SU1249356A1 - Устройство дл измерени низкого давлени - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерению давлени  газовой среды в вакуумной технике и позвол ет повысить точность измерени  давлени  газа переменного состава. Засасываемый в полость 7 пониженного давлени  газ или воздух очищают в сухом фильтре 2. На дросселе 3 происходит дозирующий . напуск газа в систему измерени  путем установлени  в сечении дроссел  посто нной скорости газового потока равной критической. На пути движени  газа установлен дополнительный дроссель 4 с таким диаметром отверсти , чтобы на нем перепад давлений не достигал критического. Один и тот же расход газа-натекател  измер - ет с  при давлении, равном искомому и при несколько большем давлении между дроссел ми 3 и 4. Мосты 5 и 6 по характеристике сигнала идентичны, но при измерении расхода одного и того же потока газа в услови х разного давлени  показани  их будут отличатьс , т.к. в одном из них в отводе тепла от чувствительного элемента участвуют конвенционные потоки. Результирующий сигнал от двух мостов выражает степень разреженности газовой среды в контролируемой полости. 1 ил. (Л QD 00 СП Од

Description

1

Изобретение относитс  к измерению давлени  газовой среды в вакуумной технике и может быть использовано в вакуумных установках, например при внепечной обработке стали, вакуумных плавильных печах и в других отрасл х промышленности, использующих средний вакуум дл  проведени  технологических процессов.

Целью изобретени   вл етс  повы- шение точности измерени  давлени  газа переменного состава.

На чертеже показана схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит щтуцер 1 дл  забора газа-натекател , например воздуха из помещени , фильтр 2 тонкой очистки газа (воздуха) от пыли, дроссельные диафрагмы 3 и 4, два электрических моСта 5 и 6, полость 7 измер емого вакуума, например ва- куумпровод, усилитель 8 электрических сигналов, реверсивный двигатель 9, шкалу 10 прибора регистратора давлени .

Устройство работает следующим образом .

В полость 7 пониженного давлени  непрерывно засасываетс  газ или воздух из полости повышенного давлени  или помещени  (через фильтр). Количество засасываемого газа очень мало (0,2 - 0,5 л.мин) по сравнению с объемом откачиваемого газа из системы вакуумировани . Засасываемый газ или воздух тщательно очищают от пыли и капельной влаги в сухом фильтре 2.. Затем газ (воздух) проводит дросселирующее устройство 3, вьтолненное в виде диафрагмы, сопла или капилл рной трубки. На этом устройстве происходит дозирующий напуск газа в систему измерени  путем установлени  в сечении дроссел  посто нной скорости газового потока, равной критической (при отношении давлений до и после дроссел  больше- 1,52). На пути движени  газа натека- тел  установлено второе дросселирующее устройство 4 с таким диаметром Ьт- версти , чтобы на нем перепад давлений не достигал критического.

Таким образом, на газовой трассе натбл ател  создаютс  две ступени давлени  - одна на уровне давлени  в контролируемой полости 7, друга  несколько вьше первой (в зависимости от степени дросселировани  на диаф493562

рагме 4). Один и тот же расход газа- натекател  измер етс  дважды при давлении равном (или близком) к искомому и при несколько большем дав- 5 лении между дроссельными диафрагмами 3 и 4. Термоанемометрические расходомеры в измерительньпс мостах 5 и 6 имеют проточную и полупроточную камеры, в которых размещены прецизи- 10 онные термосопротивлени , нагреваемые током посто нного напр жени . Проточный и полупроточный каналы датчика размещены в двух разных плечах электрического моста. Осталь- 5 ные два плеча моста укомплектованы посто нными сопротивлени ми (R VМосты 5 и 6 по характеристике сигнала абсолютно идентичны (при

20 измерении в одинаковых услови х), но при измерении расхода одного и того же потока газа в услови х разного давлени  показани  их отличаютс , так как в одном из них (в полос25 ти повьшенного давлени ) в отводе тепла от чувствительного элемента участвуют конвективные потоки. Полученный таким образом результирующий сигнал от двух мостов выражает сте30 пень разреженности газовой среды в контролируемой полости. Электрическа  схема преобразовани  этого сигнала в единицы давлени  выполн етс  вторичным прибором с усилителем 8. Передвига  двигателем 9 ползунок реохорда дл  уравновешивани  разбаланса мостов св зывают сигнал с углом поворота двигател  и далее со шкалой 10. Сигнал дл  использовани  в сис- темах регулировани  снимаетс  с преобразовател , встроенного во вторичный прибор.

Предлагаемое устройство менее чувствительно к составу газовой среды, по сравнению с теплоэлектрическими манометрами, работаюш сми только на эффекте изменени  теплопроводности при изменении давлени .

35

50

ормула изобретени 

Устройство дл  измерени  низкого давлени , содержащее теплоэлектри- ческий манометр, приемна  камера которого снабжена подвод щим штуцером, отличающеес  тек, что, с целью уменьшени  погрешности измерени  давлени  газа переменного состава , оно снабжено источником высо31249356

кого давлени , блоком разности сиг- сокого давлени  и через дроссель - с налов и дополнительным теплоэлектри- камерой основного манометра, а элек- ческим манометром, приемна  камера трические выходы манометров подсоеди- которого соединена с источником вы- нены к блоку разности сигналов.

Claims (1)

1. Формула изобретения 50

   Устройство для измерения низкого давления, содержащее теплоэлектрический манометр, приемная камера которого снабжена подводящим штуцером, 55 отличающееся тем, что, с целью уменьшения погрешности измерения давления газа переменного состава, оно снабжено источником высо1249356 * сокого давления и через дроссель - с камерой основного манометра, а электрические выходы манометров подсоеди йены к блоку разности сигналов.

   кого давления, блоком разности сигналов и дополнительным теплоэлектрическим манометром, приемная камера которого соединена с источником вы-