SU1245884A1 - Device for measuring geometric parameters - Google Patents
Device for measuring geometric parameters Download PDFInfo
- Publication number
- SU1245884A1 SU1245884A1 SU833579386A SU3579386A SU1245884A1 SU 1245884 A1 SU1245884 A1 SU 1245884A1 SU 833579386 A SU833579386 A SU 833579386A SU 3579386 A SU3579386 A SU 3579386A SU 1245884 A1 SU1245884 A1 SU 1245884A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- piezoelectric element
- amplitude
- output
- frequency
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в магаиностроении, метрологии, геодезии, геофизике и других област х преимущественно дл линейных измерений. Целью изобретени вл етс обеспечение увеличени диапазона при измерении рассто ний за счет уменьшени погрешностей флуктуации оптического тракт а. Устройство содержит источник излучени , интерферометр , опорное зеркало которого укреплено на пьезоэлементе, и фото- приемник, установленный на выходе интерферометра. Генератор пилообразного напр жени , св занный с пьезоэлементом, и умножитель частоты с коэффициентом умножени с,// (где а - амплитуда смещени пьезо- элемента с опорным зеркалом в интерферометре ) позвол ют с помощью синхронного детектора выдел ть составл ющую сигнала фототока с амплитудой , пропорциональной огибающей интенсивности интерференционного сигнала, и с частотой df /Д, где I - частота генератора. На амплитуду выдел емого сигнала флуктуации среды не оказывают вли ни . 1 ил. i СЛ IsD 4i СЛ оо 00 4The invention relates to a measurement technique and can be used in engineering, metrology, geodesy, geophysics, and other areas primarily for linear measurements. The aim of the invention is to provide an increase in the range when measuring distances by reducing the errors in the fluctuations of the optical path a. The device contains a radiation source, an interferometer, the reference mirror of which is mounted on the piezoelectric element, and a photo-receiver mounted at the output of the interferometer. The sawtooth generator associated with the piezoelectric element and the frequency multiplier with a multiplication factor c, // (where a is the displacement amplitude of the piezoelectric element with the reference mirror in the interferometer) allows the component of the photocurrent signal with amplitude to be extracted using a synchronous detector proportional to the envelope intensity of the interference signal, and with the frequency df / D, where I is the frequency of the generator. Fluctuations of the medium do not affect the amplitude of the signal emitted. 1 il. i SL IsD 4i SL oo 00 4
Description
1one
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в машиностроении, метрологии , геодезии, геофизике и других област х преимущественно дл линейных измерений.The invention relates to a measurement technique and can be used in mechanical engineering, metrology, geodesy, geophysics, and other areas primarily for linear measurements.
Цель изобретени - обеспечение увеличени диапазона при измерении рассто ний путем уменьшени погрешностей флуктуации оптического тракта .The purpose of the invention is to provide an increase in the range when measuring distances by reducing the errors in the fluctuations of the optical path.
На чертеже изображена блок-схема устройства.The drawing shows a block diagram of the device.
Устройство содержит источник 1 излучени , интерферометр 2, опорное зеркало которого.укреплено на пьезоэлементе, фотоприемник 3, установленный на выходе интерферометра, схему обработки сигнала в виде синхронного детектора 4, измерител 5 амплитуды, умножител -6 частоты и источника 7 переменного напр. же- ни . Источник 7 переменного напр жени выполнен в виде генератора пилообразных звуковых колебаний и соединен с пьезоэлементом опорного зеркала интерферометра 2 и через умножитель 6 частоты - с одним входом синхронного детектора 4, другой вход которого соединен с выходом фотоприемника 3, а выход - с входом измерител 5 амплитуды.The device contains a radiation source 1, an interferometer 2 whose reference mirror is mounted on a piezoelectric element, a photodetector 3 installed at the output of the interferometer, a signal processing circuit in the form of a synchronous detector 4, an amplitude meter 5, a frequency multiplier -6 and a variable source 7 eg. women The alternating voltage source 7 is in the form of a sawtooth oscillation generator and connected to the piezoelectric element of the reference mirror of the interferometer 2 and through frequency multiplier 6 to one input of the synchronous detector 4, the other input of which is connected to the output of the photodetector 3, and the output to the amplitude meter 5 .
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Излучение от источника 1, пройд через интерферометр 2, создает на фотоприе мнике 3 интерференционную картину с интенсивностьюThe radiation from the source 1, passing through the interferometer 2, creates on the photodetector 3 an interference pattern with intensity
((,, (1)((,, (one)
где 1 и I 2 интенсивности интерферирующих пучков;where 1 and I 2 are the intensities of the interfering beams;
, f(S} - модуль функции когерентности;, f (S} is the modulus of the coherence function;
458842458842
Ь - разность хода интерферирующих пучков; Л. - длина волны.B is the path difference of the interfering beams; L. is the wavelength.
