SU122240A1 - Полупроводниковый датчик концентрации (давлени ) паров - Google Patents

Description

. При измерении концентрации и давлени  паров различных газообразных веществ примен ют полупроводниковые датчики. Однако известные датчики подобного рода имеют сравнительно низкую чувствительность . В предлагаемом датчике дл  устранени  указанного недостатка примен етс  в качестве чувствительного элемента пориста  полупроводникова  пленка, например двуокись олова, нанесенна  на основание из изол ционного материала, например фарфора. На чертеже изображена принципиальна  схема предлагаемого датчика. Датчик 1 представл ет собой фарфоровую пластинку с нанесенным на ее поверхность полупроводниковым слоем. Дл  нанесени  полупроводниковой пленки на фарфоровое основание пластинка нагреваетс  до температуры 750-800° С и обрабатываетс  спиртовым раствором хлорного олова, который содержит 8 вес. ч. спирта, 10 вес. ч. хлорного олова и 2,5 вес. ч. восстановител  (формалина). Возникающа  при гидролизе двуокись олова частично восстанавливаетс  до моноокиси, котора  при температуре выше 400°, диссоциируетс  на двуокись и металл. При быстром темпе охлаждени  на поверхности фарфоровой пластинки создаетс  пориста  полупроводникова  пленка, состо ща  в основном из двуокиси олова, в структуре которой присутствуют провод щие примеси. Надежный контакт между пленкой и электродами осуществл етс  путем создани  на пленке тонкого металлического сло  серебра методом вжигани . При этом используетс  паста следующего состава: 8 вес. ч. А§2СОз+ 1 вес. ч. канифоли- 4 вес. ч. скипидара. Приготовленный таким образом датчик 1 помещают в сосуд 2, в котором измер ют давление, и подключают к прибору 3, измер ю . щему сопротивление цепи, например, к мегометру.

По изменению электропроводности сло  пористой полупроводниковой пленки, завис щей, от количества абсорбируемого газообразного вещества, суд т о величине его давлени .

При градуировке датчика в сосуд 2 устанавливают термопару 4, подключенную к гальванометру 5, и манометр 6.

Предмет изобретени 

Полупроводниковый датчик концентрации (давлени ) паров, отличающийс  тем, -что, с целью повышени  его чувствительности, в нем в качестве чувствительного элемента применена пориста  пленка , например двуокиси олова, нанесенна  на основание из изол ционного материала, например фарфора.