В современных электронных микроскопах, содержащих объективную и проекционную линзы, с целью регулировани диапазона увеличени в значительных пределах, примен ют слабую промежуточную линзу , оптические параметры которой существенно отличаютс от параметров объектива и проекционной линзы. Полева аберраци промежуточной линзы в несколько раз превыщает полевую аберрацию остальных лннз, в то же врем аберраци увеличени и вращени ее несоизмерима с соответствующими аберраци ми объективной и проекционной лннз, что исключает взаимную компенсацию полевых аберраций всех трех линз. Наличие хроматической аберрации, создаваемой промежуточной линзой, составл ет существенный недостаток электронного микроскопа с регулируемой -степенью увеличени .In modern electron microscopes containing objective and projection lenses, in order to regulate the range of magnification within considerable limits, a weak intermediate lens is used, the optical parameters of which are significantly different from those of the objective lens and projection lens. The field aberration of the intermediate lens is several times greater than the field aberration of the remaining lenses, while the aberration of increasing and rotating it is incommensurable with the corresponding objective and projection lens aberrations, which excludes mutual compensation of the field aberrations of all three lenses. The presence of chromatic aberration created by the intermediate lens constitutes a significant drawback of the electron microscope with an adjustable degree of magnification.
Этот недостаток устранен в предлагаемом электронном микроскопе применением в нем второй промежуточной линзы, установленной соосно с основной промежуточной линзой на рассто нии от нее, определ емом фокусными рассто ни ми линз микроскопа.This disadvantage is eliminated in the proposed electron microscope by using a second intermediate lens in it, mounted coaxially with the main intermediate lens at a distance from it, determined by the focal lengths of the microscope lenses.
Схема проекционного блока электронного микроскопа изображена на чертеже. Микроскоп содержит две промежуточных линзы У и 2 и проекционную линзу 3.The scheme of the projection block of the electron microscope is shown in the drawing. The microscope contains two intermediate lenses U and 2 and a projection lens 3.
Действие такой системы заключаетс в следующем. При увеличении ускор ющего напр жени , соответствующем изменению увеличени микроскопа, фокусные рассто ни обеих промежуточных линз измен ютс . В результате .увеличени преломл ющей силы первой промежуточной линзы главный луч в ее фокальной плоскости сильнее отклон етс к оси, вследствие чего луч пересекает вторую линзу в точке, расположенной ближе к оси, че.м до изменени ускор ющего напр жени . Но в этой точке луч отклон етс к оси слабее, чем в точке, в которую луч падал до изменени ускор ющего напр жени . Таким образом, несмотр на то, что преломл юща сила второй линзы возросла, главный луч пересекает иредметную плоскость все в той же точке.The effect of such a system is as follows. As the acceleration voltage increases, corresponding to a change in the magnification of the microscope, the focal lengths of both intermediate lenses change. As a result of the increase in the refractive power of the first intermediate lens, the main beam in its focal plane deviates more strongly to the axis, as a result of which the beam intersects the second lens at a point closer to the axis, cm before the accelerating voltage changes. But at this point the beam is deflected to the axis less than at the point at which the beam fell before the accelerating voltage changed. Thus, despite the fact that the refractive power of the second lens has increased, the main beam intersects the creative plane all at the same point.
Предмет изобретени Subject invention
Электронный микроскоп с объективной, проекционной и промежуточной линзами, отличающийс тем, что, с целью устранени хроматической аберрации, он снабжен второй промежуточной линзой, установленной соосно с основной промежуточной линзой на рассто нии ог нее, завис щем от фокусных рассто ний линз.An electron microscope with objective, projection and intermediate lenses, characterized in that, in order to eliminate chromatic aberration, it is equipped with a second intermediate lens, which is installed coaxially with the main intermediate lens at a distance that depends on the focal length of the lenses.