диэлектриках Download PDFInfo
- Publication number
- SU1352411A1 SU1352411A1 SU864044244A SU4044244A SU1352411A1 SU 1352411 A1 SU1352411 A1 SU 1352411A1 SU 864044244 A SU864044244 A SU 864044244A SU 4044244 A SU4044244 A SU 4044244A SU 1352411 A1 SU1352411 A1 SU 1352411A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- dielectric
- sample
- vibrating
- measured
- charge density
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано при производстве приборов, ос- ванных на электретном эффекте. Способ определени плотности зар да в плоских диэлектриках реализован в устл .. I -С31 /7/7///////////Л ройстве. Регулиру напр жение на вибрирующем и невибрирующем электродах (Э) 2 и 3 соответственно, добиваютс исчезновени тока в исходном положении невибрирующегоЭ3, например, когда он примыкает к образцу 1 диэлектрика . При этом измер ют исходное компенсирующее напр жение V . Перемещают невибрирующий Э 3 в новое положение и измер ют величину его смещени Л 1. Снова добиваютс компенсации тока и .измер ют компенсирующее напр жение . Определ ют полную плотность зар да образца 1 диэлектрика по формуле 6 - (V - V, ог р, )/4l, где .р - диэлектрическа посто нна . Повьшаетс точность определени плотности зар да в плоских диэлектриках. 2 шт. i (Л оо ел ю 4: 4 И, S/
Description
11
Изобретение относитс к электроизмерительной технике и может быть использовано при производстве приборов , основанных на электретном эффекте .
Целью изобретени вл етс повышение точности определени плотности зар да в плоских диэлектриках.
Предлагаемый способ позвол ет оп редел ть не только полную плотность зар да диэлектрика ё, но и эффективные плотности э и (э, зар дов на поверхности диэлектрика, при этом дл его осуществлени необ зательно знат толщину и диэлектрическую проницаемость диэлектрика.
На фиг. 1 представлена схема реализации предлагаемого способаj на фиг, 2 - графическое определение ве- личины компенсирующего напр жени в случае S 0.
На фиг, 1 обозначены исследуемый образец диэлектрика 1 толщиной S, вибрирующий 2 и невибрируюпщй 3 элек троды плоского конденсатора, источник 4 компенсирующего напр жени V, Е, Ej - напр женности пол в зазорах между диэлектриком 1 и электродами 2 и 3, равных S, и S.,
Сущность способа заключаетс в следующем.
35
Дл определени плотности зар да ё., регулиру напр жение на электроах 2 и 3 конденсатора, добиваютс исчезновени тока в исходном полоении невибрирующего электрода 3, например, когда электрод примыкает к образцу диэлектрика 1. При этом д змер ют исходное компенсирующее напр жение V . Затем перемещают невибрирующий электрод 3 в новое положение , сохран параллельность между электродами конденсатора. Величину g перемещени 31 измер ют микрометрическим устройством, В новом положении электрода снова добиваютс компенсации тока, измер ют компенсирующее напр жение V и вычисл ют раз- ность ЛУ .
Напр женность пол Ё., между диэлектриком 1 и вибрирующим электродом 3 при включении компенсирующего 55 напр жени V (фиг.1) равна
S,E,- . ,Ч).
112
где S,, Sj - зазоры между диэлектриком 1 и электродами 2, 3;
S - толщина образца диэлектрика 1;
- диэлектрическа проницаемость диэлектрика; 11 2 плотность зар дов на 1 и 2-й поверхности диэлектрика 1 соответственно .
В момент компенсации тока Е 0, разность между двум компенсирующими напр жени ми V, и V при различных положени х невибрирующего электрода 3 - S и8™, полна плотность зар да диэлектрика равна
- (i - -to j
(1)
где л I Sj - Sj; V YOJ-VO, ,
r
+ 6,
ё 1 - & ijj.
Кроме того, данный способ позвол ет определить эффективный зар д 6 . Это достигаетс устремлением зазора Sj к нулю в момент приложени компенсирующего напр жени V и отсутстви тока в цепи конденсатора (Е/ 0).
