SU1224858A1 - Зондова головка - Google Patents
Зондова головка Download PDFInfo
- Publication number
- SU1224858A1 SU1224858A1 SU843773284A SU3773284A SU1224858A1 SU 1224858 A1 SU1224858 A1 SU 1224858A1 SU 843773284 A SU843773284 A SU 843773284A SU 3773284 A SU3773284 A SU 3773284A SU 1224858 A1 SU1224858 A1 SU 1224858A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- probes
- grooves
- plane
- base
- accuracy
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано дл измерени электрофизических свойств полупроводниковых материалов . Цель изобретени - повышение точности измерени . Зонды расположены в V-образных пазах кремниевой пластины с изол цией. Пружины, изолированные прокладками, прижимают зонды к стенкам пазов. Токосъемные втулки зондов прижаты к электрической прокладке . Выполнение V-образных пазов в кремниевой пластине с ориентацией поверхности по плоскости (100) и схождением боковых стенок под углом 55 обеспечивает расположение фаз зондов относительно друг друга с большой точностью и перемещение из{ (Вверх - вниз в одной плоскости. 2 ил. ND 1ЧЭ 4 ОО СЛ 00
Description
Изобретение относитс к области измерени электрофизических свойств полупроводниковых материалов, а имено к устройствам дл измерени уделного сопротивлени полупроводниковы пластин.
Цель изобретни - повышение точности измерени .
На фиг. 1 изображена зондова головка , профильный разрез; на фиг. 2 то же, поперечный разрез.
Зондова головка имеет токовые и потенциальные зонды 1, которые распложены в V -образных пазах 2 кремниевой пластины 3 с ориентацией (100). Зонды 1 изолированы от пластины 3 слоем диэлектрика 4, а пластина закреплена в корпусе 5 перпендикул рн его основанию 6. Зонды 1 прижаты к стенкам пазов 2 пружиной 7, изолированной от зондов диэлектрическими прокладками 8. На зонды насажены то косъемные втулки, упирающиес в диэлектрическую прокладку 10.
Зондова голо вка работает следую ищи образом.
При опускании зондовой головки на полупроводниковую пластину зонды 1 за счет эластичной проклащки 10 прижимаютс к пластина. С помощью то- косъемных втулок 9 через определенные токовые зонды 1 пропускают электри ческий ток, а на других потенциальных
зондах измер ют разность потенциалов. По результатам этих измерений определ ют удельное сопротивление полупроводниковой пластины. Точность определени удельного, сопротивлени в значительной степени онредел етс точностью заданного взаимного расположени зондов, котора определ етс геометрическими размерами пазов и рассто ни ми между ними.
Вьтсшнение V-образных пазов в кремниевой пластине с ориентацией поверхности по плоскости (100) и схождением боковых стенок пазов под углом 55 обеспечивает расположение зондов относительно друг друга с большой точностью и перемещение вверх - вниз в одной плоскости.
20
Claims (1)
- Формула изобретениЗондова головка, преимущественно дл измерени электрофизических свойств полупроводниковых материалов, содержаща корпус с основанием и размещенные в нем перпендикул рно основанию токовые и потенциальные зонды, отличающа с тем, что, с целью повьшени точности измерени , она снабжена размещенной перпендикул рно основанию кремниевой пластиной с ориентацией (100), в которой выполнены V.-образные пазы, с размещенными в них токовыми и потенциальными зондами.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843773284A SU1224858A1 (ru) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Зондова головка |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843773284A SU1224858A1 (ru) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Зондова головка |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1224858A1 true SU1224858A1 (ru) | 1986-04-15 |
Family
ID=21131740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843773284A SU1224858A1 (ru) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | Зондова головка |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1224858A1 (ru) |
-
1984
- 1984-07-20 SU SU843773284A patent/SU1224858A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР 393732, -кл. G 01 Р 3/26, 1972. Авторское свидетельство СССР № 387303, кл. G 01 R 27/02, 1973. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3808527A (en) | Alignment determining system | |
JPS6482541A (en) | Method and device for measuring semiconductor surface | |
EP0174017B1 (en) | Improvements relating to capacitive devices for measuring the diameter of a dielectric fibre | |
CN105486927A (zh) | 一种固体绝缘材料体积电阻率的测量方法 | |
US4811598A (en) | Downhole temperature measurements | |
SU1224858A1 (ru) | Зондова головка | |
US5391994A (en) | Method for measuring surface resistivity using square electrodes and multiplying surface resistance measurements by a correction factor | |
SU1377787A1 (ru) | Устройство дл измерени ЭДС Холла в области пространственного зар да | |
SU1500963A1 (ru) | Зонд дл микробокового каротажа скважин | |
KR101324430B1 (ko) | 직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 장치 및 방법 | |
SU1392519A1 (ru) | Устройство дл измерени распределени зар да по поверхности диэлектрика | |
JPS61147544A (ja) | 電気特性測定用ステ−ジ | |
JPH038965Y2 (ru) | ||
SU1163243A1 (ru) | Способ измерени удельного объемного электрического сопротивлени | |
SU1190184A1 (ru) | Устройство дл контрол размеров электропроводных объектов | |
SU764977A1 (ru) | Манипул тор дл измерени барьерных емкостей поверхностно-барьерных структур | |
SU1035683A1 (ru) | Четырехзондова головка дл измерени удельного сопротивлени материала | |
JP2531043Y2 (ja) | プローブヘッドの先端構造 | |
SU1658058A1 (ru) | Способ контрол упрочнени стальных поверхностей и устройство дл его осуществлени | |
RU1827695C (ru) | Способ измерени электропроводности полупроводников | |
SU1247782A1 (ru) | Способ определени тангенса угла диэлектрических потерь материала покрытий | |
SU828026A1 (ru) | Устройство дл исследовани капил-л РНыХ СВОйСТВ пОРиСТОгО МАТЕРиАлА | |
RU2115897C1 (ru) | Интегральный преобразователь деформации и температуры | |
JPS5516255A (en) | Measuring device of semiconductor device | |
SU387303A1 (ru) | Устройство для измерения удельного сопротивления |