SU1224858A1 - Зондова головка - Google Patents

Abstract

Изобретение может быть использовано дл  измерени  электрофизических свойств полупроводниковых материалов . Цель изобретени  - повышение точности измерени . Зонды расположены в V-образных пазах кремниевой пластины с изол цией. Пружины, изолированные прокладками, прижимают зонды к стенкам пазов. Токосъемные втулки зондов прижаты к электрической прокладке . Выполнение V-образных пазов в кремниевой пластине с ориентацией поверхности по плоскости (100) и схождением боковых стенок под углом 55 обеспечивает расположение фаз зондов относительно друг друга с большой точностью и перемещение из{ (Вверх - вниз в одной плоскости. 2 ил. ND 1ЧЭ 4 ОО СЛ 00

Description

Изобретение относитс  к области измерени  электрофизических свойств полупроводниковых материалов, а имено к устройствам дл  измерени  уделного сопротивлени  полупроводниковы пластин.

Цель изобретни  - повышение точности измерени .

На фиг. 1 изображена зондова  головка , профильный разрез; на фиг. 2 то же, поперечный разрез.

Зондова  головка имеет токовые и потенциальные зонды 1, которые распложены в V -образных пазах 2 кремниевой пластины 3 с ориентацией (100). Зонды 1 изолированы от пластины 3 слоем диэлектрика 4, а пластина закреплена в корпусе 5 перпендикул рн его основанию 6. Зонды 1 прижаты к стенкам пазов 2 пружиной 7, изолированной от зондов диэлектрическими прокладками 8. На зонды насажены то косъемные втулки, упирающиес  в диэлектрическую прокладку 10.

Зондова  голо вка работает следую ищи образом.

При опускании зондовой головки на полупроводниковую пластину зонды 1 за счет эластичной проклащки 10 прижимаютс  к пластина. С помощью то- косъемных втулок 9 через определенные токовые зонды 1 пропускают электри ческий ток, а на других потенциальных

зондах измер ют разность потенциалов. По результатам этих измерений определ ют удельное сопротивление полупроводниковой пластины. Точность определени  удельного, сопротивлени  в значительной степени онредел етс  точностью заданного взаимного расположени  зондов, котора  определ етс  геометрическими размерами пазов и рассто ни ми между ними.

Вьтсшнение V-образных пазов в кремниевой пластине с ориентацией поверхности по плоскости (100) и схождением боковых стенок пазов под углом 55 обеспечивает расположение зондов относительно друг друга с большой точностью и перемещение вверх - вниз в одной плоскости.

20

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Зондова  головка, преимущественно дл  измерени  электрофизических свойств полупроводниковых материалов, содержаща  корпус с основанием и размещенные в нем перпендикул рно основанию токовые и потенциальные зонды, отличающа с  тем, что, с целью повьшени  точности измерени , она снабжена размещенной перпендикул рно основанию кремниевой пластиной с ориентацией (100), в которой выполнены V.-образные пазы, с размещенными в них токовыми и потенциальными зондами.