Формула (1) переходит в известную формулу дл определени эффективного .зар да
о Vo
,
Sj-.0 E,co
Величину V можно определить графически , аппроксимиру зависимость VCSj) до пересечени с осью ординат (см. фиг, 2), или по формуле
Voi S 2 - Vo2 Sj
Vo
с II с I bjbj
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ определени плотности зар да в плоских диэлектриках, заключающийс в том, что на образец диэлектрика воздействуют полем плоского конденсатора, образованного невибрирующим и вибрирующим электродами , осуществл ют компенсацию пол образца диэлектрика путем подачи посто нного напр жени на плоский конденсатор , измер ют величину компенсирующего напр жени в момент полной компенсации, отличаю - щ и и с тем, что, с целью повышени точности определени , невиб31352Арирующий электрод смещают в направлении , перпендикул рном поверхности образца диэлектрика, измер ют величину смещени , повторно осуществл ют компенсацию пол образца диэлектрика и измер ют величину компенсирующего напр жени , а полную плотность зар да образца диэлектрика определ ют по формуле .105V,f2 фи5.2Составитель О.Красновский Редактор Л. Веселовска Техред л. Сердюкова Корректор Г. РешетникЗаказ 5563/45 Тираж 730ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4/- с 0 ТГгде „ - диэлектрическа посто нна ;105 4VVpj -Vj,- разность величин компенсирующих напр жений; ul - величина смещени невибрирующего электрода.02г г- б.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864044244A SU1352411A1 (ru) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | Способ определени плотности зар да в плоских диэлектриках |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864044244A SU1352411A1 (ru) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | Способ определени плотности зар да в плоских диэлектриках |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1352411A1 true SU1352411A1 (ru) | 1987-11-15 |
Family
ID=21229101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864044244A SU1352411A1 (ru) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | Способ определени плотности зар да в плоских диэлектриках |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1352411A1 (ru) |
-
1986
- 1986-03-27 SU SU864044244A patent/SU1352411A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Губкин А.Н. Электреты, М.: Наука, 1978, с. 96. Электреты / Под ред. Г.Сессегера, М.: Мир, 1983, с. 28. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR0157373B1 (ko) | 코로나 방전 건 | |
KR100209040B1 (ko) | 반도체 기판 상의 절연층 두께 측정 방법 | |
US4441038A (en) | Electret device | |
US3373353A (en) | Electron beam scanning system for quality control of materials | |
Dove | Possible influence of electric charge effects on the initial growth processes occurring during the vapor deposition of metal films onto substrates inside the electron microscope | |
SU1352411A1 (ru) | Способ определени плотности зар да в плоских диэлектриках | |
CN110927472A (zh) | 一种不依赖测量的孤立导体电荷控制方法 | |
Couturier et al. | Influence of oxygen on electrical properties of βPbF2 thin films | |
JP2904697B2 (ja) | 半導体ウェハのc−v測定方法および可動イオン量測定方法 | |
GB2079056A (en) | Electret device | |
US4577147A (en) | Arrangement and method for voltage measurement at a buried test subject | |
DK131389D0 (da) | Fremgangsmaade, maaleelektrode og apparat til elektrisk maaling af syrers koncentration | |
JPS6046665B2 (ja) | 絶縁物破壊電圧検査法 | |
SU1429060A1 (ru) | Способ измерени напр женности электрического пол в твердом диэлектрике | |
SU1078363A1 (ru) | Способ определени поверхностного зар да в МДП структурах | |
SU1341494A1 (ru) | Способ определени площадок контакта поверхностей двух электропроводных твердых тел | |
RU2178156C1 (ru) | Способ измерения температуры лазерной плазмы | |
SU1471152A1 (ru) | Способ определени плотности зар да в диэлектриках | |
Cabruja et al. | Influence of the degradation on the surface states and electrical characteristics of EOS structures | |
JPS60243674A (ja) | 帯電装置 | |
SU1337695A1 (ru) | Способ измерени импульсного давлени | |
SU1226025A1 (ru) | Накладной емкостный датчик | |
SU1357780A1 (ru) | Способ определени длины усталостной трещины | |
Fukunaga et al. | Space charge and external current measurements of a filler-free epoxy resin | |
Rosenman | Electron emission imaging of the ferroelectric domains |