Источник 7 в виде ге 1ератора пилЬ- 5 образных звуковых колебаний с помощью пьезоэлемента и опорного зеркала интерферометра 2 модулирует разность хода интерферирующих пучков по пилообразномузакону, что приводит к модул ции интенсивностиThe source 7 in the form of a helix laser saws a 5-shaped sound oscillations using the piezoelectric element and the reference mirror of the interferometer 2 modulates the path difference of the interfering beams according to the sawtooth law, which leads to intensity modulation
14 {,-2rnj(.B}lcos -(S.aW. 1 г л г Л J2) .14 {, -2rnj (.B} lcos - (S.aW. 1 g lg L J2).
Так как изменение модул функции когерентности достаточно плавное, то при изменении разности хода будет измен тьс только фаза, записанна в выражении (2), Синхронный детектс1р выдел ет амплитудуSince the change in the modulus of the coherence function is sufficiently smooth, as the path difference changes, only the phase written in the expression (2) will change, the Synchronous Detector will select the amplitude
на частоте ,on frequency
10ten
1515
2020
сигнала 2/ТД77уТ где о, - амплитуда смещени зеркала, которую измер ют измерителем 5 амплитуды.signal 2 / TD77uT, where o, is the displacement amplitude of the mirror, which is measured by an amplitude meter 5.
Форму л а изобретени Formula of invention
Устройство дл измерени геометрических параметров, содержащее источник излучени , интерферометр, опорAn apparatus for measuring geometrical parameters comprising a radiation source, an interferometer, supports
ное зеркало которого укреплено наwhose mirror is fixed on
пьезозлементе, фотоприемник, установленный на выходе интерферометра, схему обработки сигнала, источник переменного напр жени , соединенныйpiezoelectric transducer, photodetector mounted at the output of the interferometer, signal processing circuit, alternating voltage source connected
с пьезоэлементом, и измеритель ампли- туды, отличающеес тем, что, с целью обеспечени увеличени диапазона при измерении рассто ний, схема обработки сигнала выполненаa piezoelectric element, and an amplitude meter, characterized in that, in order to provide an increase in the range when measuring distances, the signal processing circuit is performed
в виде соединенных последовательно умножител частоты, вход которого соединен с. выходом источника перемеН ного напр жени в виде генератора, пилообразных звуковых колебаний, иin the form of a series-connected frequency multiplier, the input of which is connected to. the output of the alternating voltage source in the form of a generator, saw-tooth sound waves, and
синхронного детектора, второй вход которого соединен с фотоприемником, а выход - с измерителем амплитуды.synchronous detector, the second input of which is connected to the photodetector, and the output - with an amplitude meter.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833579386A SU1245884A1 (en) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | Device for measuring geometric parameters |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833579386A SU1245884A1 (en) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | Device for measuring geometric parameters |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1245884A1 true SU1245884A1 (en) | 1986-07-23 |
Family
ID=21059123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833579386A SU1245884A1 (en) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | Device for measuring geometric parameters |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1245884A1 (en) |
-
1983
- 1983-04-12 SU SU833579386A patent/SU1245884A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1026010, кл.С 01 В 21/00. 1979. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4655597A (en) | Micro-displacement measuring apparatus using a semiconductor laser | |
SU1245884A1 (en) | Device for measuring geometric parameters | |
SU1179103A1 (en) | Interferometer for distance measurement | |
JPS5866881A (en) | Surveying equipment by light wave | |
SU1388721A1 (en) | Method of measuring phase shift of light waves | |
US3514207A (en) | Device for determining the displacement of a reflecting movable object relative to a fixed object with the use of an optical maser | |
SU645020A1 (en) | Method of measuring parameters of optical radiation angular modulation | |
SU1427179A1 (en) | Device for checking rectilinearty | |
SU1142731A1 (en) | Measuring system having three-mirror laser-interferometer | |
SU938660A1 (en) | Device for remote measuring of distances | |
SU1435933A1 (en) | Interference device for measuring distances | |
SU896392A1 (en) | System for registering displacements in optical electronic measuring devices with interferential modulation | |
SU1026010A1 (en) | Device for measuring small slow changes of interferometer measuring arm optical length | |
SU1226059A1 (en) | Method of correcting optical difference of interferometer travel | |
SU868366A1 (en) | Angular value measuring method | |
SU991152A1 (en) | Interferometer for measuring linear displacements | |
SU877325A1 (en) | Interferentional displacement meter | |
SU1413422A1 (en) | Acoustooptical displacement-measuring device | |
JP2655647B2 (en) | Optical integrated circuit interferometer | |
SU767508A1 (en) | Interference comparator for measuring plane-parallel rod gage | |
SU1201681A1 (en) | Arrangement for measuring object displacement | |
SU721677A1 (en) | Photoelectric device for measuring rectilinearity of articles | |
SU834396A1 (en) | Light range finder | |
RU2060475C1 (en) | Method of measurement of harmonic oscillation amplitudes | |
SU379862A1 (en) | PRECISION LASER DILATOMETER |